ガラス基板の不均一度測定システム及び方法
【課題】
測定時間及び費用を低減させるようにガラス基板から反射された反射光のうち上面から反射された光のみを用いてガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の不均一度測定システムは、第１光をガラス基板に照射する光源部及びスクリーンを含む。ここで、光源部から照射された第１光はガラス基板の上面及び下面で反射され、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光がスクリーンに入射されて第１帯を形成し、ガラス基板の下面によって反射されて上面を通じて出力された第２反射光がスクリーンに入射されて第２帯を形成し、第１帯と第２帯が分離されて形成されるように光源部及びスクリーンがガラス基板を基準として配列される。
測定時間及び費用を低減させるようにガラス基板から反射された反射光のうち上面から反射された光のみを用いてガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の不均一度測定システムは、第１光をガラス基板に照射する光源部及びスクリーンを含む。ここで、光源部から照射された第１光はガラス基板の上面及び下面で反射され、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光がスクリーンに入射されて第１帯を形成し、ガラス基板の下面によって反射されて上面を通じて出力された第２反射光がスクリーンに入射されて第２帯を形成し、第１帯と第２帯が分離されて形成されるように光源部及びスクリーンがガラス基板を基準として配列される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ素子、例えば液晶表示素子（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）に用いられるガラス基板の表面は、不良（Ｄｅｆｅｃｔ）などによって不均一な場合がある。
【０００３】
このような不均一のガラス基板を用いてディスプレイ素子を製造すると、ディスプレイ素子がガラス基板の不均一によって所望の仕様を具現できない場合が生じる。結果的に、ディスプレイ素子は廃棄処理され、ディスプレイ素子の歩留まりは低下せざるをえなかった。
【０００４】
従って、ガラス基板が製造された後他の工程が行われる前に、ガラス基板の不均一度を測定して不良のガラス基板を事前に検出することが重要である。
【０００５】
以下、ガラス基板の製造過程及び不均一度の測定方法を検討する。
図１は、一般的なガラス基板の製造工程を示した図面である。
図１に示した通り、液状のガラス溶解液を溶解炉に投与する。この場合、投与されたガラス溶解液が、矢印方向に流れてガラス基板が製造される。
【０００６】
ただし、ガラス溶解液が流れる過程において、流れる方向に線状の屈曲が発生し、その結果、不均一な表面を有するガラス基板が製造される場合があった。
【０００７】
従って、このような不均一な表面を有するガラス基板を検出するために、ガラス基板の不均一度を測定する多様な方法が登場した。
【０００８】
第１の測定方法として、ガラス基板を水に浮かべた後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【０００９】
第２の測定方法として、ガラス基板の下面に紙を付けた後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【００１０】
第３測定方法として、ガラス基板の下面に特定物質をコーティングした後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【００１１】
上記３つの測定方法の共通点を検討すると、上記方法は、ガラス基板から反射された反射光のうち均一度の測定に必要でないガラス基板の下面によって反射された反射光を除去するために、ガラス基板の下面に特定処理を行った。
【００１２】
しかし、上記測定方法は、特定物質をガラス基板の下面にコーティングする過程及び測定が完了した後コーティングを除去する過程などの追加の工程をさらに行う必要があったため、不均一度を測定するための時間及び費用が増加した。
【００１３】
また、ガラス基板の下面を処理してもガラス基板の下面から反射される反射光を完璧に除去することは難しいため、ガラス基板の不均一度を正確に測定するのは容易ではなかった。
【００１４】
さらに、ガラス基板の下面を処理する過程のため、ガラス基板の不均一度を測定する工程を自動化するのが難しかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は前記のような点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、下面の処理過程なしに、ガラス基板自体で不均一度を測定するシステム及び方法を提供するものである。
【００１６】
本発明の他の目的は、ガラス基板の上面及び下面から反射された反射光のうち上面から反射された反射光のみを用いて、ガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様によるガラス基板の不均一度測定システムは、第１光を上記ガラス基板に照射する光源部，及びスクリーンを含む。ここで、上記光源部から照射された第１光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光が上記スクリーンに入射されて第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力された第２反射光が上記スクリーンに入射されて第２帯を形成し、上記第１帯と上記第２帯が分離されて形成されるように上記光源部及び上記スクリーンが上記ガラス基板を基準として配列される。
【００１８】
上記不均一度測定システムは、上記スクリーンに形成された帯を感知する感知部，及び上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含む。
【００１９】
上記光源部は、第２光を出力する光源，上記光源から照射された第２光を拡散する第１レンズ，及び上記第１レンズによって拡散された第２光を一定の線幅を有する第１光として出力させる第２レンズを含む。
【００２０】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは、１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現される。ここで、上記不均一度測定システムは、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記ケースを動かして上記帯が分離される最適な位置を検出し、上記ケースを上記検出された位置に固定させる。
【００２１】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源部は、上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する。
【００２２】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源部が上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成される。
【００２３】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が固定された状態で、上記ガラス基板と上記光源部の間の角度が増加するほど上記ガラス基板と上記スクリーン間の距離は近くなる。
【００２４】
本発明の他の態様によるガラス基板の不均一度測定システムは、特定光を出力する光源，及び少なくとも１つのスリットを有するスリット部を含む。ここで、上記光源から出力された光は、上記スリット部のスリットを通じて上記ガラス基板に照射され、上記ガラス基板に照射された光は、上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯が分離されて配列される。
【００２５】
上記不均一度測定システムは、上記第１帯及び上記第２帯を感知する感知部，及び上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含む。ここで、上記感知部は、上記ガラス基板を直接撮影して上記帯を感知する。
【００２６】
上記不均一度測定システムは、上記第１反射光及び上記第２反射光が入射されるスクリーン，感知部，及び不均一度測定部をさらに含む。ここで、上記スクリーンには上記第１反射光に該当する上記第１帯及び上記第２反射光に該当する第２帯が形成され、上記感知部は上記帯を感知し、上記不均一度測定部は上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離及び分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する。
【００２７】
本発明の他の態様によるガラス基板の不均一度を測定する方法は、第１光を上記ガラス基板に照射する段階，及び上記第１光が照射されることによって上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と、上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯のうち少なくとも１つを感知する段階を含む。ここで、上記第１帯と上記第２帯は、相互分離されて形成される。
【００２８】
上記不均一度測定方法は、上記第１帯と上記第２帯のうち上記第１帯のみを分離する段階，及び上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する段階をさらに含む。
【００２９】
上記ガラス基板に照射する段階は、上記第１光を第１レンズを用いて拡散する段階，及び上記拡散された第１光を第２レンズを用いて一定の線幅を有する第２光に変化させ上記ガラス基板に照射する段階を含む。ここで、上記ガラス基板の上面から反射された第２光はスクリーンに入射されて上記第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面から反射された第２光は上記スクリーンに入射されて上記第２帯を形成する。
【００３０】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現される。上記不均一度測定方法は、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記帯が分離されるまで上記ケースを動かす段階，及び上記帯が分離された後上記ケースを固定する段階をさらに含む。ここで、上記ガラス基板の不均一度を測定する時は、上記光源部及び上記スクリーンを固定させた状態で上記不均一度を測定する。
【００３１】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源は、上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する。
【００３２】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源が上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置した状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成される。
【００３３】
上記感知する段階は、上記ガラス基板を直接撮影して上記第１帯及び上記第２帯を感知する段階を含む。ここで、上記光源から出力された第１光は、少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射される。
【００３４】
