【課題】 偏光素子の劣化による欠陥検出精度の低下を把握できる表面検査装置を提供すること。
【解決手段】 直線偏光を生成する第１の偏光素子３４を有し、直線偏光Ｌ１によって被検基板２０の表面を照明する照明手段１３と、直線偏光の振動面に交差する偏光成分を抽出する第２の偏光素子３７を有し、表面から発生した光のうち偏光成分Ｌ４を受光する受光手段１４と、第１の偏光素子および第２の偏光素子のうち少なくとも一方の劣化の度合いをモニタするモニタ手段１５,１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示デバイスの表示欠陥検出工程においてシェーディング除去の精度を高め、表示欠陥を高精度に検出できるシェーディング補正方法、欠陥検出方法、欠陥検出装置、その制御方法プログラムを提供すること。
【解決手段】欠陥検出装置は、撮像画像中の部分画像が中間部画像であるか周辺部画像であるかのエリア情報を判定し（ＳＴ２１）、部分画像中の各画素ごとの輝度値が所定輝度範囲内にある適用画素か否かを判定し（ＳＴ２２）、中間部画像に対応した中間部画像用平滑フィルタと周辺部画像に対応した周辺部画像用平滑フィルタとからエリア情報に基づいて選択した平滑フィルタを部分画像の適用画素に適用する（ＳＴ２３）ことで、部分画像中の着目画素の背景輝度値を算出して背景画像を生成する。この背景画像と撮像画像との差分をとることで、撮像画像からシェーディングを適切に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】通常の計測状態と校正用の計測状態との切り換えを、大掛かりな操作を要せずに容易かつ迅速に行うことができる、透過光計測型の青果物の内部品質評価装置を提供する。
【解決手段】被計測対象である青果物６０に対して光を投射する投光装置１０の光学系の近傍に、リファレンス光取り出し部４０を固定配置して、投光装置１０の光源からの光の一部を校正用として取り出すと共に、リファレンス光取り出し部４０からの光を、光ファイバ等のリファレンス光導光部４２により導光して受光装置２０へ導くようにした。 （もっと読む）

【課題】中間転写ベルトなどの表面状態を検知してその交換やメンテナンスの必要性を正確に判断し、無用の交換やメンテナンスを行うことのないようにする。
【解決手段】画像形成装置における像担持体の表面状態の検知方法であって、偏光した光を像担持体２３の表面に照射し、その反射光を、第１の方向の偏光軸を持つ第１の偏光板１０５を介して第１の光電センサ１０２で受光し、かつ第１の方向とは異なる第２の方向の偏光軸を持つ第２の偏光板１０６を介して第２の光電センサ１０３で受光し、第１の光電センサの出力信号Ｓ１および第２の光電センサの出力信号Ｓ２の両方に基づいて演算を行い、その演算結果に基づいて像担持体２３の表面状態を検知する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の付与および基板の回転により形成された基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認する。
【解決手段】基板上の膜は、外部のスピンコータにおいて主面上にレジスト液を塗布するとともに基板を主面に垂直な回転軸を中心として回転することにより形成されており、ムラ検査装置では、基板の膜から得られる対象画像７１中において、基板の上面上にて回転軸を中心として設定される複数の遠心方向のそれぞれに対応する動径方向に並ぶ画素の値を積算することにより、複数の遠心方向に対応する複数の評価値が取得される。その結果、評価値を参照することにより、基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に沿って伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】画像処理を用いて各棒状回転工具を、効率良く正確に検査することができる棒状回転工具の欠陥検査装置と欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】切削加工等に用いる棒状回転工具であるワーク１６の回転軸を軸線として、これに垂直方向から観察可能な側面カメラ２８により撮影された画像を用いて画像処理を行うことによりワーク１６の欠陥を検出する画像処理ボード３０等の画像処理装置を有する。ワーク１６の軸線に同軸な円筒面に内向きに、ＬＥＤ３４を複数配置したほぼ半円アーチ形の照明装置２４を備える。照明装置２４はワーク１６に対して側面カメラ２８が配置された側に位置し、ワーク１６の外周面を均一に照明可能である。 （もっと読む）

【課題】カメラもしくは検査対象物を移動させ、移動させながら得られた時系列の映像から、使用したカメラの画素分解能よりも高い画素分解能の画像を作成し、使用したカメラとほぼ同様のサンプリング速度により画像を出力し表示することができる検査装置を提供する。
【解決手段】高精細画像作成装置により作成した高精細画像と局所カメラから出力された画像とを比較して高精細画像の復元度を求め、この復元度に基づいて高精細画像作成装置を制御することにより、この高精細画像作成装置により作成される高精細画像を制御する画像比較装置５ｂと、高精細画像作成装置により作成した高精細画像を表示する表示装置５ｆと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】画像処理法によるハニカム構造体の目詰まり検査について、より安定的に高精度な検査を行えるようにする。
【解決手段】ハニカム構造体１におけるセル目詰まりを検査するために、照明装置２にて照明光がセル１１を透過するようにしてハニカム構造体をその一端側から照明した状態でハニカム構造体の他端側の端面をカメラ３にて撮影して検査画像を取得し、その検査画像に基づいてセル目詰まりに関する良否判定を行うようにされている検査方法について、照明光が遮られることなく透過するか、又は照明光が一部透過するセルである貫通セルの個数を検査画像から計測し、その貫通セル個数に基づいて良否判定を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーハーネスの変更に容易に対処でき、かつ、ワイヤーハーネスの外観検査精度を一定に維持できる技術を提供すること。
【解決手段】ハーネス保持部材２０上にワイヤーハーネス１０が保持される。ハーネス支持柱部２４に被当接部材１６０が設けられており、被当接部材１６０に識別マーク部１３０が貼着けられている。撮像部１４０に当接部材１６４が一体的に設けられており、当接部材１６４の先端部に位置情報取得用カメラ１３２が取付けられている。当接部材１６４の先端部を被当接部材１６０に当接させるようにして、撮像部１４０で検査対象部位を撮像する。位置情報取得用カメラ１３２による識別マーク部１３０の読込画像に基づいて検査対象位置が特定されると共に、撮像部１４０の撮像画像に基づいて外観検査の合否が判定される。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板の気泡起因の突起欠陥と、異物起因の突起欠陥と、表面のうねり(ラフネス)を、正確に判別して、欠陥検査を行う。
【解決手段】検査対象基板とほぼ垂直な方向から光束を照射し、その照射光によって発生した反射光の強弱を光学センサで受光する工程と、この光学センサで検出した信号に基づいて画素ごとの階調分布を算出し、階調の極大値の座標を算出する工程と、前記検出した信号に基づいて画素ごとの２値化処理した画像を作成し、欠陥候補部の形状を認識し、この形状の重心の座標を算出する工程と、前記極大値の座標と前記重心の座標の位置関係によって欠陥の種類を判別する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）