【課題】レーザ光を用いて水中で実行する非破壊検査の精度を向上させる。
【解決手段】照明用のレーザ光１０２ａは、検査対象領域Ｂに照射されて反射光１０２ｂとなる。水流発生装置１０７の駆動により水流１０７ａが発生する。加熱用のレーザ光１０１ａは、検査対象領域Ｂを加熱する。水流１０７ａを通過した反射光１０２ｂにより第１微分画像が生成される。画像撮影素子１１５は第１微分画像を撮影する。その後、レーザ光１０１ａの照射が停止されて検査対象領域Ｂが設定温度まで低下したとき、第２微分画像が画像撮影素子１１５にて撮影される。第１及び第２微分画像情報が解析装置２０７に入力される。水流１０７ａによって反射光１０２ｂの経路での水の屈折率がより一様化されるため、レーザ光を用いた水中の非破壊検査でき裂の有無を精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】被測定材を破壊することなく、その表面の損傷度合を客観的に測定することができる損傷度合測定装置および損傷度合測定方法を提供すること。
【解決手段】建築用シーリング材１の表面の対象範囲Ｒにおける損傷度合を測定するための装置であって、対象範囲Ｒに生じたひび割れ２の深さの平均値（ａ）、幅の平均値（ｂ）および総面積値（Ｓ）を予め格納された式（１）に代入する結果、ひび割れ２により応力が解放された部分の体積（Ｖｅ）を算出することにより、建築用シーリング材１の表面の損傷度合を測定するものである。
式（１） Ｖｅ＝（πａ²／２）Ｓ／ｂ
この式（１）において、Ｖｅは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２により応力が解放された部分の体積、ａは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の深さの平均値、ｂは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の深さの平均値、Ｓは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の総面積値である。 （もっと読む）

【課題】研磨等によって生じた微小傷群に起因する光沢感むらのような塗装面不良（白ボケ）を自動的に、かつ官能評価と相関高く判定できる塗装面品質評価方法を提供する。
【解決手段】被検査塗装面を撮像し、得られた被検査塗装面画像に前処理を施した前処理後被検査塗装面画像の輝度ヒストグラムから第１の標準偏差σ１を算出する。また、前処理後被検査塗装面画像に対してラプラシアンフィルタリング処理を行って得られた画像の輝度ヒストグラムから第２の標準偏差σ２を算出し、両標準偏差σ１，σ２に基づいて被検査塗装面の塗装面品質を判定する。σ１は塗装面の所謂ムラ感、σ２は微小傷の多さを表していると考えられ、これらσ１，σ２を主成分とした塗装面品質判定によれば、微小傷群に起因する白ボケは客観的、自動的に判定可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な手法で高速かつ安定に焦点を合わせることが可能な基板観察方法および基板観察装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、それぞれ基板２０の表面の複数の点Ｐに観察光学系２の焦点を合せたときの観察光学系２の複数のＸＹＺ座標をフォーカスマップとして予め記憶しておき、そのフォーカスマップに基づいて、基板２０の表面の所望の点Ｑに観察光学系２の焦点を合せるための観察光学系２のＸＹＺ座標を求め、求めたＸＹＺ座標に観察光学系２を位置決めする。したがって、簡単な手法で高速かつ安定に焦点を合わすことができる。 （もっと読む）

【課題】 表面欠陥の良否判別をより詳細に実施する表面検査装置を提供する
【解決手段】 本発明の表面検査装置は、偏光観察状態では、偏光方向の異なる２つの偏光素子を照明光路と受光光路にそれぞれ設け、照明光の振動面に対して被検基板のパターンを斜め向きに設定する。この状態で受光光路の光束を結像して光強度信号を生成する。この光強度信号の第１信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第１条件）で良否判定する。一方、本発明の表面検査装置は、偏光素子の少なくとも一方を光路から外してオープン観察状態とする。この状態で得られる光強度信号の第２信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第２条件）で良否判定する。この２種類の良否判定によって被検基板の良否判定を一段と詳細に行うことができる。 （もっと読む）

【解決手段】 内フラップ７の外側に外フラップ８を重合して形成した側面２ｅを有するいわゆるラップラウンドケースの検査装置１であって、
上記ケース２の側面２ｅに対して、照明手段４によりライン光を照射するとともに、該照明手段４の照射方向とは異なる方向から撮影手段５により側面２ｅに投影された投影線Ｌを所定時間間隔で撮影する。
画像処理手段６は撮影した投影線Ｌの画像から内フラップ７および外フラップ８の高低差を認識するとともに、内フラップ７および外フラップ８により形成される側面２ｅを立体形状として認識し、この立体形状からケース２の成形不良や位置ずれ量を検出して、ケース２の良否を判断する。
【効果】 いわゆるラップラウンドケースの成形不良を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に悪影響を与えることなく、修正部を迅速に焼成または硬化させることが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、修正部２４を焼成する場合、まず予備加熱装置３０をオンして基板２０上の修正部２４を含む広い範囲にレーザ光αを照射し、温度センサ３１の検出温度が焼成温度よりも若干低い所定の温度になるように予備加熱した後、スポット加熱装置３２をオンして基板２０上の修正部２４を含む微小範囲にレーザ光βを所定時間照射し、修正部２４を焼成する。したがって、基板２０に影響を与えることなく修正部２４の温度を短時間で上昇させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に形成されるパネルのエッジの位置を精度よく検出する。
【解決手段】エッジの位置検出装置が実行する処理は、当該装置に対して外部から入力される指示に基づいて、初期設定を実行するステップ（Ｓ７１０）と、ガラス基板の全体を表わす画像から、対象となる領域に対応する画像を抽出するステップ（Ｓ７２０）と、抽出された画像のエッジを強調した画像データを生成するステップ（Ｓ７３０）と、エッジ強調された画像を表わすデータを投影累算方向の方向に従って積算し、一次元投影累算データを生成するステップ（Ｓ７４０）と、統計量を算出する対象となる領域を決定するステップ（Ｓ７５０）と、決定された領域に基づいて統計量を算出し、その統計量に基づいて閾値を算出するステップ（Ｓ７６０）と、閾値を用いて、パネルエッジの位置を決定するステップ（Ｓ７７０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】画像によりリブ又は異物の検査を行う場合において、アドレス電極等の不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、リブ等の検査の正確を期することができると共に、簡易且つ低コストの構成で正確にリブを検査することが可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】正反射光学系を用いてＰＤＰ背面板１００のリブ１０４の状態を外観検査する場合に、撮像素子の受光方向Ｃとガラス基板１０１との為す当該ガラス基板１０１から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つのリブ１０４において対向する壁面間の距離をＷ_ｉ、各リブ１０４の高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ_ｉを満たす角度θとされている。 （もっと読む）

【課題】 処理部において処理が施される前の基板につき、容易に良否判定を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 光源１７１および受光部１７２のそれぞれは、加熱処理部１６０付近に設けられるとともに、基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て加熱処理部１６０の上流側に設けられている。光源１７１は、その光軸が基板Ｗの搬送方向ＡＲ１と略垂直となるように、支持部材１７３により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。受光部１７２は、光源１７１の光軸の延長上となるように、支持部材１７４により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。これにより、搬送中の基板Ｗにつき、加熱処理部１６０に搬入されるまでの期間に、該基板Ｗの表面状況を判定し、良否判定を実行できる。 （もっと読む）