上記第１反射光と上記第２反射光は、スクリーンに入射されそれぞれ上記第１帯及び上記第２帯を形成する。ここで、上記光源から出力された第１光は、少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射される。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によるガラス基板の不均一度測定システム及び方法は、下面を特定の方法で処理することがなくガラス基板自体を用いてガラス基板の不均一度を測定するため、不均一度測定のための時間及び費用を低減することができ、測定過程を自動化することが容易な長所がある。
【００３６】
また、不均一度測定システム及び方法は、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯とガラス基板の下面によって反射された第２反射光に該当する第２帯を明確に分離させた後、第１帯を分析するため、不均一度測定システム及び方法はガラス基板の不均一度を正確に測定できる。
【００３７】
さらに、本発明の不均一度測定システムは、簡単な構成要素だけで具現できるので、システムを構築することが容易であり、システムのエラーを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】一般的なガラス基板の製造工程を示した図面である。
【図２】本発明の一実施例によるガラス基板の反射形態を示した断面図である。
【図３】本発明の第１実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを概略的に示した図面である。
【図４】図３のガラス基板の不均一度測定システムを具体的に示した図面である。
【図５】本発明の一実施例による光源部の構造を示した図面である。
【図６】帯の形態を示した図面である。
【図７】本発明の第２実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
【図８】本発明の一実施例によるスリット部の構造を示した図面である。
【図９】図７の不均一度測定システムでの感知結果を示した図面である。
【図１０】本発明の第３実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下では、添付の図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
【００４０】
図２は、本発明の一実施例によるガラス基板の反射形態を示した断面図である。
【００４１】
本発明のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の表面の不均一度、望ましくは上面（２００ａ）の不均一度を測定するシステムである。ここで、ガラス基板（２００）はディスプレイ素子に用いられる透明基板であって、例えば液晶表示素子（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）に用いられるベース基板である。
【００４２】
以下、ガラス基板（２００）の光反射特性を詳察し、その後ガラス基板の不均一度測定システムを詳察する。
【００４３】
まず、ガラス基板（２００）における光反射特性を説明する。
【００４４】
図２を参照すると、光源（図示せず）から出力された特定の波長を有する光（２１０）がガラス基板（２００）に入射される場合、入射された光（２１０）のうち一部はガラス基板（２００）の上面（２００ａ）によって反射され、他の一部はガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射される。結果的に、光（２１０）がガラス基板（２００）に入射されると、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）によって第１反射光（２１２）及びガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射され上面（２００ａ）を通じて出力される第２反射光（２１４）が発生する。
【００４５】
一般的に、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）が均一であると、光（２１０）のうち一部はガラス基板（２００）の上面（２００ａ）で同一の入射角（θ）と反射角（θ）を有して反射し、下面（２００ｂ）によって反射した第２反射光（２１４）は第１反射光（２１２）と平行に進行される。
【００４６】
一方、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）または下面（２００ｂ）が不均一であると、このような現象が同じように発生しない場合があるが、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）によって第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）が発生するという事実には変わりはない。
【００４７】
一般的にディスプレイ素子を製造する工程では、レイヤ（ｌａｙｅｒｓ）がガラス基板（２００）の上面（２００ａ）上にスパッタリング（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）方法などを通じて積層されるため、基板（２００）の上面（２００ａ）の不均一度を測定することが重要である。
【００４８】
しかし、光（２１０）をガラス基板（２００）に照射する場合、上面（２００ａ）によって反射された第１反射光（２１２）だけでなく下面（２００ｂ）によって反射された第２反射光（２１４）が発生するため、上面（２００ａ）の不均一度を測定することが容易ではなかった。特に、第２反射光（２１４）が第１反射光（２１２）と干渉を起こすため、第１反射光（２１２）のみを分離することが難しかった。
【００４９】
従って、本発明はガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射される第２反射光（２１４）の存在を認めながら第２反射光（２１４）が第１反射光（２１２）に干渉を起こさない方法を提案する。
【００５０】
以下、本発明のガラス基板の不均一度測定システム及び方法を添付の図面を参照して説明する。
【００５１】
図３は、本発明の第１実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを概略的に示した図面である。
【００５２】
図３を参照すると、光源部（３００）は、特定の波長を有する光（２１０）を出力してガラス基板（２００）に照射し、照射された光（２１０）は、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）によって反射され第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）が出力される。ここで、光（２１０）は、一定の線幅を有して、可視光線、紫外線または赤外線であってもよい。
【００５３】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）は、レーザを用いて光（２１０）を出力することができ、後述するようにレンズを用いて一定の線幅の光（２１０）を出力することもできる。
【００５４】
ガラス基板（２００）によって反射された第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）は、ガラス基板（２００）の上部に位置するスクリーン（３０２）に入射される。ここで、スクリーン（３０２）は不透明材質からなり、その結果第１反射光（２１２）に該当する干渉縞である第１帯（３１０）と、第２反射光（２１４）に該当する干渉縞である第２帯（３１２）がスクリーン（３０２）上に形成される。
【００５５】
ただし、本実施例の不均一度測定システムは、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）が視覚的に分離されて形成されるように上記システムの構成要素を配列させる。これに関する詳細な説明は後述する。
【００５６】
続いて、上記不均一度測定システムは、帯（３１０及び３１２）のうち第１帯（３１０）のみを分離してガラス基板（２００）の不均一度を測定する。この過程で、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）が明確に分離されているため、上記システムが第１帯（３１０）に関する情報のみを得るのが容易である。
【００５７】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定するために、第１反射光（２１２）に該当する第１帯（３１０）と第２反射光（２１４）に該当する第２帯（３１２）を明確に分離し、その後第１帯（３１０）のみを用いてガラス基板（２００）の不均一度を測定する。
【００５８】
以下、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）を分離する方法及び多様な不均一度測定方法を添付の図面を参照して詳述する。
【００５９】
図４は、図３のガラス基板の不均一度測定システムを具体的に示した図面であり、図５は、本発明の一実施例による光源部の構造を示した図面である。図６は、帯の形態を示した図面である。
【００６０】
図４を参照すると、本実施例の不均一度測定システムは、光源部（３００）、スクリーン（３０２）、感知部（４００）及び不均一度測定部（４０２）を含む。
【００６１】
光源部（３００）は、特定波長の光を出力する素子であって、例えば一定の線幅を有する第１光（２１０）（例：可視光線）をガラス基板（２００）に照射する。
【００６２】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）は、図５に示すように光源（５００）、第１レンズ（５０２）及び第２レンズ（５０４）からなる。
【００６３】
光源（５００）は、例えば発光ダイオードを用いるレーザであり、可視光線、紫外線または赤外線を出力する。
【００６４】
第１レンズ（５０２）は、光源（５００）から出力された光（５２０）を拡散させる役割をし、第２レンズ（５０４）は、拡散された光（５２２）を一定の線幅を有する第１光（２１０）として変化させる。ここで、第２レンズ（５０４）はシリンドリカルレンズ（Ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ Ｌｅｎｓ）が該当する。
【００６５】
結論として、光源部（３００）は一定の線幅を有する第１光（２１０）を出力することができる。
【００６６】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）の構成要素、即ち光源（５００）、第１レンズ（５０２）及び第２レンズ（５０４）は、図５に示したように１つのケース（５１０）内に含めて具現することができる。ただし、光源部（３００）の構成要素（５００、５０２及び５０４）が一旦ケース（５１０）内に設けられた後は、光源部（３００）の構成要素（５００、５０２及び５０４）は個別に制御されず後述するように一体として動くように制御される。即ち、ケース（５１０）を上下左右に動かすことができる。
【００６７】
このような構造の光源部（３００）は、図４に示したようにガラス基板（２００）を基準として所定角度（ガラス基板（２００）の表面と光源部（３００）間の角度、θ１）及び離隔距離（ａ）を有して設けられる。
【００６８】
本発明の一実施例によると、角度（θ１）及び離隔距離（ａ）のうち少なくとも１つは後述するように相互分離された帯（３１０及び３１２）を得るために可変することができる。これに関する詳細な説明は後述する。
【００６９】
スクリーン（３０２）は、反射光（２１２及び２１４）に該当する像が結ばれる部分、即ち帯（３１０及び３１２）が形成される部分であって、ガラス基板（２００）から所定距離（ｂ）だけ離隔された状態で配列される。
【００７０】
