【課題】気泡除去用加圧装置および方法が開示される。
【解決手段】本発明の加圧装置は、外部から提供されるエアーの圧力を制御する入力バルブと、前記入力バルブから提供されるエアーを前記パネルに噴射する複数のノズル部と、前記複数のノズル部それぞれを個別に開閉する複数のノズルバルブを備えてパネルのオープンされた一面に向かってエアーを噴射して加圧することによって、接着された２枚のパネルの間の気泡を除去する。ここで、前記複数のノズルバルブは、前記パネルに噴射されたエアーが前記パネルの中心から縁辺へ向かう方向に前記パネルを加圧し、一定の周期に繰り返して前記複数のノズル部を開閉する。 （もっと読む）

【課題】ラミネーティング過程で発生する接触面上の気泡を除去できるようなエアープレッシングパターンを形成できるラミネーティング装置及びそのラミネーティング方法を提供する。
【解決手段】ラミネーティング装置は、キャリア装置及び正圧プレス装置を含み、キャリア装置は、被加工物である基板などを収容し、真空を形成して基板と基板とを固定圧着させ、正圧プレス装置は、キャリア装置の弾性膜に向かってエアーを噴射して基板間の接着力を高めると同時に、噴射されたエアーがまるで基板をその中心から縁部に掃き出すような効果を持たせることによって、ラミネーティング過程で発生しうる基板間の気泡を除去する。このようなエアープレッシングによる加圧では、基板などをチャンバーではなく別の移送可能なキャリア装置に収容するため、正圧プレス装置が複数個のキャリア装置に対して反復的なエアープレッシング工程を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】パネルの圧力調整が容易な気泡除去用加圧装置および方法を提供する。
【解決手段】加圧モジュール内のパネルに加えられる圧力の変化を分散させて気泡除去の効率を上げるために、複数の貫通ホールが形成された加圧プレートを備え、加圧モジュール内部空間部の体積を可変すると同時に空間部の温度を可変することによって、空間部内の圧力の変化率（ΔＰ）を大きくし、加圧モジュール内に位置するパネルの接着面上に発生した気泡を効果的に除去する。密閉された加圧モジュールに連結されたシリンダ内のピストンを往復運動させることによって、加圧モジュールの体積を可変する。 （もっと読む）

【課題】熱を安定的に吸収または放出する、耐熱結晶化ガラスを用いた面状ヒーターの製造方法を提供すること。
【解決手段】家庭用または産業用として用いられる面状ヒーターの製造方法において、発熱体部から発生する熱を安定的に吸収または放出するように前記発熱体部の下端に耐熱結晶化ガラスを形成する第１段階と、前記耐熱結晶化ガラスの上端に、前記発熱体部へ電源を供給する配線部を形成する第２段階と、一定形状のパターンを持って電源を印加する場合に熱を発生させる発熱体部を形成する第３段階と、前記発熱体部と前記配線部のパターン保護および絶縁のために、面状ヒーターの最上端部にセラミック保護層を形成する第４段階とを含んでなる、耐熱結晶化ガラスを用いた面状ヒーターの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の効率を極大化することができる、共振を利用し、より微細な汚染源を除去し得る超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなる。 （もっと読む）