【課題】工程が簡便で、歩留まりが高く、高精度なアスペクト比の高い微細な構造体の形成を可能にする感光性樹脂製の転写層並びに高アスペクト比の構造体を有する成形体を簡便に作成する方法を確立する。
【解決手段】表面に凹凸の設けられた基板と表面に感光性樹脂層が形成された基材とを該凹凸と感光性樹脂層が内側になるように対向させ、次いで、前記基板と感光性樹脂層を圧着させた後、基材を感光性樹脂層から剥離することにより凹凸の設けられた基板上に感光性樹脂製の転写層を形成する方法において、前記感光性樹脂層が多官能エポキシ樹脂及び光カチオン重合開始剤を含有することを特徴とする前記転写層の形成方法、及びこのようにして得られた転写層にフォトリソグラフィーによるパターニングを施すことにより得られる高アスペクト比の構造体を有する成形体。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーにより、工程が簡便で、工程歩留まりが高く、高精度な中空構造を有する成形体を安価に作成する方法を確立すること。
【解決手段】基板上に、波長が４００ｎｍ以上の光に感光しない第１の感光性樹脂層を形成し、第１のマスクを介して波長が４００ｎｍ未満の光を照射する工程、現像処理を施すこと無く、前記工程により感光処理された第１の感光性樹脂層の上に、波長が４００ｎｍ以上の光に感光する固形分９０重量％以上の固形又は半固形の第２の感光性樹脂層を形成し、第２のマスクを介して波長が４００ｎｍ以上の光を照射する工程、前記第１及び第２の感光性樹脂層に一括で加熱処理を施す工程、及び前記第１及び第２の感光性樹脂層の未感光部を一括で現像する工程を有する、中空構造を有する成形体の製造法。 （もっと読む）

【課題】ＵＶリソグラフィーを用いるアルカリ現像可能なレジストは半導体製造用に開発されたものが多く、アスペクト比が比較的小さい。しかしながら、高アスペクト比パターン形成可能なアルカリ現像可能なエポキシ系レジストは、保存安定性が低下する傾向にあり、保存安定性の優れたレジスト組成物の開発が望まれている。
【解決手段】アルカリ可溶性エポキシ化合物（Ａ）、光酸発生剤（Ｂ）、フェノール樹脂（Ｃ）を含有してなるレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度な感光性樹脂組成物を得ることを課題とする。
【解決手段】多官能エポキシ樹脂（Ａ）とフェノール系硬化剤（Ｂ）と下記式（１）で表される特定構造の光カチオン重合開始剤（Ｃ）とを含有してなる感光性樹脂組成物を提供する。
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【課題】ＭＥＭＳ部品用に適合した特性を有する、すなわち液保存安定性、高アスペクト比でパターン性に優れ、その硬化物は、耐クラック性、耐アルカリ性、基材に対する密着性、耐熱性に優れている、永久レジスト組成物を開発することを課題とする。
【解決手段】エポキシ当量が１５０〜４００ｇ／ｅｑであり常温固形の多官能エポキシ樹脂（Ａ）、水酸基当量が９０〜３００ｇ／ｅｑであるフェノール系硬化剤（Ｂ）、及び光カチオン重合開始剤（Ｃ）を含有してなる永久レジスト組成物であって、前記（Ａ）成分と前記（Ｂ）成分と前記（Ｃ）成分の合計に対して、前記（Ａ）成分の配合割合が５０〜９０重量％であり、前記（Ｂ）成分の配合割合が１〜３５重量％であり、そして前記（Ｃ）成分の配合割合が１〜１５重量％である、永久レジスト組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度で液保存安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】スルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ａ）と主鎖構造に脂環構造を有し且つエポキシ基が３個以上の多官能エポキシ化合物（Ｂ）を含有してなる感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度である感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】スルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ａ）と下記一般式（１）で表される多官能エポキシ樹脂（Ｂ）


（式中Ｒ_１、Ｒ_２はそれぞれ独立に水素原子、またはメチル基を示し、ｔ及びｕ並びにｖはそれぞれ平均値であり独立に１以上の実数を表し、その和は３〜３０の実数を表す）
を含有してなる感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】スルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ａ）と下記一般式（１）で表されるビスフェノールフルオレン系エポキシ樹脂（Ｂ）


（式中、Ｒはアルキレン基を示し、ｎは平均値であり、０〜３０の正の実数を示す。）
を含有してなる感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定構造の多官能エポキシ樹脂（Ａ）とスルホニウムトリス（ペンタフルオロエチル）トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤（Ｂ）とを含有してなる感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

本発明は、微小電気コンポーネント、微小機械コンポーネント、微小電気機械（ＭＥＭＳ）コンポーネント、又は微小流体コンポーネントを基板上にパッケージするための方法であって、容易に除去可能な第二基板上の架橋フォトレジストから作られた空洞を形成し、選択されたマイクロデバイスを含む第三基板に前記空洞を結合し、次に前記除去可能な第二基板を剥がすことによりパッケージする方法に関する。
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