感知部（４００）は、スクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）を感知し、例えばカメラとして帯（３１０及び３１２）を撮影しイメージを獲得する。ここで、感知部（４００）がスクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）のイメージが獲得できさえすれば、感知部（４００）の設置位置及び方向は特に制限されない。
【００７１】
本発明の他の実施例によると、感知部（４００）は、スクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）のうち第１帯（３１０）に関するイメージのみを獲得することもできる。ただし、帯（３１０及び３１２）のイメージを獲得し、獲得されたイメージから第１帯（３１０）に関する情報のみを分離する過程が、第１帯（３１０）に関するイメージのみを獲得して分析する過程より容易であるため、帯（３１０及び３１２）に関するイメージを獲得することが望ましい。
【００７２】
不均一度測定部（４０２）は、第１帯（３１０）の分析を通じてガラス基板（２００）の不均一度を測定する不均一度判断部（４１０）を含む。
【００７３】
具体的には、不均一度判断部（４１０）は、感知部（４００）と有線または無線で連結され感知部（４００）から帯（３１０及び３１２）に関するイメージを受信し、イメージから第１帯（３１０）に関する情報のみを分離させる。ここで、第１帯（３１０）は散乱縞としてガラス基板（２００）の不良に関する情報を含んでいるため、不均一度判断部（４１０）は第１帯（３１０）の分析を通じてガラス基板（２００）の不均一度を測定できる。
【００７４】
図４には示さなかったが、不均一度測定部（４０２）は１つのコンピュータで具現することができ、管理者に測定結果を提供するためにディスプレイ部などをさらに含む。
【００７５】
また、コンピュータは不均一度測定だけでなく、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）の動きを制御することもできる。
【００７６】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、相互分離されて形成された帯（３１０及び３１２）に関するイメージを獲得し、イメージのうち第１帯（３１０）のみを分離及び分析してガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定する。
【００７７】
上述したように、ガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定するためには、帯（３１０及び３１２）が明確に分離し形成されることが必須である。従って、本実施例の不均一度測定システムは、相互分離された帯（３１０及び３１２）を獲得するためにガラス基板（２００）と光源部（３００）間の角度（θ１）、ガラス基板（２００）と光源部（３００）間の離隔距離（ａ）及びガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の距離（ｂ）を適切に設定する。
【００７８】
以下、不均一度測定システムの設定過程を実際の実験結果を通じて説明する。
まず、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）及び離隔距離（ａ）をそれぞれ４５°及び１１０mmに設定した後、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変しながらスクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００７９】
実験の結果、図６（Ａ）に示されたように帯（３１０及び３１２）が視覚的に分離される最適の離隔距離（ｂ）は５２mmとして測定され、約６０mmの離隔距離（ｂ）までは帯（３１０及び３１２）が相互干渉なく分離されることを確認した。しかし、離隔距離（ｂ）が６０mmを超える場合、図６（Ｂ）に示したように帯（３１０及び３１２）が明確に分離されず相互干渉を起こすことが確認された。
【００８０】
続いて、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）を１１０mmに維持した状態で、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）を６０°７５°及び８５°の順に設定し、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変させながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
実験の結果、帯（３１０及び３１２）が明確に分離される最適な離隔距離（ｂ）は５０mm、３８mm及び５mmとしてそれぞれ測定された。
【００８１】
続いて、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）を一定の値に維持した状態で、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）を順に設定した後、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変しながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００８２】
上記のような方式で角度（θ１）、離隔距離（ａ）及び離隔距離（ｂ）を可変しながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００８３】
実験の結果を要約すると、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が４５°〜８０°の間の値を有し、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）が約６０mm〜約１２０mmを有する状態で、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）が約６０mm以下である場合、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上に視覚的に分離して形成された。ただし、ガラス基板（２００）の破損を防止するためにスクリーン（３０２）をガラス基板（２００）から最小５mm以上離隔させるのが望ましく、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）は約５mm〜約６０mmであった。
【００８４】
また、実験の結果、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の距離（ａ）と、ガラス基板（２００）からスクリーン（３０２）のうち第１帯（３１０）が形成される部分までの距離（ｂ）の比が１：１〜１：０．５であって、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が４５°〜８０°の間の値を有する場合に、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上で視覚的に分離して形成されることを確認できた。
【００８５】
さらに、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上に視覚的に分離されるためには、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が大きくなるにつれてガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を小さくする必要があることを確認できた。
【００８６】
以下、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムの設置過程を説明する。
まず、ガラス基板（２００）を基準として光源部（３００）及びスクリーン（３０２）を特定位置及び角度に設ける。
【００８７】
続いて、不均一度測定システムは、帯（３１０及び３１２）が明確に分離されるまで光源部（３００）を上下左右に動かす。即ち、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）及び離隔距離（ａ）を変化させながら、帯（３１０及び３１２）が明確に分離される最適な角度（θ１）及び離隔距離（ａ）を検出する。ここで、光源部（３００）の動きは管理者の操作によって手動で行わせることもできる。
【００８８】
続いて、不均一度測定システムは、検出された角度（θ１）及び離隔距離（ａ）に光源部（３００）を設けて固定する。
【００８９】
続いて、不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）をローラを用いて順に移動させてガラス基板（２００）の不均一度を測定する。
【００９０】
即ち、不均一度測定システムは、スクリーン（３０２）を一定の位置に設定した後、光源部（３００）を調整する方法を通じて所望のシステムを具現できる。
【００９１】
本発明の他の実施例によると、不均一度測定システムは、光源部（３００）を固定させた状態でスクリーン（３０２）を調整して所望のシステムを具現することもできる。
【００９２】
図２〜図６を要約すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、レンズ方式を用いて、帯（３１０及び３１２）が明確に分離されるように、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）をガラス基板（２００）を基準として適切な位置及び角度に設ける。ここで、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）の調整過程は、管理者によって手動で行わせることもでき、コンピュータによって自動で行わせることもできる。
【００９３】
以下、本実施例のガラス基板の不均一度測定方法と従来の不均一度測定方法を比較する。
従来の不均一度測定システムは、ガラス基板に入射された光がガラス基板の下面で反射されないようにガラス基板の下面に特定物質をコーティングする方法、ガラス基板を水面上に浮かばせる方法などを用いた。従って、ガラス基板の不均一度を測定した後に、ガラス基板の下面にコーティングされた物質を除去する等の追加過程を行う必要があった。結果的に、ガラス基板の不均一度を測定する時間及び費用が増加し、ガラス基板を用いるディスプレイ素子の歩留まりが低くなった。
【００９４】
しかし、本発明のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の下面にいかなる処理もせずにガラス基板（２００）自体を用い、スクリーン（３０２）に形成される帯（３１０及び３１２）が相互分離されるように上記システムを構築する。従って、不均一度測定システムにおいては、追加の工程を要せず、その結果不均一度を測定するための時間及び費用を著しく低減でき、ガラス基板（２００）を用いるディスプレイ素子の歩留まりを向上できる。
【００９５】
また、本発明の不均一度測定システムは、簡単な構成要素（３００、３０２及び４００）からなることができるので、上記システムを設けることが容易であり、エラーの発生確率も低かった。
【００９６】
図７は、本発明の第２実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面であり、図８は、本発明の一実施例によるスリット部の構造を示した図面である。図９は、図７の不均一度測定システムを用いた感知結果を示す図面である。
【００９７】
図７を参照すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、光源（７００）、スリット部（７０４）及び感知部（７０６）を含む。
【００９８】
光源（７００）は、特定波長を有する第１光（７１０）を出力する。例えばレーザ光である。
