説明

カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジーにより出願された特許

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化学反応を行うのに有用な新しいマイクロ流体装置が提供される。装置は、オンチップ溶媒交換、多段階化学反応が必要な化学プロセス、および試薬の迅速濃縮に適合化されている。

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液体クロマトグラフィー装置が、基板上に液体クロマトグラフィー分離カラムを含み、分離カラムは、基板上のヒータに結合される。チップベース温度制御型液体クロマトグラフィーデバイスが、基板、熱的分離ゾーン、および熱的分離ゾーンによって基板から熱的に分離された分離カラムを含む。冷却素子を含むチップベース液体クロマトグラフィー装置が提供される。温度勾配液体クロマトグラフィーシステムが、チップベース温度制御型液体クロマトグラフィーデバイス、流体カップリング、および電気インタフェースを含む。また、チップベース温度勾配液体クロマトグラフィーデバイスの製造方法および使用方法が提供される。

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集積物、たとえば電子装置、生物学的装置を製造する方法。方法は、所定の形状を有する少なくとも一つの凹形領域を有するホルダ基板を提供することを含む。ホルダ基板は、選択された厚さを有し、形状が実質的に剛性であることを特徴とする。方法は、前面および背面を含むチップを凹形領域の所定の形状に整合させ、チップを凹形領域の中に配置することを含む。チップは凹形領域の中に固着される。方法は、前面およびホルダ基板の一部にかぶさる、第一の厚さを有する第一の絶縁材料膜を提供して、チップを第一の絶縁材料膜の一部に取り付け、第一の絶縁材料膜をパターン付けして、第一の厚さの一部を貫通してチップ前面の接触領域に達する少なくとも一つの開口を形成することを含む。方法は、第一の絶縁材料膜にかぶさって一つの開口を介して接触領域に結合するメタライズ層を形成し、メタライズ層にかぶさる保護層を形成することを含む。方法は、チップが第一の絶縁材料膜に付いた状態を維持しながらチップをホルダ基板から解放することを含む。

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