【課題】重量の増加がなく、被覆材料による悪影響もない光学部材とその製造方法を提供する。
【解決手段】透光性のある材料の表面を、プラズマエッチングして改質して成る光学部材である。透光性のある材料の表面をプラズマエッチングして改質し、光の反射特性または透光性を調整する光学部材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの直径や長さの制御が容易であり、基板上に選択的にカーボンナノチューブを製造できるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、基板をチャンバー内に配置し基板に化学気相成長（ＣＶＤ）処理しカーボンナノチューブを製造する工程とを含むカーボンナノチューブの製造方法。 （もっと読む）

【課題】一定の明るさで刃面全体を見ることができ、効率良く正確に検査することができる工具欠陥検査方法と工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物のワーク１２を撮像してその形状の特徴線を抽出する特徴抽出方法であって、撮像した画像データをそのまま用いて、撮像素子の画素配列の縦軸方向や横軸方向若しくは斜め方向に１画素×ｎ画素（ｎは自然数）の画素列をとり、その列内で前記各画素の輝度の最小値若しくは最大値となる画素を求める。その画素を検査対象物の形状の一部として抽出し、この抽出処理を画素列の方向と直交する方向に、画素列の位置を順次変えながら最小値若しくは最大値となる画素を求める。抽出した画素を繋ぎ合わせて、検査対象物の特徴線とする。 （もっと読む）

【課題】確実にガラス基板表面の偏光板フィルム等を剥離することができ、消耗品や廃棄物の生じないフィルム材剥離方法と装置を提供する。
【解決手段】表面に偏光板フィルム１１が貼付されたガラス基板１０の角部で、偏光板フィルム１１の角部とガラス基板１０表面との間に差し込まれる刃部２４ａを有する。偏光板フィルム１１の角部を、刃部２４ａとともに挟持する挟持片２４ｂを有した挟持ヘッド２４を備える。挟持ヘッド２４の近傍に位置しガラス基板１０から剥離された偏光板フィルム１１の一方の側に位置した剥離駆動ローラ１８を有する。剥離駆動ローラ１８に対して偏光板フィルム１１を挟んで反対側に位置し剥離駆動ローラ１８とともに偏光板フィルム１１を挟持する受けローラ２０，２１を備える。剥離駆動ローラ１８と受けローラ２０，２１を、偏光板フィルム１１を挟持した状態で、ガラス基板１０に対して相対的に移動させる駆動モータ２８を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの厚みのばらつき等があっても、半導体ウエハを破損させることなく保護テープの剥離を確実に且つ良好に行うことが可能なテープ剥離装置を提供する。
【解決手段】表面に保護テープ１４が貼付された半導体ウエハ１２が載置されるテーブル５４と、上下動可能に設けられた昇降部材２２を有する。保護テープ１４の端面に差し込まれる剥離用穿刺突起３６と、昇降部材２２に設けられ剥離用穿刺突起３６を保持した剥離部２４と、３６剥離用穿刺突起により剥離された保護テープ１４を挟持する挟持部４０とを備える。可動台１８に対して上下方向に位置調整可能に固定され昇降部材２２の下降位置を制限するストッパ軸４２と、昇降部材２２及び可動台１８の各移動動作を制御する移動制御装置を備える。ストッパ軸４２は、保護テープ１４の端面に剥離用穿刺突起３６が差し込まれる前に、前記剥離用穿刺突起３６が半導体ウエハ１２に当接しない相対位置が固定される。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な方法で、棒状回転工具の逃げ面の特徴及び逃げ面内の欠陥の特徴を抽出することが出来る画像を撮像する棒状回転工具の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】検査対象である角度が相互に相違する複数の逃げ面を有する棒状回転工具の刃先に照明装置により照射しつつ撮像し、得られた画像を基に検査対象の棒状回転工具の良否を判定する棒状回転工具の検査方法であって、棒状回転工具の先端部から外周までを同心円状に撮像すると共に、棒状回転工具の刃先と該棒状回転工具の刃先の一部または全部をその周囲から照射する照明装置との距離を変えて、棒状回転工具の特定の角度をなす逃げ面が他の角度をなす逃げ面に対して明暗が相互に逆転する画像が得られる複数の位置で撮像する棒状回転工具の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】光学式撮像装置によって被写界深度を越える長さを持つ撮像対象物を、ピント位置を変えて順に複数回撮像し、各画素を単位として、得られた複数の画像の中から最もピントが合った画像を抽出する際に、コントラストがある境界部を適切に処理し、真にピントが合った画像を見出すこととなる技術を提供する。
【解決手段】棒状回転工具の刃先を順に撮像して得られた画像を基に、各画素位置の画素あるいは当該画素に加えて当該画素に隣接する画素の濃度を順に記録し、記録した画素の濃度の変化について、ラプラシアンフィルタにかけること、記録した画素の濃度の変化について平均化フィルタにかけること、さらに順に比較を行なうことを含む所定の処理を行って定まる画像が当該画素位置においてピントが合っていると判断する棒状回転工具の深度形状合成方法。 （もっと読む）