スリット部（７０４）は、図８に示したように少なくとも１つのスリット（８００）を含み、不均一度測定時にスリット（８００）のうち一部または全部を開放することができる。結果的に、光源（７００）から出力された第１光（７１０）がスリット（８００）を通過することによって一定の線幅を有する第２光（７１２）に変化する。
【００９９】
スリット（８００）を通過した第２光（７１２）は、ガラス基板（７０２）に入射され、ガラス基板（７０２）の上面及び下面によって反射される。
【０１００】
感知部（７０６）は、スクリーン（３０２）を感知した第１実施例と異なってガラス基板（７０２）の上面を感知し（例えば上面を撮影）、その結果、図９に示したように２つの帯（９００及び９０２）が表示されるイメージを獲得することができる。ここで、第１帯（９００）はガラス基板（７０２）の上面によって反射される第１反射光に該当する干渉縞であり、第２帯（９０２）はガラス基板（７０２）の下面によって反射される第２反射光に該当する干渉縞である。
【０１０１】
示さなかったが感知部（７０６）によって感知されたイメージは不均一度判断部に提供され、不均一度判断部は帯（９００及び９０２）のうち第１帯（９００）のみを分析してガラス基板（７０２）の不均一度を測定する。
【０１０２】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、スリット部（７０４）を用いて、感知部（７０６）がガラス基板本（７０２）を直接撮影して帯（９００及び９０２）に関するイメージを獲得する。
【０１０３】
説明を省略したが、スリット部（７０４）の位置に応じて帯（９００及び９０２）が明確に分離されることもでき、相互干渉を起こすこともできる。従って、本実施例の不均一度測定システムは、スリット部（７０４）または光源（７００）の位置を調整して帯（９００及び９０２）が明確に分離され得るように上記システムを具現し、その後ローラを通じて移動する複数のガラス基板（７０２）の不均一度を順次測定する。
【０１０４】
図１０は、本発明の第３実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
図１０を参照すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、光源（１０００）、スリット部（１００４）、スクリーン（１００６）及び感知部（１００８）を含む。
【０１０５】
ガラス基板（７０２）を直接的に感知した第２実施例と異なって本実施例の不均一度測定システムは、スリット部（１００４）を用いるものの、スクリーン（１００６）に形成された反射光（１０１４及び１０１６）に該当する帯を感知してガラス基板（１００２）の不均一度を測定する。
【０１０６】
ただし、感知部（１００８）は、他の実施例と異なってガラス基板（１００２）の下面の下部に位置させることができる。もちろんスクリーン（１００６）の設置角度に応じて感知部（１００８）がガラス基板（１００２）の上部に位置することもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
上述した本発明の実施例は、例示の目的のために開示されたものであって、本発明に関する通常の知識を有する当業者であれば本発明の思想と範囲内で多様な修正、変更、付加が可能であり、このような修正、変更及び付加はいずれも特許請求の範囲に属するものとみなすべきである。
【符号の説明】
【０１０８】
２００：ガラス基板
２００ａ：上面
２００ｂ：下面
３００：光源部
３０２：スクリーン
３１０：第１帯
３１２：第２帯
４００：感知部
４０２：不均一度測定部
４１０：不均一度判断部
５００：光源
５０２：第１レンズ
５０４：第２レンズ
７００：光源
７０２：ガラス基板
７０４：スリット部
７０６：感知部
１０００：光源
１００２：ガラス基板
１００４：スリット部
１００６：スクリーン
１００８：感知部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ素子、例えば液晶表示素子（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）に用いられるガラス基板の表面は、不良（Ｄｅｆｅｃｔ）などによって不均一な場合がある。
【０００３】
このような不均一のガラス基板を用いてディスプレイ素子を製造すると、ディスプレイ素子がガラス基板の不均一によって所望の仕様を具現できない場合が生じる。結果的に、ディスプレイ素子は廃棄処理され、ディスプレイ素子の歩留まりは低下せざるをえなかった。
【０００４】
従って、ガラス基板が製造された後他の工程が行われる前に、ガラス基板の不均一度を測定して不良のガラス基板を事前に検出することが重要である。
【０００５】
以下、ガラス基板の製造過程及び不均一度の測定方法を検討する。
図１は、一般的なガラス基板の製造工程を示した図面である。
図１に示した通り、液状のガラス溶解液を溶解炉に投与する。この場合、投与されたガラス溶解液が、矢印方向に流れてガラス基板が製造される。
【０００６】
ただし、ガラス溶解液が流れる過程において、流れる方向に線状の屈曲が発生し、その結果、不均一な表面を有するガラス基板が製造される場合があった。
【０００７】
従って、このような不均一な表面を有するガラス基板を検出するために、ガラス基板の不均一度を測定する多様な方法が登場した。
【０００８】
第１の測定方法として、ガラス基板を水に浮かべた後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【０００９】
第２の測定方法として、ガラス基板の下面に紙を付けた後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【００１０】
第３測定方法として、ガラス基板の下面に特定物質をコーティングした後、特定波長を有する光をガラス基板に照射してガラス基板の不均一度を測定する方法が登場した。
【００１１】
上記３つの測定方法の共通点を検討すると、上記方法は、ガラス基板から反射された反射光のうち均一度の測定に必要でないガラス基板の下面によって反射された反射光を除去するために、ガラス基板の下面に特定処理を行った。
【００１２】
しかし、上記測定方法は、特定物質をガラス基板の下面にコーティングする過程及び測定が完了した後コーティングを除去する過程などの追加の工程をさらに行う必要があったため、不均一度を測定するための時間及び費用が増加した。
【００１３】
また、ガラス基板の下面を処理してもガラス基板の下面から反射される反射光を完璧に除去することは難しいため、ガラス基板の不均一度を正確に測定するのは容易ではなかった。
【００１４】
さらに、ガラス基板の下面を処理する過程のため、ガラス基板の不均一度を測定する工程を自動化するのが難しかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は前記のような点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、下面の処理過程なしに、ガラス基板自体で不均一度を測定するシステム及び方法を提供するものである。
【００１６】
本発明の他の目的は、ガラス基板の上面及び下面から反射された反射光のうち上面から反射された反射光のみを用いて、ガラス基板の不均一度を測定するシステム及び方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様によるガラス基板の不均一度測定システムは、第１光を上記ガラス基板に照射する光源部，及びスクリーンを含む。ここで、上記光源部から照射された第１光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光が上記スクリーンに入射されて第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力された第２反射光が上記スクリーンに入射されて第２帯を形成し、上記第１帯と上記第２帯が分離されて形成されるように上記光源部及び上記スクリーンが上記ガラス基板を基準として配列される。
【００１８】
上記不均一度測定システムは、上記スクリーンに形成された帯を感知する感知部，及び上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含む。
【００１９】
上記光源部は、第２光を出力する光源，上記光源から照射された第２光を拡散する第１レンズ，及び上記第１レンズによって拡散された第２光を一定の線幅を有する第１光として出力させる第２レンズを含む。
【００２０】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは、１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現される。ここで、上記不均一度測定システムは、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記ケースを動かして上記帯が分離される最適な位置を検出し、上記ケースを上記検出された位置に固定させる。
【００２１】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源部は、上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する。
【００２２】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源部が上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成される。
【００２３】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が固定された状態で、上記ガラス基板と上記光源部の間の角度が増加するほど上記ガラス基板と上記スクリーン間の距離は近くなる。
【００２４】
本発明の他の態様によるガラス基板の不均一度測定システムは、特定光を出力する光源，及び少なくとも１つのスリットを有するスリット部を含む。ここで、上記光源から出力された光は、上記スリット部のスリットを通じて上記ガラス基板に照射され、上記ガラス基板に照射された光は、上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯が分離されて配列される。
【００２５】
上記不均一度測定システムは、上記第１帯及び上記第２帯を感知する感知部，及び上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含む。ここで、上記感知部は、上記ガラス基板を直接撮影して上記帯を感知する。
【００２６】
上記不均一度測定システムは、上記第１反射光及び上記第２反射光が入射されるスクリーン，感知部，及び不均一度測定部をさらに含む。ここで、上記スクリーンには上記第１反射光に該当する上記第１帯及び上記第２反射光に該当する第２帯が形成され、上記感知部は上記帯を感知し、上記不均一度測定部は上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離及び分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する。
【００２７】
本発明の他の態様によるガラス基板の不均一度を測定する方法は、第１光を上記ガラス基板に照射する段階，及び上記第１光が照射されることによって上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と、上記ガラス基板の下面によって反射され上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯のうち少なくとも１つを感知する段階を含む。ここで、上記第１帯と上記第２帯は、相互分離されて形成される。
【００２８】
上記不均一度測定方法は、上記第１帯と上記第２帯のうち上記第１帯のみを分離する段階，及び上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する段階をさらに含む。
【００２９】
