【課題】
測定時間及び費用を低減させるようにガラス基板から反射された反射光のうち上面から反射された光のみを用いてガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の不均一度測定システムは、第１光をガラス基板に照射する光源部及びスクリーンを含む。ここで、光源部から照射された第１光はガラス基板の上面及び下面で反射され、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光がスクリーンに入射されて第１帯を形成し、ガラス基板の下面によって反射されて上面を通じて出力された第２反射光がスクリーンに入射されて第２帯を形成し、第１帯と第２帯が分離されて形成されるように光源部及びスクリーンがガラス基板を基準として配列される。 （もっと読む）

本発明は、基板の品質検査装置及びその検査方法を提供する。
本発明の検査装置と検査方法は、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力によって発生する電源からのノイズ、検査しようとする基板の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境による震動などの影響を受けてノイズが影映像情報に含まれている際、そのノイズは除去して基板の表面品質を検査する装置に構成させたものであって、これにより、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査の精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上させることができる。
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本発明は、ガラス基板の品質検査装置に関する。本発明は、波形の発生有無を検査するための照明部の照明がガラス基板だけに透過されるようにし、カメラにガラス基板表面の影映像をより鮮明に撮影されるようにするとともに、前記影映像による波形が種類別発生有無を微分アルゴリズムでより精密に検査できるようにしたものである。これによって、移送ユニットを介して連続的に移送されるガラス基板の品質状態をリアルタイムで検査し、製品に対する品質満足度を向上させるとともに、ガラス基板の品質検査に必要とされる時間を節約することで、連続する蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いる工程が迅速に行われるようにする。
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エッジ欠陥及びディスカラー検査装置。薄膜トランジスタ液晶表示装置用のガラス基板を運ぶローディングユニットと、ローディングユニットにより供給されるガラス基板のエッジ及びディスカラーを検査する検査ユニットと、ローディングユニット及び検査ユニットを制御する制御ユニットとを具備し、このような構成のエッジ欠陥及びディスカラー検査装置により、ガラス基板のエッジ欠陥及びディスカラーの有無の検査を薄膜トランジスタ液晶表示装置の製造工程中において自動で行うことができるので経済的であり、かつ連続の蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いた工程間に本発明のエッジ欠陥及びディスカラーの検査装置を配して、リアルタイムにガラス基板の適合性を確認することができるので経済的かつ迅速な工程を図ることができる。
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ボッシュプロセスに用いる乾式エッチング装置、乾式エッチング終了点検出装置及びその電気素子の形成方法を提供する。エッチング装置、乾式エッチング終了点検出装置及びその電気素子の形成方法はエッチング及び蒸着工程が繰り返し実行される間に基板のエッチング情報を有するプラズマ光を分離して電気素子を効率よく製造する方法を提供する。このために工程チャンバを用意する。前記工程チャンバの側壁に光ウィンドウを配置する。前記光ウィンドウは、ボッシュプロセスのエッチング及び蒸着工程の間にプラズマ光を工程チャンバ外へ投射する。前記光ウィンドウ周辺に光集束部を配置する。前記光集束部はエッチングまたは蒸着工程のプラズマ光を捕獲する。前記光集束部に電気的に接続する光解析部を配置する。前記光解析部はプラズマ光を解釈して光イメージに変換する。
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