【課題】ロータリーエアシリンダおよびそれを用いたロータリーエアチャックに対して、反転する際に捩れたり、過度に屈曲したりする不都合が生じことがなく、また他の機器類、設備と干渉したりする恐れが無い様に圧縮空気用のパイプを配管する。
【解決手段】筒状のハウジングに内接する回転軸に取付けられたロータリーエアシリンダであって、ハウジングには、外周部に形成された圧縮空気系との取り合い部と、取り合い部と前記回転軸の外周面とを連通する貫通孔とが設けられており、回転軸には、外周面に周方向に形成されていると共に前記貫通孔と連通する溝と、溝と前記エアシリンダとを連通する内部貫通孔とが設けられているロータリーエアシリンダおよびそれを用いたロータリーエアチャック。 （もっと読む）

【課題】リニアモーターを緊急に停止させるに際して、リニアモーターに加わる衝撃を軽減しつつ短時間に確実にリニアモーターを停止させることができるリニアモーター用電磁ブレーキを提供する。
【解決手段】リニアモーターの可動部に設けられ、固定バーに押圧されて前記固定バーとの間に摩擦を生じさせるブレーキパッドと、ブレーキパッドを固定バーに押圧する押圧手段と、押圧手段の押圧力に抗してブレーキパッドを固定バーから離間させて保持する保持手段とが設けられ、ブレーキパッドは、互いに独立して作動することができるｎ個（但しｎは２以上の整数）のブレーキパッドから構成され、押圧手段は、保持手段によるブレーキパッドの保持が解除された後に、ｎ個のブレーキパッドを第１ブレーキパッドから第ｎブレーキパッドまで順に、所定の時間間隔をおいて前記固定バーに押圧する多段動作式押圧手段であるリニアモーター用電磁ブレーキ。 （もっと読む）

【課題】小型の装置で、振動のある環境下においても高精度に形状測定が可能な位相シフト法による形状測定方法及び形状測定装置を提供する。
【解決手段】２つのＬＥＤ１２，２２と、光路上に設けられた半透明鏡１８，２８，３２，４６，６６及び参照鏡３８と、測定対象物３６を垂直移動可能に載置した移動ステージ３４を有する。ＬＥＤ１２，２２の光とは波長の異なるレーザ光を照射するレーザ干渉式測定装置６０を備える。ＬＥＤ１２，２２からの光を測定対象物３６の平面に照射するとともに、レーザ光を測定対象物３６の平面に照射し、且つＬＥＤ１２，２２からの光及びレーザ光を参照鏡３８に導いて、測定対象物３６からの反射光と参照鏡３８からの反射光との干渉像を各々形成する干渉光学系５０を備える。レーザ光の干渉像から測定対象物３６表面の高さ位置情報を演算する距離演算処理部７６と、ＬＥＤ１２，２２を発光させる発光制御部７８とを備える。 （もっと読む）