【課題】検査対象基板の気泡起因の突起欠陥と、異物起因の突起欠陥と、表面のうねり(ラフネス)を、正確に判別して、欠陥検査を行う。
【解決手段】検査対象基板とほぼ垂直な方向から光束を照射し、その照射光によって発生した反射光の強弱を光学センサで受光する工程と、この光学センサで検出した信号に基づいて画素ごとの階調分布を算出し、階調の極大値の座標を算出する工程と、前記検出した信号に基づいて画素ごとの２値化処理した画像を作成し、欠陥候補部の形状を認識し、この形状の重心の座標を算出する工程と、前記極大値の座標と前記重心の座標の位置関係によって欠陥の種類を判別する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁層の試料（試験片）の採取を不要とし、きわめて簡単な方法で且つ短時間で、絶縁体の気泡の発生状態を正確に検知可能とするとともに、簡便な方法で気泡の発生を抑制することを可能とした無機系絶縁体の焼成状態検査方法及び製作方法、並びにその装置を提供するものである。
【解決手段】セラミック等の無機系絶縁物からなる絶縁層を円筒管１の表面に焼成してなる無機系絶縁体の検査方法及び製作方法であって、焼成後での絶縁層２の表面における光の反射率を測定し、該反射率と絶縁層２内における気泡４の状態とを関係付けておき、前記反射率の測定結果から絶縁層２内に発生している気泡４の混入状態を推定している。 （もっと読む）

【課題】色抜けや２重コートを精度よく容易に検出できるカラーフィルタの外観検査方法を提供する。
【解決手段】Ａ）予め、良品カラーフィルタの着色画素から区画を設定し、第１色の着色画素に対応した固体撮像素子の基準素子数を設定し、Ｂ）次に、被検査体カラーフィルタの着色画素から区画を設定し、第１色の着色画素に対応した固体撮像素子の検査素子数を算出し、Ｃ）次に、検査素子数が閾値内であれば、被検査体カラーフィルタは第１色の着色画素において色抜け及び２重コート欠陥のない良品と判定する。上記を、第２色〜第ｎ色の着色画素について行う。 （もっと読む）

【課題】ノンパラメトリックな１クラス判別に用いる判別関数の決定を支援する。
【解決手段】検査装置の判別関数決定部２０では、良品領域数判定部２６が、ノンパラメトリックな１クラス判別に用いる判別関数が、サンプルをプロットした入力空間において、クラスに判別されるサンプルを含む領域を単一の領域として形成するか否かを判定する。そして、クラスに判別されるサンプルを含む領域が単一でなければ、パラメータ設定部２４が、判別関数を規定する、密度関数の基底となる基底関数の領域の大きさを規定する領域パラメータを、サンプルをプロットした入力空間において該判別関数が単一の領域を形成するように設定する。 （もっと読む）

【課題】生産環境の変動に応じて動的に検査ロジックを設定することにより検査精度を向上させる検査制御装置を実現する。
【解決手段】良不良の判別結果を示す最終検査結果を生成するのに検査モジュール２０が用いるメイン検査ロジックＬ１を、複数の検査ロジックの中から選択する検査ロジック選択部３４と、メイン検査ロジックＬ１の最終検査結果と、メイン検査ロジックＬ１と異なる検査ロジックを用いてワークの良不良を判別したときの評価用検査結果とに基づいて、各検査ロジックの検査精度を評価する検査ロジック評価部３３とを備え、検査ロジック選択部３４は、検査ロジック評価部３３の評価結果に基づいて、メイン検査ロジックＬ１を選択する。 （もっと読む）

【課題】簡明且つ低廉な装置構成でスループットの高い検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、繰り返しパターンが形成された被検基板１０に直線偏光の照明光を照射する照明光学系３０と、被検基板１０により反射された反射光による像を撮像する撮像手段４４と、被検基板１０と撮像手段４４との間に設けられた偏光素子４３と、前記照明光の偏光軸方向と偏光素子４３の偏光軸方向とのなす角度を第１の角度および第２の角度に設定する設定手段４５と、前記第１の角度において撮像手段４４で撮像された第１画像および前記第２の角度において撮像手段４４で撮像された第２画像に基づいて、前記第１画像の輝度値と前記第２画像の輝度値とを演算処理して第３画像を生成する演算処理部５２と、前記第３画像を表示する画像表示部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検体の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも工業的な連続処理にも適用しうる被検体欠陥部等の検出装置及びその検出方法を提供する。
【解決手段】 被検体を加熱又は冷却する第１の手段と、第１の手段による加熱又は冷却と同時に第１の手段とは逆の熱作用である同被検体を冷却又は加熱する第２の手段と、被検体の同時加熱及び冷却中に被検体から放射される赤外線を検出する赤外線検出手段と、を含む。被検体を同時に加熱及び冷却し、赤外線放射量を増加させて連続的な処理の製品の検出精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】長時間を要することなく、被検査体の欠陥を高感度に検出することができる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体の表面の欠陥を検出する検査装置であって、前記被検査体の表面を第１の角度で照明する明視野照明手段と、前記被検査体の表面を前記第１の角度と異なる第２の角度で照明する暗視野照明手段と、前記明視野照明手段の正反射角方向に配置され、前記被検査体の表面からの拡散光を受光するレンズ系と光電変換センサとを有する受光光学系と、前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との差分を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 短い時間で正確な欠陥検査ができる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 ステージ２に載置される検査対象部品３に対してＣＣＤカメラ１２により２次元画像を撮像し、この撮像画像に対し制御部１５により２次元画像処理して欠陥検査を行い、この欠陥と判定された部分に対して、さらに高さ情報を用いて欠陥の再判定を行う。 （もっと読む）

【課題】下位ビットの階調の不具合を視覚的に素早く判別することのできる検査装置、および液晶テレビジョン用液晶モジュールを提供する。
【解決手段】検査装置１７は、内部メモリ１７ａに記録されたテストーパターン用映像信号の上位ビットにより表現される階調に対応したパターンと、下位ビットにより表現される階調に対応するパターンを同一画面上に表示する。このとき、各ビットの送信不良によって、画面に表示されるテストパターンの階調は変化するため、一画面上で上位ビットの不良と、下位ビットの不良を視覚的に判断できる。 （もっと読む）