適応型ミラーシステムはミラーシステムに生じ得る波面誤差を補正するための位相ミラーセグメントのアレイを含み、各位相ミラーセグメントは集積型波面補正モジュールを含み、このモジュールは、光学面と、この光学面に関する入射局所波面の高空間時間周波数位相誤差を補正するべく光学面を変形させるための高空間時間周波数補正システムと、入射局所波面のチップ・チルト誤差を補償するべく光学面を調整するためのチップ・チルト補正システムとを有する。
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本発明による一体型の波面補正モジュールは、光学的表面と；光学的表面を変形させ、これにより、光学的表面の入射波面における時空周波数的なフェーズエラーを補正するための、高精度で時空周波数的に補正するシステムと；光学的表面を調整し、これにより、入射波面におけるチップチルトエラーを補償するための、チップチルト補正システムと；を具備している。
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本発明は、一体型波面補正モジュールに関するものであって、取付デバイスと；この取付デバイスに付設されているとともに、入射波面における大きな時空周波数的エラーを補正するための変形可能ミラーと；ベースと、このベースとフレキシブル部分および固定部分のうちの一方との間を相互連結する複数のチップチルトアクチュエータと、ベースとフレキシブル部分および固定部分のうちの他方との間を相互連結する複数の支持支柱と、を備えていて、入射波面におけるチップチルトエラーを補償し得るよう、変形可能ミラーと一緒に取付デバイスを調節するための、チップチルト補正機構と；を具備している。
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