本発明は、検査、規定された構造の測定、構造及び構造誤差のシミュレーション、構造の修正、及び、微細要素の規定された対象位置の再検査に用いられる、液浸対物レンズを有した検査装置である。
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微細要素の、検査、規定された構造の測定、構造及び構造誤差のシミュレーション、構造のそして構造での修正、そして、規定された対象位置での再検査の為の、ステージを有する、微細要素の為の装置を開示する。少なくとも、一つの液浸対物レンズと、微小構造の表面上への適正のわずかな液量を供給するための装置を、備えている。微小構造の表面上でわずかの液量を吸引するための装置が取り付けられ、その際、吸引装置は少なくとも部分的に液浸対物レンズを取り囲むかまたは、対物レンズの近傍に配置される。
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