【課題】工具の刃先に使用するチップなどのワークを、形状により種別毎に各々高い精度で区分けし、区分けされたワークの不良品検査等も可能な工具検査装置と工具検査方法を提供する。
【解決手段】工具の刃先に用いるチップであるワーク１２を支持する支持部１８と、ワーク１２を照らすリング照明２０と、リング照明２０の照明光をワーク１２へ乱反射して照明可能に形成された反射面１６を備える。リング照明２０及び反射面１６により照明されたワーク１２を撮像可能に形成されたカメラ２４と、カメラ２４により撮像された画像を表示する表示装置３２と、カメラ２４により撮像されたワーク１２のシルエット像を画像処理する画像処理装置２８とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板を、コストを掛けずに容易に所望の方向に分割することができるガラス基板分割方法を提供する。
【解決手段】大型のガラス基板１０を湾曲させ、湾曲した部分の一端縁分部に分割ヘッド１４で衝撃を加えて分割する。衝撃を加える端縁部は、湾曲による曲率の最大値の位置であり、ガラス基板１０の面に沿った方向に衝撃を加える。ガラス基板１０は、両側縁部近傍と中央部近傍をローラ１６，１８の列により支持して搬送し、分割に際して中央部の支持を解除してガラス基板１０を撓ませ、衝撃を加える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な装置で、処理対象物に対する熱負荷が小さく、プラズマによる処理効率がよい多相交流プラズマ発生方法と装置を提供する。
【解決手段】内部でプラズマを発生させる真空チャンバ１２と、真空チャンバ１２内に収納されプラズマ発生空間１８に対面して互いに平行に配置され固定された複数対の電極１７を有する。電極１７間に位置するとともに電極１７を挟んで異なる極性に配置された複数の磁石２０，２１と、磁石２０，２１に対して互いに同じ磁極でプラズマ発生空間１８を介して対向した他方の磁石２１,２０を備える。複数対の電極１７間で位相をずらして放電しプラズマを発生させる電源装置を有する。 （もっと読む）

【課題】コストがかからず、低いガス圧下でもムラ無く安定して、効率よくプラズマを発生し、メンテナンスも容易なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生空間３４に対面した電極４０と、電極４０を複数枚平行に保持した電極支持部材４２と、電極支持部材４２に保持され互いに隣接する電極４０間に対応して電極４０の背面側に各々固定された複数の磁石４８を有する。電極支持部材４２により、電極４０と磁石４８を一体的に保持して成る電極ユニット３２を備える。電極ユニット３２を複数収容したチャンバ１６と、チャンバ１６内で電極支持部材４２を着脱自在にガイドするガイドローラ３８を備える。チャンバ１６内の電極４０が対面したプラズマ発生空間３４内に位置しプラズマ処理が施されるワーク１２を保持するチャック機構部６４を備える。電極４０は、冷却流体が通過可能に中空に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を保護する間紙を容易に剥離することが出来、簡単な構造で効率良く間紙を剥離可能な間紙剥離装置を提供する。
【解決手段】回動可能に設けられた一対の保持片３４ａ，３４ｂと、保持片３４ａ，３４ｂを進退自在に支持した支持ロッド３８と、支持ロッド３８を進退させる駆動装置とを備える。保持片３４ａ，３４ｂの先端部が回動する円弧上に、基板１２表面の間紙１４が位置する状態で、支持ロッド３８の移動を停止させる。保持片３４ａ，３４ｂを回動させて、間紙１４を一対の保持片３４ａ，３４ｂで挟持し、支持部材３８を退避させ、間紙１４をガラス基板１２から剥離する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、エンボスキャリアテープに被検査物を収納してカバーテープ貼付後でも、鮮明な検査画像を撮像可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明なエンボスキャリアテープ１２に収納され透明なカバーテープ１６が貼付された電子部品である被検査物１４を有し、被検査物１４の外観や輪郭を検査するカメラ２４を設ける。カメラ２４側から被検査物１４を照らすリング照明器２０と、エンボスキャリアテープ１２の底面下方から照射可能に形成された透過照明器１８を備える。カメラ２４が撮像した画像から外観形状の良否を判定処理する判定装置２６を備える。 （もっと読む）

