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国際特許分類[G01N21/88]の内容

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【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。
【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パターンを撮像して波長毎の画像を一括して取得し、前記撮像した画像を波長毎に分解して前記検査対象物の表面の凹凸欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】検査手段がより溶接部の形状に倣うことが可能な検査装置。
【解決手段】少なくとも2つの部材を接合する線状の溶接部を探傷する検査装置1であって、基部2と、基部2に対して、溶接部Wに平行な軸線8回りに回転可能に支持されたアーム3,4,5,6,7と、アームに設けられ、探傷手段9を有する検出部19と、アームを回転方向一方側に付勢することによって、検出部19を溶接部Wに密着させる付勢部材25と、を備える検査装置。 (もっと読む)


【課題】光特性ムラを短時間で高精度に測定することができる光特性ムラ測定装置を提供する。
【解決手段】撮像部110は、LED実装基板200−1に配列されたLED光源211を同時に撮像すると共に、各測定点Pから入射された光の特性値として、XYZ表色系のx値及びy値をそれぞれ検出する。パーソナルコンピュータは、光放射角に応じて定められた角度補正マトリクスを用いて、それぞれのLED光源211に対応する光特性値を、基準となる放射角に対応する値に補正する。LED光源211の特性値を放射角に応じて補正するため、複数のLED光源211を同時に撮像するにも拘わらず、正確な光特性値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面の荒れ具合を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢20の内側底面20Bを検査する表面検査装置100は、内側底面20Bを撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部10と、処理対象画像の濃度ヒストグラムを生成する濃度ヒストグラム生成部11と、濃度ヒストグラム生成部11が生成する濃度ヒストグラムに基づいて内側底面20Bの荒れ具合を判定する荒れ具合判定部13とを備える。 (もっと読む)


【課題】ヒストグラムを目視で確認しつつ、検査対象物の良否を判定する基準である判定閾値を容易に設定することができる画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法を提供する。
【解決手段】撮像部で撮像された検査対象物の画像と、事前に記憶してある検査対象物と比較する基準となるマスタ画像との一致度を算出する。複数の検査対象物について算出した一致度の度数分布を示すヒストグラムを表示し、撮像部で撮像された検査対象物について算出した一致度を、表示されたヒストグラムに対応付けて表示する。ヒストグラムと一致度とが同じ画面上に表示された状態で、検査対象物の良否判定に用いる閾値を設定する。 (もっと読む)


【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。 (もっと読む)


【課題】検査時間の短縮や検査精度の向上を図ることができるプリプレグの欠陥の検査手法、プリプレグの欠陥の位置情報を後工程である検反工程に伝達する手法を取り入れた、離型紙を用いたホットメルト法によるプリプレグの製造方法の提供。
【解決手段】離型紙5A、5Bと離型紙に炭素繊維束1に含浸される樹脂が塗布されて形成された樹脂フィルム6Aからなる樹脂シート3A、3B、3a、3bにおける樹脂フィルムの表面を光学装置により検査し、表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定する樹脂シート検査工程S6A、あるいは、炭素繊維束に樹脂フィルムを形成している樹脂が含浸されて形成されたプリプレグシート9、9aの離型紙を剥離した後のプリプレグの表面を光学装置により検査することにより、プリプレグの表面の欠陥を検出し、検出された欠陥の種類を判定するプリプレグシート検査工程S9を有することを特徴とするプリプレグの製造方法。 (もっと読む)


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