【課題】断層撮影の精度（分解能）を低下させることなく、１回の断層撮影に要する時間を大幅に短縮（１秒程度以下に）することができ、電子部品の実装状態の検査を高速かつ高精度に行うことができ、しかも安価に構成できるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線発生器１２を、Ｘ線放射面１２ａを試料の載置面と平行に維持したまま、かつＸ線放射面１２ａ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸Ｌ１を中心に長さｒを径として円形移動させる円形移動機構２５と、Ｘ線検出器１１を、Ｘ線受光面Ｉを載置面と平行に維持したまま、かつＸ線受光面Ｉ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、軸Ｌ１を中心にして円形移動させる円形移動機構２４とが、モータＭ１１からの動力を伝達する動力伝達機構２６を介して機械的に連結され、動力伝達機構２６の駆動により、Ｘ線検出器１１とＸ線発生器１２との円形移動を同期させる。 （もっと読む）

【課題】試料台を回転させることなく、試料の透視データを任意の方向、角度から取得することができ、プリント基板に形成されたスルーホールの内壁に施された導通用メッキ処理の状態等の検査を非破壊で精度良く行うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを載置するＸＹ軸方向に移動可能な試料台１１を上下に挟んで、Ｘ線発生器１２とＸ線検出器１３とが対向配置され、Ｘ線発生器１２から放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１３にて検出される構成のＸ線検査装置において、試料Ｓの透視ポイントＰを通過する水平軸Ｌ１を回動中心としてＸ線検出器１３を回動させる第１の回動手段１６と、透視ポイントＰを円の中心とし、透視ポイントＰを挟んで水平軸Ｌ１上のある２点を結ぶ線分を直径とする円弧に沿ってＸ線検出器１３を回動させる第２の回動手段１８とを備え、第２の回動手段１８が第１の回動手段１６に組み付けられている。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に形成されたスルーホールの内壁に施された導通用メッキ処理の
状態の検査を非破壊で行うことができ、大型のプリント基板の検査についても精度良く行
うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを載置するＸＹ軸方向に移動可能な試料台１１を上下に挟んで、Ｘ
線焦点１２ａを含んで構成されたＸ線発生器１２とＸ線検出器１３とが対向して配置され
、Ｘ線焦点１２ａから放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１３にて検出される
ように構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線焦点１２ａが、試料台１１の載置面と直交
する軸Ｌ２を中心に回転するように、Ｘ線発生器１２を回転させる回転機構１６と、軸Ｌ
２を中心にＸ線検出器１３を回転させる回転機構１８とを備えると共に、Ｘ線発生器１２
の回転とＸ線検出器１３の回転とを同期させる。
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【課題】小型・高密度化するＢＧＡやＣＳＰなどの電子部品の基板への実装状態の検査
をより精度良く、より安価で行うことのできるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線発生器１２を、Ｘ線放射面１２ａを試料台２１の載置面と平行にした
まま、なおかつＸ線放射面１２ａ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたま
ま、試料台２１の載置面と直交する軸Ｌ１を中心に、軸Ｌ１からＸ線焦点Ｓ１までの長さ
ｒを径として円形に移動させる円形移動機構２５と、Ｘ線検出器１１を、Ｘ線受光面Ｉを
載置面と平行にしたまま、なおかつＸ線受光面Ｉ上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方
向に保たせたまま、軸Ｌ１のまわりを軸Ｌ１を中心にして円形に移動させる円形移動機構
２４とを装備し、これら円形移動を同期させる。
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