上記ガラス基板に照射する段階は、上記第１光を第１レンズを用いて拡散する段階，及び上記拡散された第１光を第２レンズを用いて一定の線幅を有する第２光に変化させ上記ガラス基板に照射する段階を含む。ここで、上記ガラス基板の上面から反射された第２光はスクリーンに入射されて上記第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面から反射された第２光は上記スクリーンに入射されて上記第２帯を形成する。
【００３０】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現される。上記不均一度測定方法は、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記帯が分離されるまで上記ケースを動かす段階，及び上記帯が分離された後上記ケースを固定する段階をさらに含む。ここで、上記ガラス基板の不均一度を測定する時は、上記光源部及び上記スクリーンを固定させた状態で上記不均一度を測定する。
【００３１】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源は、上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する。
【００３２】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源が上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置した状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成される。
【００３３】
上記感知する段階は、上記ガラス基板を直接撮影して上記第１帯及び上記第２帯を感知する段階を含む。ここで、上記光源から出力された第１光は、少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射される。
【００３４】
上記第１反射光と上記第２反射光は、スクリーンに入射されそれぞれ上記第１帯及び上記第２帯を形成する。ここで、上記光源から出力された第１光は、少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射される。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によるガラス基板の不均一度測定システム及び方法は、下面を特定の方法で処理することがなくガラス基板自体を用いてガラス基板の不均一度を測定するため、不均一度測定のための時間及び費用を低減することができ、測定過程を自動化することが容易な長所がある。
【００３６】
また、不均一度測定システム及び方法は、ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯とガラス基板の下面によって反射された第２反射光に該当する第２帯を明確に分離させた後、第１帯を分析するため、不均一度測定システム及び方法はガラス基板の不均一度を正確に測定できる。
【００３７】
さらに、本発明の不均一度測定システムは、簡単な構成要素だけで具現できるので、システムを構築することが容易であり、システムのエラーを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】一般的なガラス基板の製造工程を示した図面である。
【図２】本発明の一実施例によるガラス基板の反射形態を示した断面図である。
【図３】本発明の第１実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを概略的に示した図面である。
【図４】図３のガラス基板の不均一度測定システムを具体的に示した図面である。
【図５】本発明の一実施例による光源部の構造を示した図面である。
【図６】帯の形態を示した図面である。
【図７】本発明の第２実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
【図８】本発明の一実施例によるスリット部の構造を示した図面である。
【図９】図７の不均一度測定システムでの感知結果を示した図面である。
【図１０】本発明の第３実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下では、添付の図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
【００４０】
図２は、本発明の一実施例によるガラス基板の反射形態を示した断面図である。
【００４１】
本発明のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の表面の不均一度、望ましくは上面（２００ａ）の不均一度を測定するシステムである。ここで、ガラス基板（２００）はディスプレイ素子に用いられる透明基板であって、例えば液晶表示素子（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）に用いられるベース基板である。
【００４２】
以下、ガラス基板（２００）の光反射特性を詳察し、その後ガラス基板の不均一度測定システムを詳察する。
【００４３】
まず、ガラス基板（２００）における光反射特性を説明する。
【００４４】
図２を参照すると、光源（図示せず）から出力された特定の波長を有する光（２１０）がガラス基板（２００）に入射される場合、入射された光（２１０）のうち一部はガラス基板（２００）の上面（２００ａ）によって反射され、他の一部はガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射される。結果的に、光（２１０）がガラス基板（２００）に入射されると、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）によって第１反射光（２１２）及びガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射され上面（２００ａ）を通じて出力される第２反射光（２１４）が発生する。
【００４５】
一般的に、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）が均一であると、光（２１０）のうち一部はガラス基板（２００）の上面（２００ａ）で同一の入射角（θ）と反射角（θ）を有して反射し、下面（２００ｂ）によって反射した第２反射光（２１４）は第１反射光（２１２）と平行に進行される。
【００４６】
一方、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）または下面（２００ｂ）が不均一であると、このような現象が同じように発生しない場合があるが、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）によって第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）が発生するという事実には変わりはない。
【００４７】
一般的にディスプレイ素子を製造する工程では、レイヤ（ｌａｙｅｒｓ）がガラス基板（２００）の上面（２００ａ）上にスパッタリング（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）方法などを通じて積層されるため、基板（２００）の上面（２００ａ）の不均一度を測定することが重要である。
【００４８】
しかし、光（２１０）をガラス基板（２００）に照射する場合、上面（２００ａ）によって反射された第１反射光（２１２）だけでなく下面（２００ｂ）によって反射された第２反射光（２１４）が発生するため、上面（２００ａ）の不均一度を測定することが容易ではなかった。特に、第２反射光（２１４）が第１反射光（２１２）と干渉を起こすため、第１反射光（２１２）のみを分離することが難しかった。
【００４９】
従って、本発明はガラス基板（２００）の下面（２００ｂ）によって反射される第２反射光（２１４）の存在を認めながら第２反射光（２１４）が第１反射光（２１２）に干渉を起こさない方法を提案する。
【００５０】
以下、本発明のガラス基板の不均一度測定システム及び方法を添付の図面を参照して説明する。
【００５１】
図３は、本発明の第１実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを概略的に示した図面である。
【００５２】
図３を参照すると、光源部（３００）は、特定の波長を有する光（２１０）を出力してガラス基板（２００）に照射し、照射された光（２１０）は、ガラス基板（２００）の上面（２００ａ）及び下面（２００ｂ）によって反射され第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）が出力される。ここで、光（２１０）は、一定の線幅を有して、可視光線、紫外線または赤外線であってもよい。
【００５３】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）は、レーザを用いて光（２１０）を出力することができ、後述するようにレンズを用いて一定の線幅の光（２１０）を出力することもできる。
【００５４】
ガラス基板（２００）によって反射された第１反射光（２１２）及び第２反射光（２１４）は、ガラス基板（２００）の上部に位置するスクリーン（３０２）に入射される。ここで、スクリーン（３０２）は不透明材質からなり、その結果第１反射光（２１２）に該当する干渉縞である第１帯（３１０）と、第２反射光（２１４）に該当する干渉縞である第２帯（３１２）がスクリーン（３０２）上に形成される。
【００５５】
ただし、本実施例の不均一度測定システムは、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）が視覚的に分離されて形成されるように上記システムの構成要素を配列させる。これに関する詳細な説明は後述する。
【００５６】
続いて、上記不均一度測定システムは、帯（３１０及び３１２）のうち第１帯（３１０）のみを分離してガラス基板（２００）の不均一度を測定する。この過程で、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）が明確に分離されているため、上記システムが第１帯（３１０）に関する情報のみを得るのが容易である。
【００５７】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定するために、第１反射光（２１２）に該当する第１帯（３１０）と第２反射光（２１４）に該当する第２帯（３１２）を明確に分離し、その後第１帯（３１０）のみを用いてガラス基板（２００）の不均一度を測定する。
【００５８】
以下、第１帯（３１０）と第２帯（３１２）を分離する方法及び多様な不均一度測定方法を添付の図面を参照して詳述する。
【００５９】
図４は、図３のガラス基板の不均一度測定システムを具体的に示した図面であり、図５は、本発明の一実施例による光源部の構造を示した図面である。図６は、帯の形態を示した図面である。
【００６０】
図４を参照すると、本実施例の不均一度測定システムは、光源部（３００）、スクリーン（３０２）、感知部（４００）及び不均一度測定部（４０２）を含む。
【００６１】
光源部（３００）は、特定波長の光を出力する素子であって、例えば一定の線幅を有する第１光（２１０）（例：可視光線）をガラス基板（２００）に照射する。
【００６２】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）は、図５に示すように光源（５００）、第１レンズ（５０２）及び第２レンズ（５０４）からなる。
【００６３】
光源（５００）は、例えば発光ダイオードを用いるレーザであり、可視光線、紫外線または赤外線を出力する。
【００６４】