【課題】純度良好な高融点重元素の蒸気を供給し、消費電力が少なく、小型で簡単な構造の蒸発源を提供する。
【解決手段】外部に供給する蒸気を発生させるために加熱の対象とされるイオンの原料物質を周囲と非接触となる状態で配置するイオンの原料物質配置部と、イオンの原料物質から発生した蒸気を外部に送出するための蒸気送出通路と、イオンの原料物質配置部および蒸気送出通路を真空に保持する真空保持部と、イオンの原料物質の外周に配置される高周波コイルと、高周波コイルに、イオンの原料物質を直接加熱して蒸気を発生させるために高周波を流す高周波供給部とを有していることを特徴とする蒸発源。蒸発源は、内部にイオンの原料物質が配置されることにより、イオンの原料物質配置部と蒸気送出通路を兼ねる円筒状の熱シールド部を有し、高周波コイルは、熱シールド部の外周に、円筒の長さ方向に沿って螺旋状に巻付けられていることを特徴とする蒸発源。 （もっと読む）

【課題】 ＰＭＭＡやＰＣなどポリマー材料に、底面が平滑である溝や孔、もしくは底面に極微細な柱状構造を形成可能とするプラズマエッチング方法を提供する。
【解決手段】 真空容器内で所定間隔開けて互いに対向して設けられた一対の電極２２，２４を備え、真空容器１２にマイクロ波を放射し、真空容器１２を共振器としてその内で電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを発生させるプラズマ処理装置１０を設ける。真空容器１２内の一方の電極２４側に設けられた被エッチング材料３０をプラズマによりドライエッチングする。被エッチング材料３０はポリマー材料とし、酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスのプロセス圧力を、０．０１Ｐａ以上０．２Ｐａ以下の条件で、プラズマ処理装置１０の電極間に高周波の電力を印加してエッチングを行い、ポリマー材料に平滑加工面を形成する。 （もっと読む）

【課題】交流インピーダンスを測定するＤＮＡの一塩基多型を検出する方法を提供する。
【解決手段】(1)プローブＤＮＡ(ＳプローブＤＮＡ)を固定した電極表面において、非固定プローブＤＮＡ（ＢプローブＤＮＡ）およびターゲットＤＮＡを、ハイブリダイゼーションおよびライゲーションし得る条件下におき、次いで(2)電極表面の交流インピーダンスを測定するＤＮＡの検出方法。ＳプローブＤＮＡとターゲットＤＮＡとは、少なくともＳプローブＤＮＡの非固定末端の一塩基を除き相補的であり、ＢプローブＤＮＡとターゲットＤＮＡとは相補的であり、かつＳプローブＤＮＡ、ＢプローブＤＮＡおよびターゲットＤＮＡは、ターゲットＤＮＡとハイブリダイズしたＳプローブＤＮＡの非固定末端とＢプローブＤＮＡのＳプローブＤＮＡ側末端とが連続するような塩基配列をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置によりプラズマを利用して、エッチングやスパッタリング等の異なる処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 金属円筒状の真空容器１２と、真空容器１２の側方に配置され真空容器１２内に磁場を形成する磁石１４とを有する。真空容器１２の側壁に固定され真空容器１２内に突出してマイクロ波を放射し、真空容器１２を共振器として、その内で磁石１４とともに電子ＥＣＲによるプラズマを発生させるアンテナ２６を備える。真空容器１２内の一方の電極側に接続され所定の直流電圧または高周波電圧が印加されるターゲット２２と、真空容器１２内の他方の電極２４を高周波電源３２側と接地電位側とで切り換える第１のスイッチ３４と、ターゲット２２に接続され直流高電圧源３６等のターゲット用電圧源側と接地電位側とを切り換える第２のスイッチ３８とを備える。 （もっと読む）