国際特許分類[G01N21/88]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析 (28,618) | 特殊な応用に特に適合したシステム (7,977) | きず,欠陥,または汚れの存在の調査 (6,670)
国際特許分類[G01N21/88]の下位に属する分類
動いている材料,例.紙・織物,の中の (1,103)
容器中またはその内容物 (293)
染料,例.蛍光インク,の浸透を用いるもの (66)
検査用標準;キャリブレーション (68)
汚れ,例.塵埃,の調査 (89)
調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの (3,597)
国際特許分類[G01N21/88]に分類される特許
11 - 20 / 1,454
LED照明を用いた観察装置、膜厚むら検出装置並びに膜厚むら検出装置付塗布装置
【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。
(もっと読む)
表面検査装置及び表面検査方法
【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面の荒れ具合を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢20の内側底面20Bを検査する表面検査装置100は、内側底面20Bを撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部10と、処理対象画像の濃度ヒストグラムを生成する濃度ヒストグラム生成部11と、濃度ヒストグラム生成部11が生成する濃度ヒストグラムに基づいて内側底面20Bの荒れ具合を判定する荒れ具合判定部13とを備える。
(もっと読む)
画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法
【課題】ヒストグラムを目視で確認しつつ、検査対象物の良否を判定する基準である判定閾値を容易に設定することができる画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法を提供する。
【解決手段】撮像部で撮像された検査対象物の画像と、事前に記憶してある検査対象物と比較する基準となるマスタ画像との一致度を算出する。複数の検査対象物について算出した一致度の度数分布を示すヒストグラムを表示し、撮像部で撮像された検査対象物について算出した一致度を、表示されたヒストグラムに対応付けて表示する。ヒストグラムと一致度とが同じ画面上に表示された状態で、検査対象物の良否判定に用いる閾値を設定する。
(もっと読む)
表面検査装置、表面検査方法、および露光システム
【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。
(もっと読む)
穴の内部検査装置、検査方法、およびプログラム
【課題】検査対象の穴径が数百ミクロン以下であっても穴の内部を簡便に、短時間で検査することが可能な穴の内部検査装置を提供する。
【解決手段】穴の内部検査装置100は、カメラ10と、カメラ10に対向して設けられた光源20と、カメラ10が取得した画像を処理する制御部30と、を備え、カメラ10は、カメラ10と光源20との間に置かれた被検査物2に貫通して形成された穴1の内部を、光源20から照射される光によって得られる画像によって穴1の一方の端から他方の端までを所定の間隔で走査することで複数の走査画像Isを取得し、制御部30は、複数の走査画像Isに分布する輝度に基づいて被検査画像を選択し、被検査画像に対して画像処理を行うことで所望の検査を行う。
(もっと読む)
コンクリート打継面の評価装置
【課題】先行して打設したコンクリートの表面に新たなコンクリートを打設する打継面の評価を、客観的に行う装置と方法を提供する。
【解決手段】
ラインレーザー1とデジタルカメラ2と解析用パソコン3によって構成する。ライン状のレーザー光線をコンクリート打継面4に照射する。その照射線41をデジタルカメラ2で撮影する。撮影した照射線41を画像解析することで座標データとして抽出してコンクリート表面の評価を行う。
(もっと読む)
キャリブレーション方法および基板検査装置
【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。
(もっと読む)
表面検査方法
【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品20の表面に設定される第1領域を1つの画素で検出する第1画像取得手段によって取得する第1画像取得工程と、取得した第1画像の第1領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第1領域を各欠陥検出領域351と設定する欠陥領域設定工程と、第2領域41−49を1の画素で検出する第2画像検出手段によって欠陥検出領域351と欠陥検出領域351の周辺を含む欠陥判定領域40の複数の第2領域41−49の画像を取得する第2画像取得工程と、各第2領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第2領域41−49の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。
(もっと読む)
ひび割れ検出方法及び検出装置
【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Mの表面で反射されて位相変調された信号光2と、この検査対象物Mの表面で位相変調されていない参照光3との干渉によってフォトリフラクティブ結晶4中に生じたダイナミックホログラムで参照光3を回折し、この回折した参照光3を複数の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6で受光する。複数の検出チャンネル5のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル5から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル5をディスクリミネータ7で弁別し、この弁別された検出チャンネル5の受光強度をマルチプレクサ8で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。
(もっと読む)
カラーフィルタ基板の欠陥検査方法
【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。
(もっと読む)
11 - 20 / 1,454
[ Back to top ]