【課題】近接露光を利用したパターニング、凹凸を形成するエッチング、反射膜の膜厚コントロール、などにおいて広い許容幅で製作できる浅い溝の回折格子を利用して、鋭い波長選択性と共に特定波長を出射することができるエネルギー利用効率の高い赤外光源を提供する。
【解決手段】反射型回折格子と、発熱体によって昇温する素子を有し、前記反射型回折格子の一部のみが前記発熱体によって昇温する素子と向き合っていることを特徴とする赤外光源。 （もっと読む）

【課題】 パターニングした１層のレジストを表面張力によって丸める、通常のリフロー法ではマイクロレンズの直径が大きくなると、レジスト材料が中央部に集まりづらくなるため、直径が大きなマイクロレンズの製作が難しいという問題があった。
【解決手段】 本発明は、パターニングしたレジストを加熱しつつ波長300nm前後の紫外線を照射して硬化させる工程であるUVキュア処理と、該硬化したレジスト上にレジスト塗布する工程、を繰り返し行い、レジスト層を多段に積み重ねていくことでレンズ形状に近い階段状レジスト構造を製作し、該階段状レジスト上に、さらにもう１層のレジストを塗布およびパターニングし、パターニング工程を終えたレジスト層をリフローすることにより、直径が比較的大きいマイクロレンズであっても、リフロー法により製作することを可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】 誘導結合型マイクロプラズマは、高密度プラズマが得られるが点灯が難しい問題があった。電離開始に必要な初期電子を発生させる、内部にイグナイター機構を加える方法が知られているが、専用電源を新たに用意すること、電極製作、電極と電源間の結線を必要とするため、小型化をも阻害する。
【解決手段】 誘導結合型マイクロプラズマ源のガス流路内部に、浮遊電極を用意する。マイクロプラズマの励起に誘導結合を利用しているため、特別の結線を施すことなく、浮遊電極にエネルギーを供給することができる。この電極から、電離開始に必要な初期電子を発生させることができる。浮遊電極周辺からガスの電離が促進され、点灯が容易になると同時に、より省電力でプラズマを発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】 フォトリソグラフィ加工技術を立体サンプルに拡張する際に、均一な光照射を
サンプル基板平面に施す露光方法では、レジスト膜厚の不均一と界面反射の問題に対処で
きないため、露光エネルギ密度が立体上に用意されるレジストに対して適切な値から外れ、
場所によるオーバードーズやアンダードーズからなる露光ムラや、反射光による異常パタ
ーンが生じる課題があった。
【解決手段】 液浸露光の液体に、光減衰の機能を加えることにより、立体サンプル上の
レジスト膜に到達する光強度を、立体の上部にも底部にも適正な値にでき、サンプル表面
上の全体に適正な露光強度分布を形成できるので、反射光による異常パターンの発生を確
実に低減できる。 （もっと読む）

【課題】 より確実に、ビレットの全域にわたって結晶粒を均一に微細化できるマグネシウム合金の連続鋳造装置の提供。
【解決手段】 マグネシウム合金溶湯１を収納するタンディッシュ２と、タンディッシュの底部に設置した鋳型３と、鋳型内に流入したマグネシウム合金溶湯に上方より超音波振動４を印加する印加ホーン５とを備え、印加ホーンは、先端部６が下方に向かって膨出する曲面形状であり、印加ホーンの先端を鋳型内に位置させており、且つ印加ホーンが鋳型の中心軸１７回りに円運動する。 （もっと読む）

【課題】 ビレットの全域にわたって結晶粒を均一に微細化できるマグネシウム合金の連続鋳造装置の提供。
【解決手段】 マグネシウム合金溶湯１を収納するタンディッシュ２と、タンディッシュの底部に設置した鋳型３と、鋳型内に流入したマグネシウム合金溶湯に上方より超音波振動４を印加する印加ホーン５とを備え、印加ホーンは、先端部６が下方に向かって膨出する曲面形状であり、印加ホーンの先端を鋳型内に位置させている。 （もっと読む）