第１レンズ（５０２）は、光源（５００）から出力された光（５２０）を拡散させる役割をし、第２レンズ（５０４）は、拡散された光（５２２）を一定の線幅を有する第１光（２１０）として変化させる。ここで、第２レンズ（５０４）はシリンドリカルレンズ（Ｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌ Ｌｅｎｓ）が該当する。
【００６５】
結論として、光源部（３００）は一定の線幅を有する第１光（２１０）を出力することができる。
【００６６】
本発明の一実施例によると、光源部（３００）の構成要素、即ち光源（５００）、第１レンズ（５０２）及び第２レンズ（５０４）は、図５に示したように１つのケース（５１０）内に含めて具現することができる。ただし、光源部（３００）の構成要素（５００、５０２及び５０４）が一旦ケース（５１０）内に設けられた後は、光源部（３００）の構成要素（５００、５０２及び５０４）は個別に制御されず後述するように一体として動くように制御される。即ち、ケース（５１０）を上下左右に動かすことができる。
【００６７】
このような構造の光源部（３００）は、図４に示したようにガラス基板（２００）を基準として所定角度（ガラス基板（２００）の表面と光源部（３００）間の角度、θ１）及び離隔距離（ａ）を有して設けられる。
【００６８】
本発明の一実施例によると、角度（θ１）及び離隔距離（ａ）のうち少なくとも１つは後述するように相互分離された帯（３１０及び３１２）を得るために可変することができる。これに関する詳細な説明は後述する。
【００６９】
スクリーン（３０２）は、反射光（２１２及び２１４）に該当する像が結ばれる部分、即ち帯（３１０及び３１２）が形成される部分であって、ガラス基板（２００）から所定距離（ｂ）だけ離隔された状態で配列される。
【００７０】
感知部（４００）は、スクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）を感知し、例えばカメラとして帯（３１０及び３１２）を撮影しイメージを獲得する。ここで、感知部（４００）がスクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）のイメージが獲得できさえすれば、感知部（４００）の設置位置及び方向は特に制限されない。
【００７１】
本発明の他の実施例によると、感知部（４００）は、スクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）のうち第１帯（３１０）に関するイメージのみを獲得することもできる。ただし、帯（３１０及び３１２）のイメージを獲得し、獲得されたイメージから第１帯（３１０）に関する情報のみを分離する過程が、第１帯（３１０）に関するイメージのみを獲得して分析する過程より容易であるため、帯（３１０及び３１２）に関するイメージを獲得することが望ましい。
【００７２】
不均一度測定部（４０２）は、第１帯（３１０）の分析を通じてガラス基板（２００）の不均一度を測定する不均一度判断部（４１０）を含む。
【００７３】
具体的には、不均一度判断部（４１０）は、感知部（４００）と有線または無線で連結され感知部（４００）から帯（３１０及び３１２）に関するイメージを受信し、イメージから第１帯（３１０）に関する情報のみを分離させる。ここで、第１帯（３１０）は散乱縞としてガラス基板（２００）の不良に関する情報を含んでいるため、不均一度判断部（４１０）は第１帯（３１０）の分析を通じてガラス基板（２００）の不均一度を測定できる。
【００７４】
図４には示さなかったが、不均一度測定部（４０２）は１つのコンピュータで具現することができ、管理者に測定結果を提供するためにディスプレイ部などをさらに含む。
【００７５】
また、コンピュータは不均一度測定だけでなく、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）の動きを制御することもできる。
【００７６】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、相互分離されて形成された帯（３１０及び３１２）に関するイメージを獲得し、イメージのうち第１帯（３１０）のみを分離及び分析してガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定する。
【００７７】
上述したように、ガラス基板（２００）の不均一度を正確に測定するためには、帯（３１０及び３１２）が明確に分離し形成されることが必須である。従って、本実施例の不均一度測定システムは、相互分離された帯（３１０及び３１２）を獲得するためにガラス基板（２００）と光源部（３００）間の角度（θ１）、ガラス基板（２００）と光源部（３００）間の離隔距離（ａ）及びガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の距離（ｂ）を適切に設定する。
【００７８】
以下、不均一度測定システムの設定過程を実際の実験結果を通じて説明する。
まず、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）及び離隔距離（ａ）をそれぞれ４５°及び１１０mmに設定した後、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変しながらスクリーン（３０２）に形成された帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００７９】
実験の結果、図６（Ａ）に示されたように帯（３１０及び３１２）が視覚的に分離される最適の離隔距離（ｂ）は５２mmとして測定され、約６０mmの離隔距離（ｂ）までは帯（３１０及び３１２）が相互干渉なく分離されることを確認した。しかし、離隔距離（ｂ）が６０mmを超える場合、図６（Ｂ）に示したように帯（３１０及び３１２）が明確に分離されず相互干渉を起こすことが確認された。
【００８０】
続いて、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）を１１０mmに維持した状態で、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）を６０°７５°及び８５°の順に設定し、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変させながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
実験の結果、帯（３１０及び３１２）が明確に分離される最適な離隔距離（ｂ）は５０mm、３８mm及び５mmとしてそれぞれ測定された。
【００８１】
続いて、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）を一定の値に維持した状態で、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）を順に設定した後、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を可変しながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００８２】
上記のような方式で角度（θ１）、離隔距離（ａ）及び離隔距離（ｂ）を可変しながら帯（３１０及び３１２）を観察した。
【００８３】
実験の結果を要約すると、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が４５°〜８０°の間の値を有し、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の離隔距離（ａ）が約６０mm〜約１２０mmを有する状態で、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）が約６０mm以下である場合、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上に視覚的に分離して形成された。ただし、ガラス基板（２００）の破損を防止するためにスクリーン（３０２）をガラス基板（２００）から最小５mm以上離隔させるのが望ましく、ガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）は約５mm〜約６０mmであった。
【００８４】
また、実験の結果、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の距離（ａ）と、ガラス基板（２００）からスクリーン（３０２）のうち第１帯（３１０）が形成される部分までの距離（ｂ）の比が１：１〜１：０．５であって、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が４５°〜８０°の間の値を有する場合に、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上で視覚的に分離して形成されることを確認できた。
【００８５】
さらに、帯（３１０及び３１２）がスクリーン（３０２）上に視覚的に分離されるためには、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）が大きくなるにつれてガラス基板（２００）とスクリーン（３０２）間の離隔距離（ｂ）を小さくする必要があることを確認できた。
【００８６】
以下、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムの設置過程を説明する。
まず、ガラス基板（２００）を基準として光源部（３００）及びスクリーン（３０２）を特定位置及び角度に設ける。
【００８７】
続いて、不均一度測定システムは、帯（３１０及び３１２）が明確に分離されるまで光源部（３００）を上下左右に動かす。即ち、光源部（３００）とガラス基板（２００）間の角度（θ１）及び離隔距離（ａ）を変化させながら、帯（３１０及び３１２）が明確に分離される最適な角度（θ１）及び離隔距離（ａ）を検出する。ここで、光源部（３００）の動きは管理者の操作によって手動で行わせることもできる。
【００８８】
続いて、不均一度測定システムは、検出された角度（θ１）及び離隔距離（ａ）に光源部（３００）を設けて固定する。
【００８９】
続いて、不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）をローラを用いて順に移動させてガラス基板（２００）の不均一度を測定する。
【００９０】
即ち、不均一度測定システムは、スクリーン（３０２）を一定の位置に設定した後、光源部（３００）を調整する方法を通じて所望のシステムを具現できる。
【００９１】
本発明の他の実施例によると、不均一度測定システムは、光源部（３００）を固定させた状態でスクリーン（３０２）を調整して所望のシステムを具現することもできる。
【００９２】
図２〜図６を要約すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、レンズ方式を用いて、帯（３１０及び３１２）が明確に分離されるように、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）をガラス基板（２００）を基準として適切な位置及び角度に設ける。ここで、光源部（３００）及びスクリーン（３０２）の調整過程は、管理者によって手動で行わせることもでき、コンピュータによって自動で行わせることもできる。
【００９３】
以下、本実施例のガラス基板の不均一度測定方法と従来の不均一度測定方法を比較する。
従来の不均一度測定システムは、ガラス基板に入射された光がガラス基板の下面で反射されないようにガラス基板の下面に特定物質をコーティングする方法、ガラス基板を水面上に浮かばせる方法などを用いた。従って、ガラス基板の不均一度を測定した後に、ガラス基板の下面にコーティングされた物質を除去する等の追加過程を行う必要があった。結果的に、ガラス基板の不均一度を測定する時間及び費用が増加し、ガラス基板を用いるディスプレイ素子の歩留まりが低くなった。
【００９４】
