【課題】画像欠陥検査において、画像のエッジ部分を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分を高い欠陥検出感度で検査することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明の画像欠陥検査装置４０は、基準画像データＤ１から生成されたエッジ画像データＤ５に基づいて、ピクセル毎にマージン値を設定する。そして、ピクセル毎に異なるマージン値を使用して画像欠陥検査を行う。このため、欠陥の有無を判定する際には、エッジ部分Ａ３と他の領域Ａ１，Ａ２とで異なるマージン値が使用される。したがって、エッジ部分Ａ３を欠陥として検出してしまうことを防止しつつ、他の部分Ａ１，Ａ２を高い欠陥検出感度で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された膜の膜厚変化の勾配を容易に確認する。
【解決手段】ムラ検査装置では、光照射部から基板上の膜に光を照射し、膜にて反射された特定の波長の干渉光を撮像部にて受光することにより、膜の元画像が取得される。元画像から導かれる対象画像において、互いに範囲が隣接する１対の濃度範囲の境界をそれぞれが示す複数の等濃度線７２１が求められ、各評価位置７２２に設定される評価領域７２３中に存在する等濃度線７２１の本数を求めることにより、当該評価位置７２２に対して対象画像中の濃度変化の勾配を示す評価値が取得される。その結果、評価値を参照して、基板上の膜の膜厚変化の勾配を容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置の提供。
【解決手段】本発明のシミ欠陥強調フィルタは、点対称位置でセットとされた２つの輝度比較画素の対象画素Ｏに対する輝度差の平均値などに基いて、輝度比較画素Ｓ１〜Ｓ３２で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、パネル画像領域Ｒｐの内部および外部に当該フィルタが跨る場合を第２条件および第３条件により判断し、このような場合、セットの輝度比較画素のうち対象画素Ｏと同じ領域にある方の対象画素Ｏとの輝度差をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。これにより、パネル画像領域Ｒｐ内外の輝度差に起因してシミ欠陥有りと誤検出することを防止できる。そして、このような複数の条件付けにより、パネル画像領域Ｒｐのみを撮像画像から抽出する処理などを不要にできるので、処理の簡略化、検査時間の短縮化が図られる。 （もっと読む）

【課題】画素やモアレの影響を受けない非セル領域をムラの観察領域とすることによって、短時間に効率よく低コストでカラーフィルタのムラを検査するカラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のカラーフィルタ検査方法は、カラーフィルタの非セル領域５に光を照射し（Ｓ２）、非セル領域５によって透過および／または反射された光を撮像して、検査画像を生成する（Ｓ３）。そして、上記検査画像の濃度分布と、ムラを有さない基板を予め撮像して得た参照画像の濃度分布とを比較して、非セル領域５のムラ３を検出する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】安価な装置でワークの検査を迅速に、かつ精度良く行うことができるワークの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、ワークＷの表面画像を取得するカメラ３を備えている。カメラ３は、ワークＷ表面に形成された回路等の被検査部Ｗ３と、ワークＷの位置調整用のアライメントマークＷ１，Ｗ２とが形成されている。カメラ３は、被検査部Ｗ３の画像を取得する際に、アライメントマークＷ１，Ｗ２の画像も取得する。装置本体４は、アライメントマークＷ１，Ｗ２の画像データからワークＷの位置ずれを検出し、欠陥の発見された位置のデータに対して必要な補正を加える。 （もっと読む）

【課題】従来の異物検査装置においては、適切に異物を分類できないという課題があった。
【解決手段】流体を濾過するフィルタの表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、フィルタ表面から取得された、波長帯が異なる２以上の画像情報である多波長画像情報を受け付ける画像情報受付部１０２と、多波長画像を用いて、異物を検出する異物検出部１０３と、多波長画像情報を用いて、異物検出部１０３が検出した異物の色に関する情報である色情報を取得する色情報取得部１０４と、色情報を用い、所望の統計処理を含む処理を行って、異物を分類する異物分類部１０５と、異物分類部１０５が異物を分類した結果を出力する出力部１１１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】検査工程における検査結果を製造工程に反映して、製品の品質を高めること。
【解決手段】軸受２４をカメラ２６で撮像し、この撮像に伴う画像を画像処理ユニットで処理し、この処理結果を管理装置１４で管理するに際して、カメラ２６の撮像に伴うビデオ信号のレベルが、しきい値を示す上限レベル１０２を超えていないが、規格値１０４を超えて上限値１０２に漸次近づく傾向を示すときには、製造工程における組み立て装置１０の組み立て方法を変更するか、あるいは組み立て装置１０の駆動を停止する。 （もっと読む）

【課題】透明フィルム等の透明固体の内面及び表面に存在する、微小な異物又は欠陥を検出することが可能な透明固体の検査方法を提供する。
【解決手段】面光源１から放出される平行光束は、偏光板２を透過した後、被検査体３を照明する。被検査体３を透過した光は、偏光板４を透過する。受光装置である２次元ＣＣＤカメラ５は、被検査体３の表面の像を、偏光板４を通して撮像するようになっている。２次元ＣＣＤカメラ５に撮像された画像は、パーソナルコンピュータ６に取り込まれ、画像処理により、画像の特異部が検出される。画像の特異部とは、画像の明るさが他の部分に対して所定の閾値以上明るかったり暗かったり、閾値以上に色変化があったりする部分であり、このような特異部の検出は、周知の画像処理技術を使用して行うことができる。検出された特異部は、管理用モニタ７に表示される。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、投光系に可動ミラー３０と固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けることで、走査光を可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射する。受光系に反射光のピーク点の位置および波形の分散値（光量分布）を検出することができる受光手段８を設け、被検査面より反射されたいずれかの反射光を受光し、反射光のピーク点の位置および波形の分散値を検出することで、反射光のピーク点の位置により光の反射角度を測定することが可能となり、また波形の分散値により被検査面に傷の有無を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】 既に印刷物の検査を行った印刷物を２回目以降の検査においてもマスタ印刷物の検査を行う必要性のない印刷物検査方法及び印刷物検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 複数のマスタ画像２を第１マスタ画像記録媒体５に記録し、前記第１マスタ画像記録媒体５に記録されたマスタ画像２を読み出し、前記第１マスタ画像記録媒体５より高速に読み出し可能な第２マスタ画像記録媒体１０に記録し、前記第２マスタ画像記録媒体１０から読み出したマスタ画像のエリア画像の濃度レベルと、当該エリア画像に対応する印刷物画像のエリア画像の濃度レベルとを比較し、比較した濃度レベルの差が予め設定した許容値以上であれば、当該部分を欠陥箇所として検出する。 （もっと読む）