本発明は、特殊なアルミニウム合金製のローターブレードを備えたターボ分子ポンプが、有しているローター又はステーターに関するものである。 （もっと読む）

本発明は、特殊なアルミニウム合金製のローターブレードを備えたターボ分子ポンプが有しているローター又はステーターを、製造する方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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真空ターボ分子ポンプは、ステータコイルと永久磁石により励磁されるモータロータを有するブラシレス直流電流駆動モータによって駆動され、モータロータは、回転とは反対方向の起電力を生じ、ステータコイルと接続されたモータ制御部は、給電電圧からステータコイル内で形成される電流を生じ、回転周波数発生器は、駆動モータの回転周波数を定格回転周波数に制限し、モータ制御部と接続された電圧給電部は、一定直流電圧をモータ制御部用の給電電圧として供給し、一定給電電圧が低いように構成され、限界回転周波数で、電磁力が、モータ制御部及びステータコイルによって形成可能な最大の駆動力に等しいようにされ、限界回転周波数は、定格回転周波数の1.3倍よりも小さく、これにより、モータ電力は制限され、駆動モータの回転周波数は、高い信頼度で限界回転周波数に物理的に制限される。
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本発明は、ポンプロータ（１４）及びポンプステータ（１２）から成る真空ポンプ（１０）に関する。ポンプロータ（１４）は電気式の測定変換器（４４）、例えば温度センサーを有している。ポンプロータ（１４）に送信アンテナ（４０）を設け、該送信アンテナは測定変換器（４４）を備えている。ポンプステータ（１２）に、送信アンテナ（４４）と相対して受信アンテナ（３０）を設け、該受信アンテナは送信アンテナ（４０）から測定変換器（４４）の測定値を受信するようになっている。これによって、ポンプロータ（１４）から正確な測定値をポンプステータ（１２）へ伝達できるようになっている。
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高速回転型のターボ機械は、ロータの支承のために、磁気軸受（２２，２３）と保護軸受とを有している。保護軸受は滑り軸受（２６，２７）として形成されており、ステータ側の軸受シェル（２８）と、ロータ側の軸受シャフト（２０）と、軸受シェル（２８）と軸受シャフト（２０）との間に中間ブシュ（３０）とを有している。中間ブシュ（３０）は軸受シャフト（２０）に対しても軸受シェル（２８）に対しても環状のギャップ（３３，３４）により間隔を置いている。中間ブシュ（３０）は軸受シェル（２８）および軸受シャフト（２０）に対して回転可能である。この構造により、滑り軸受（２６）は、発生するすべての動的な力が分配される２つの滑動面対偶を有している。これにより、摩耗はかなり減じられている。これにより、磁気支承された高速回転型のターボ機械内で保護軸受として滑り軸受を使用することが可能となる。
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真空ベーンポンプは、ケーシング（１０）内にサクション室（１２）を有している。このサクション室（１２）内にはロータ（１４）が偏心的に支承されている。このロータ（１４）にはベーン（１８）が摺動可能に接続されている。さらに、サクション室（１２）とオイル室（３２）とには吐出通路（３０）が接続されている。吐出通路（３０）とオイル室（３２）との間には、オイル室（３２）からサクション室（１２）へと媒体が逆流するのを回避するために弁装置（３８）が配置されている。本発明によれば、吐出通路（３０）とオイル室（３２）とに接続されている少なくとも１つの補償通路（５０）が設けられている。
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真空ポンプ装置、特にターボ分子ポンプ装置が、ポンプハウジング（１０）内にロータ（１４）とステータ（１６）とを有している。ポンプハウジング（１０）はポンプフランジ（２０）を介して真空室ハウジング（２６）に結合されている。結合のためには、保持エレメント（３４）が設けられている。ロータ（１４）のロック時のような故障発生時に高いトルクが生じることにより保持エレメント（３４）が回動することを回避するために、保持エレメント（３４）は真空室ハウジング（２６）と協働する回動防止装置（４０）を有している。
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スクリューポンプのような真空ポンプに特に適した軸シールは、軸と結合可能な内側のシールリング（１８）と該内側のシールリング（１８）を取囲む外側のシールリング（２０）とを有している。外側のシールリング（２０）には環状の溝（３０）が設けられ、該溝（３０）内には供給通路（２２）を介して遮断ガスが導入可能である。さらに軸（１０）には前記溝（３０）内へ向いた付加部（３２）を有する遮断円板（３４）が結合可能である。これによって遮断ガス室（２８）が溝（３０）に構成される。遮断ガス室（２８）は遮断ガスが達することのできる室ギャップ（３６）を介して、内側と外側とのシールリング（１８，２０）間に配置されているシールギャップ（４０）と接続されている。シールギャップ（４０）には内側と外側のシールリング（１８，２０）によって形成された分離室（４２）が接続されている。この分離室（４２）は遮断ガスを排出するために排出通路（４４）と接続されている。
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本発明は、ホルウェック型真空ポンプ（１０）であって、回転する管（２４）を備えたポンプロータ（１６）と、前記ロータ管（２４）の半径方向内側および外側にそれぞれ１つのポンプステータ（２０，２２）とが設けられていて、該ポンプステータは螺旋状のねじ山溝（２１，２３）を有しており、入口側のロータ羽根車（２８）が設けられていて、該ロータ羽根車が、前記ロータ管（２４）を保持する保持リング（３０）を有している形式のものに関する。羽根車の羽根（１８）はロータ側の段部（４０）を有していて、該段部に保持リング（３０）が支持されている。
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