しかし、本発明のガラス基板の不均一度測定システムは、ガラス基板（２００）の下面にいかなる処理もせずにガラス基板（２００）自体を用い、スクリーン（３０２）に形成される帯（３１０及び３１２）が相互分離されるように上記システムを構築する。従って、不均一度測定システムにおいては、追加の工程を要せず、その結果不均一度を測定するための時間及び費用を著しく低減でき、ガラス基板（２００）を用いるディスプレイ素子の歩留まりを向上できる。
【００９５】
また、本発明の不均一度測定システムは、簡単な構成要素（３００、３０２及び４００）からなることができるので、上記システムを設けることが容易であり、エラーの発生確率も低かった。
【００９６】
図７は、本発明の第２実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面であり、図８は、本発明の一実施例によるスリット部の構造を示した図面である。図９は、図７の不均一度測定システムを用いた感知結果を示す図面である。
【００９７】
図７を参照すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、光源（７００）、スリット部（７０４）及び感知部（７０６）を含む。
【００９８】
光源（７００）は、特定波長を有する第１光（７１０）を出力する。例えばレーザ光である。
スリット部（７０４）は、図８に示したように少なくとも１つのスリット（８００）を含み、不均一度測定時にスリット（８００）のうち一部または全部を開放することができる。結果的に、光源（７００）から出力された第１光（７１０）がスリット（８００）を通過することによって一定の線幅を有する第２光（７１２）に変化する。
【００９９】
スリット（８００）を通過した第２光（７１２）は、ガラス基板（７０２）に入射され、ガラス基板（７０２）の上面及び下面によって反射される。
【０１００】
感知部（７０６）は、スクリーン（３０２）を感知した第１実施例と異なってガラス基板（７０２）の上面を感知し（例えば上面を撮影）、その結果、図９に示したように２つの帯（９００及び９０２）が表示されるイメージを獲得することができる。ここで、第１帯（９００）はガラス基板（７０２）の上面によって反射される第１反射光に該当する干渉縞であり、第２帯（９０２）はガラス基板（７０２）の下面によって反射される第２反射光に該当する干渉縞である。
【０１０１】
示さなかったが感知部（７０６）によって感知されたイメージは不均一度判断部に提供され、不均一度判断部は帯（９００及び９０２）のうち第１帯（９００）のみを分析してガラス基板（７０２）の不均一度を測定する。
【０１０２】
要するに、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、スリット部（７０４）を用いて、感知部（７０６）がガラス基板本（７０２）を直接撮影して帯（９００及び９０２）に関するイメージを獲得する。
【０１０３】
説明を省略したが、スリット部（７０４）の位置に応じて帯（９００及び９０２）が明確に分離されることもでき、相互干渉を起こすこともできる。従って、本実施例の不均一度測定システムは、スリット部（７０４）または光源（７００）の位置を調整して帯（９００及び９０２）が明確に分離され得るように上記システムを具現し、その後ローラを通じて移動する複数のガラス基板（７０２）の不均一度を順次測定する。
【０１０４】
図１０は、本発明の第３実施例によるガラス基板の不均一度測定システムを示した図面である。
図１０を参照すると、本実施例のガラス基板の不均一度測定システムは、光源（１０００）、スリット部（１００４）、スクリーン（１００６）及び感知部（１００８）を含む。
【０１０５】
ガラス基板（７０２）を直接的に感知した第２実施例と異なって本実施例の不均一度測定システムは、スリット部（１００４）を用いるものの、スクリーン（１００６）に形成された反射光（１０１４及び１０１６）に該当する帯を感知してガラス基板（１００２）の不均一度を測定する。
【０１０６】
ただし、感知部（１００８）は、他の実施例と異なってガラス基板（１００２）の下面の下部に位置させることができる。もちろんスクリーン（１００６）の設置角度に応じて感知部（１００８）がガラス基板（１００２）の上部に位置することもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
上述した本発明の実施例は、例示の目的のために開示されたものであって、本発明に関する通常の知識を有する当業者であれば本発明の思想と範囲内で多様な修正、変更、付加が可能であり、このような修正、変更及び付加はいずれも特許請求の範囲に属するものとみなすべきである。
【符号の説明】
【０１０８】
２００：ガラス基板
２００ａ：上面
２００ｂ：下面
３００：光源部
３０２：スクリーン
３１０：第１帯
３１２：第２帯
４００：感知部
４０２：不均一度測定部
４１０：不均一度判断部
５００：光源
５０２：第１レンズ
５０４：第２レンズ
７００：光源
７０２：ガラス基板
７０４：スリット部
７０６：感知部
１０００：光源
１００２：ガラス基板
１００４：スリット部
１００６：スクリーン
１００８：感知部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の不均一度測定システムにおいて、
第１光を上記ガラス基板に照射する光源部，及び
スクリーンを含み、
上記光源部から照射された第１光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光が上記スクリーンに入射されて第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力された第２反射光が上記スクリーンに入射されて第２帯を形成し、上記第１帯と上記第２帯が分離されて形成されるように上記光源部及び上記スクリーンが上記ガラス基板を基準として配列されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項２】
上記不均一度測定システムは、
上記スクリーンに形成された帯を感知する感知部，及び
上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項３】
上記光源部は、
第２光を出力する光源，
上記光源から照射された第２光を拡散する第１レンズ，及び
上記第１レンズによって拡散された第２光を一定の線幅を有する第１光として出力させる第２レンズを含むことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項４】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現され、
上記不均一度測定システムは、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で、上記ケースを動かして上記帯が分離される最適な位置を検出し、上記ケースを上記検出された位置に固定させることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項５】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源部は上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置することを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項６】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源部が上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成されることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項７】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が固定された状態で、上記ガラス基板と上記光源部の間の角度が増加するほど上記ガラス基板と上記スクリーン間の距離が近くなることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項８】
ガラス基板の不均一度測定システムにおいて、
特定光を出力する光源，及び
少なくとも１つのスリットを有するスリット部を含み、
上記光源から出力された光は上記スリット部のスリットを通じて上記ガラス基板に照射され、上記ガラス基板に照射された光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と、上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯が分離されて配列されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項９】
上記不均一度測定システムは、
上記第１帯及び上記第２帯を感知する感知部，及び
上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含み、
上記感知部は上記ガラス基板を直接撮影して上記帯を感知することを特徴とする請求項８に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項１０】
上記不均一度測定システムは、
上記第１反射光及び上記第２反射光が入射されるスクリーン，
感知部，及び
不均一度測定部をさらに含み、
上記スクリーンには上記第１反射光に該当する上記第１帯及び上記第２反射光に該当する第２帯が形成され、上記感知部は上記帯を感知し、上記不均一度測定部は上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離及び分析して上記ガラス基板の不均一度を測定することを特徴とする請求項８に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項１１】
ガラス基板の不均一度を測定する方法において、
第１光を上記ガラス基板に照射する段階，及び
上記第１光が照射されることによって、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯のうち少なくとも１つを感知する段階を含み、
上記第１帯と上記第２帯は相互分離されて形成されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１２】
上記不均一度測定方法は、
上記第１帯と上記第２帯のうち上記第１帯のみを分離する段階，及び
上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１３】
上記ガラス基板に照射する段階は、
第２光を第１レンズを用いて拡散する段階，及び
上記拡散された第２光を第２レンズを用いて一定の線幅を有する第１光に変化させ上記ガラス基板に照射する段階を含み、
上記ガラス基板の上面から反射された第１光はスクリーンに入射されて上記第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面から反射された第２光は上記スクリーンに入射されて上記第２帯を形成することを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１４】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、
上記ケースは全方向に動き可能であるように具現され、
上記不均一度測定方法は、
上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記帯が分離されるまで上記ケースを動かす段階，及び
上記帯が分離された後上記ケースを固定する段階をさらに含み、
