【課題】小型にして発光物質の封入圧力を高く、かつ放電芯体のギャップの精度及び同軸（同心）度を高くすることができる放電灯の製造方法を得る。
【解決手段】放電容器（３）に保持管（４）が連通接続された石英ガラス製の管体（２）を設け、放電容器（３）と保持管（４）との接続部にロッド状に形成された導電性の放電芯体（６）を配置するとともに、該放電芯体（６）の先端部を放電容器（３）内に突出させ、放電容器（３）側に位置する保持管（４）の基部（４ａ）を加熱・軟化させて圧搾することにより、放電芯体（６）の長手方向中間部を通気可能に仮止めし、管体（２）内を排気した後、該管体（２）内に発光物質を充填して保持管（４）の最外端（４ｂ）を密閉し、次いで、放電容器（３）及び保持管（４）の基部（４ａ）を冷却して発光物質を放電容器（３）内に移動させ、この状態で保持管（４）の基部（４ａ）の外端側を加熱・軟化させて放電芯体（６）の長手方向外端部を気密に包囲する。 （もっと読む）

【課題】簡素な装置で発光物質の種類に左右されることなく、該発光物質を放電容器内に圧入又は高圧で圧入できる放電灯の製造装置及び放電灯の製造方法を得る。
【解決手段】放電容器（１１）に筒状の保持管（１２）が連通接続された透光性の管体（１０）を設け、前記保持管（１２）内に導電性の放電芯体（２）を通気可能に仮止めするとともに、該放電芯体（２）の一端部を前記放電容器（１１）内に突出させてなる一次放電灯（１５）を設け、該一次放電灯（１５）を収容する密閉されたタンク（２１）と、該タンク（２１）内に収容した一次放電灯（１５）内に発光物質を圧入する発光物質充填装置（２５）と、前記タンク（２１）内に不活性ガスを圧入するタンク加圧装置（４０）と、タンク（２１）内に収容した一次放電灯（１５）の開口部を加熱して軟化させる加熱装置（５０）とを設ける。 （もっと読む）

【課題】簡素な装置でガス圧の高い放電ランプの点弧が確実に行なえるアンテナ励起型マイクロ波放電ランプの点弧装置を得る。
【解決手段】発光物質が封入された放電容器（１６）内に第１アンテナ部材（１７）の一端部と第２アンテナ部材（１８）の一端部とを突出させるとともに、該第１、第２アンテナ部材（１７，１８）の一端部同士を放電に適した間隙で対面させてなる放電ランプと、少なくとも前記第１アンテナ部材（１７）にマイクロ波に供給して該第１アンテナ部材（１７）の突出端からマイクロ波を放出して前記放電容器（１６）内の発光物質を励起させるマイクロ波発振器（２）と、点弧用の周波数及び電圧を発生する点弧電源（２５ａ）とを設け、前記点弧電源（２５ａ）の出力端子に点弧線（２５ｂ）を接続するとともに、該点弧線（２５ｂ）の先端部（２５ｃ）を前記第２アンテナ部材（１８）の他端部（１８ａ）に接近させる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ構造簡素にしてＶＵＶ光の発光効率が高くなるアンテナ励起型ガス放電灯を得る。
【解決手段】放電ガスが充填される中空の放電容器（１１）内にアンテナ部材（１２，１３）を突出させ、該アンテナ部材（１２，１３）の突出部から前記放電容器（１１）内にマイクロ波パルスを放出させるマイクロ波発振装置（１）を設け、該マイクロ波パルスの出力を、前記放電容器（１１）内に充填された放電ガスがエキシマの生成に適した電子温度となる出力に設定するパルス出力設定部（３）を設ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマ柱の変形を防止して光源を安定させるとともに、光源が凹面反射鏡の焦点に合わせ易くなる放電灯及び放電灯装置を得る。
【解決手段】透光性資材により中空に形成された放電容器２６内に第１アンテナ部材２７、及び第２アンテナ部材２８を突出させるとともに、該第１、第２アンテナ部材２７，２８の突出端同士を放電容器２６の中心部にて、鉛直方向に放電に適した間隙Ｇ１となる如く変位させ、マイクロ波発生装置１５によって発生した電磁波を、導波部材２０を介して少なくとも第１アンテナ部材２７に供給し、第１、第２アンテナ部材２７，２８の突出端から電磁波を放出してプラズマ柱を生成する。 （もっと読む）

【課題】放電灯の取付け、あるいは交換が容易に行なえる放電灯の差込部付き同軸導波管を得る。
【解決手段】 一端部に筒状の外差込部（２６ａ）を有する外部導体（２６）と、一端部にピン状の内差込部（３０ａ）を有する内部導体（３０）とを設け、前記内部導体（３０）を前記外部導体（２６）の軸心部に所定の間隙を有して抜き差し可能に嵌合させるとともに、両者が嵌合した際の特性インピーダンスをマイクロ波発振器（１５）が有する特性インピーダンスに対応させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを同軸導波管の外側で発生させることにより、プラズマによる熱損傷を防止するとともに、プラズマの温度調整幅が大きくとれるマイクロ波プラズマニードル発生装置を得る。
【解決手段】マイクロ波発生装置（１）に、筒状の外部導体（１１）の軸心部に内部導体（１２）を同軸に嵌合させてなる同軸導波管（１０）を設け、前記内部導体（１２）に導体性のアンテナ（１３）を接続するとともに、該アンテナ（１３）を前記外部導体（１１）から外部に露出させ、ガス供給装置（２０）によって供給されるプラズマ発生用のガスを前記アンテナ（１３）の露出端部に向けて吐出する。 （もっと読む）

【課題】発光管内の酸化物除去が容易かつ確実に行なえるとともに、電極間距離が高精度となる放電灯の製造方法を得る。
【解決手段】バルブ３の両側に端部が開口した第１保持管４と第２保持管５とを一体的に連結してなる発光管体２を設け、前記第１保持管４に第１電極６および第１アウタリード１０を接続する第１導電体８を気密に嵌合固着し、前記第２保持管５の内端部に第２電極７および第２アウタリード１１を接続する第２導電体９を通気可能に嵌合させ、前記第２保持管５の外端部に第２アウタリード１１に接続される第３アウタリード１３を接続する栓体１２を気密に嵌合固着し、前記第２保持管５であってかつ前記第２導電体９と栓体１２との間に枝管１５を連結し、該枝管１５から前記バルブ３内に発光薬を供給した後、前記第２導電体９を前記第２保持管５に気密に固着する。 （もっと読む）