上記ガラス基板の不均一度を測定する時は上記光源部及び上記スクリーンを固定させた状態で上記不均一度を測定することを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１５】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源は上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置することを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１６】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源が上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置した状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成されることを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１７】
上記感知する段階は、
上記ガラス基板を直接撮影して上記第１帯及び上記第２帯を感知する段階を含み、
上記光源から出力された第１光は少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射されることを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１８】
上記第１反射光と上記第２反射光はスクリーンに入射されてそれぞれ上記第１帯及び上記第２帯を形成し、
上記光源から出力された第１光は少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射されることを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１】
ガラス基板の不均一度測定システムにおいて、
第１光を上記ガラス基板に照射する光源部，及び
スクリーンを含み、
上記光源部から照射された第１光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光が上記スクリーンに入射されて第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力された第２反射光が上記スクリーンに入射されて第２帯を形成し、上記第１帯と上記第２帯が分離されて形成されるように上記光源部及び上記スクリーンが上記ガラス基板を基準として配列されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項２】
上記不均一度測定システムは、
上記スクリーンに形成された帯を感知する感知部，及び
上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項３】
上記光源部は、
第２光を出力する光源，
上記光源から照射された第２光を拡散する第１レンズ，及び
上記第１レンズによって拡散された第２光を一定の線幅を有する第１光として出力させる第２レンズを含むことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項４】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、上記ケースは全方向に動き可能であるように具現され、
上記不均一度測定システムは、上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で、上記ケースを動かして上記帯が分離される最適な位置を検出し、上記ケースを上記検出された位置に固定させることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項５】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源部は上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置することを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項６】
上記光源部と上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源部が上記ガラス基板を基準として４５°〜８０°の範囲に位置する状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成されることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項７】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が固定された状態で、上記ガラス基板と上記光源部の間の角度が増加するほど上記ガラス基板と上記スクリーン間の距離が近くなることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項８】
ガラス基板の不均一度測定システムにおいて、
特定光を出力する光源，及び
少なくとも１つのスリットを有するスリット部を含み、
上記光源から出力された光は上記スリット部のスリットを通じて上記ガラス基板に照射され、上記ガラス基板に照射された光は上記ガラス基板の上面及び下面で反射され、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と、上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯が分離されて配列されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項９】
上記不均一度測定システムは、
上記第１帯及び上記第２帯を感知する感知部，及び
上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離し、上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する不均一度測定部をさらに含み、
上記感知部は上記ガラス基板を直接撮影して上記帯を感知することを特徴とする請求項８に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項１０】
上記不均一度測定システムは、
上記第１反射光及び上記第２反射光が入射されるスクリーン，
感知部，及び
不均一度測定部をさらに含み、
上記スクリーンには上記第１反射光に該当する上記第１帯及び上記第２反射光に該当する第２帯が形成され、上記感知部は上記帯を感知し、上記不均一度測定部は上記感知部によって感知された帯のうち上記第１帯のみを分離及び分析して上記ガラス基板の不均一度を測定することを特徴とする請求項８に記載のガラス基板の不均一度測定システム。
【請求項１１】
ガラス基板の不均一度を測定する方法において、
第１光を上記ガラス基板に照射する段階，及び
上記第１光が照射されることによって、上記ガラス基板の上面によって反射された第１反射光に該当する第１帯と上記ガラス基板の下面によって反射されて上記上面を通じて出力される第２反射光に該当する第２帯のうち少なくとも１つを感知する段階を含み、
上記第１帯と上記第２帯は相互分離されて形成されることを特徴とするガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１２】
上記不均一度測定方法は、
上記第１帯と上記第２帯のうち上記第１帯のみを分離する段階，及び
上記分離された第１帯を分析して上記ガラス基板の不均一度を測定する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１３】
上記ガラス基板に照射する段階は、
第２光を第１レンズを用いて拡散する段階，及び
上記拡散された第２光を第２レンズを用いて一定の線幅を有する第１光に変化させ上記ガラス基板に照射する段階を含み、
上記ガラス基板の上面から反射された第１光はスクリーンに入射されて上記第１帯を形成し、上記ガラス基板の下面から反射された第２光は上記スクリーンに入射されて上記第２帯を形成することを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１４】
上記光源、上記第１レンズ及び上記第２レンズは１つのケース内に含まれて具現され、
上記ケースは全方向に動き可能であるように具現され、
上記不均一度測定方法は、
上記ガラス基板及び上記スクリーンを固定させた状態で上記帯が分離されるまで上記ケースを動かす段階，及び
上記帯が分離された後上記ケースを固定する段階をさらに含み、
上記ガラス基板の不均一度を測定する時は上記光源部及び上記スクリーンを固定させた状態で上記不均一度を測定することを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１５】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離と、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離の比は１：１〜１：０．５であり、上記光源は上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置することを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１６】
上記第２レンズと上記ガラス基板間の距離が６０mm〜１２０mmであり、上記光源が上記ガラス基板の上面を基準として４５°〜８０°の範囲に位置した状態で、上記ガラス基板から上記スクリーンのうち上記第１帯が形成される部分までの距離が６０mm以下の場合には、上記帯が相互分離されて形成されることを特徴とする請求項１３に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１７】
上記感知する段階は、
上記ガラス基板を直接撮影して上記第１帯及び上記第２帯を感知する段階を含み、
上記光源から出力された第１光は少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射されることを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【請求項１８】
上記第１反射光と上記第２反射光はスクリーンに入射されてそれぞれ上記第１帯及び上記第２帯を形成し、
上記光源から出力された第１光は少なくとも１つのスリットを有するスリット部を通じて上記ガラス基板に照射されることを特徴とする請求項１２に記載のガラス基板の不均一度測定方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公表番号】特表２０１３−５０１２４４（Ｐ２０１３−５０１２４４Ａ）
【公表日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−５４５８７２（Ｐ２０１２−５４５８７２）
【出願日】平成２３年２月２５日（２０１１．２．２５）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２０１１／００１３４０
【国際公開番号】ＷＯ２０１２／０７０７２３
【国際公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【出願人】（５０７１６２３６０）セミシスコ・カンパニー・リミテッド (5)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月２５日（２０１１．２．２５）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＫＲ２０１１／００１３４０
【国際公開番号】ＷＯ２０１２／０７０７２３
【国際公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【出願人】（５０７１６２３６０）セミシスコ・カンパニー・リミテッド (5)
【Ｆターム（参考）】
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