【課題】チップ部品や内部に素子を内包したパッケージなどの割れ、欠けなどの外観不良部を高精度にかつ短時間で検査が可能な電子部品の外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検査対象物１に照射する複数の照明手段３および４と、この照明手段３，４により照明された前記検査対象物１を撮像するための撮像素子と光学系からなる撮像部５と、撮像した前記検査対象物１の画像から外観形状の不良の有無を判断する画像処理装置５ａとを備えた外観検査装置であって、前記複数の照明手段３，４が、検査対象物１の側面全周方向から照射する第一の照明手段３と、上面方向から照射する第二の照明手段４からなり、前記第一および第二の照明手段３，４が互いに異なる色相の照明とした。 （もっと読む）

本出願は画像を記録するための新しい方法を開示する。本出願は、多くの科学分野及び技術分野における顕微鏡検査及び表面分析に関する。特に、本出願は、マイクロエレクトロニクス、すなわち、パターン化されていないウェハ、パターン化されたウェハ、及びフォトマスクで使用される表面の画像化及び検査に関する。本出願は、電気振幅を記録するという意味で、ホログラフィに関する。用途には、顕微鏡検査、欠陥検査、光波散乱計測、及び光学計測が含まれる。
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ハニカム体における欠陥を検出するための装置および方法。動作時には、微粒子が、ハニカムの壁および／または栓に存在する欠陥を通ってハニカム体の出口端面に現れ、かつスクリーンのような透過性部材を通過し、そこで照明される。上記透過性部材は、上記出口端面に近接して、好ましくは接して配置される。この透過性部材の使用により、上記欠陥がより容易に検出されるように、信号対雑音比が改善される。透過性部材は反射防止表面を備えていることが好ましい。
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【課題】画像によりリブ又は異物の検査を行う場合において、アドレス電極等の不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、リブ等の検査の正確を期することができると共に、簡易且つ低コストの構成で正確にリブを検査することが可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】正反射光学系を用いてＰＤＰ背面板１００のリブ１０４の状態を外観検査する場合に、撮像素子の受光方向Ｃとガラス基板１０１との為す当該ガラス基板１０１から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つのリブ１０４において対向する壁面間の距離をＷ_ｉ、各リブ１０４の高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ_ｉを満たす角度θとされている。 （もっと読む）

【課題】 処理部において処理が施される前の基板につき、容易に良否判定を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 光源１７１および受光部１７２のそれぞれは、加熱処理部１６０付近に設けられるとともに、基板Ｗの搬送方向ＡＲ１から見て加熱処理部１６０の上流側に設けられている。光源１７１は、その光軸が基板Ｗの搬送方向ＡＲ１と略垂直となるように、支持部材１７３により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。受光部１７２は、光源１７１の光軸の延長上となるように、支持部材１７４により、基板Ｗの斜め上方にて支持されている。これにより、搬送中の基板Ｗにつき、加熱処理部１６０に搬入されるまでの期間に、該基板Ｗの表面状況を判定し、良否判定を実行できる。 （もっと読む）

【課題】輝度勾配を精度良く検出できる輝度勾配検出方法を提供すること。
【解決手段】対象画素における８つの検出方向の輝度勾配成分を各検出方向に対応する強調フィルタを用いて取得し、取得された各輝度勾配成分のうち絶対値が最大となる輝度勾配成分を対象画素の輝度勾配とし、強調フィルタは、対象画素に対応する１つの領域を座標中心とする縦３×横３の９つの領域を有し、座標中心の領域には重み係数２、座標中心の領域に対し検出方向側に隣接した１つの領域には重み係数−２、座標中心の領域に対し検出方向と直交する方向の両側に隣接した２つの領域には重み係数１、座標中心の領域に対し検出方向側に位置する３つの領域のうち、重み係数−１が設定されていない２つの領域には重み係数−Ｎ、９つの領域のうち重み係数２，−２，１，−１が設定されていない３つの領域には重み係数０がそれぞれ設定されている。 （もっと読む）

【課題】シミなどの表示欠陥を精度良く検出できる欠陥検出方法を提供すること。
【課題手段】欠陥検出方法は、撮像画像に対して２次差分フィルタを適用して欠陥部分を強調処理する欠陥強調処理工程Ｓ４と、撮像画像に対して輝度勾配を検出する輝度勾配検出処理工程Ｓ５と、誤検出判断処理工程Ｓ６とを備える。誤検出判断処理工程Ｓ６は、欠陥強調処理工程Ｓ４で得られた欠陥強調画像を所定の閾値と比較して欠陥領域候補を抽出する欠陥領域候補抽出工程と、抽出された欠陥領域候補内における最大輝度を取得する最大輝度取得工程と、輝度勾配検出処理工程Ｓ５で得られた輝度勾配画像において、欠陥領域候補と同じ領域内における最大輝度勾配を取得する最大輝度勾配取得工程と、最大輝度および最大輝度勾配に基づいて欠陥領域候補が欠陥領域であるか否かを判断する欠陥領域判断工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源から紫外線を照射し、接着剤又は撥油剤の可視発光をＣＣＤカメラで検出して、接着剤又は撥油剤の被検査対象物への塗布状態を検査する場合に、母材が光沢のある金属や樹脂からなる被検査対象物のときでも、その表面に塗布された接着剤や撥油剤の状態を精度よく検査できるようにする。
【解決手段】紫外線を透過し可視光を遮断する第１フィルタ７を光源２に取り付け、且つ紫外線を遮断し可視光を透過する第２フィルタ８をカメラ４に取り付ける。ここで検査精度を一層向上させる観点から、被検査対象物１の被検査面に対して略垂直方向に離隔した位置にカメラ４を配置し、被検査対象物１とカメラ４との間に、可視光を透過し紫外線を反射するダイクロイックミラー３ａを配置して、被検査対象物１への紫外線照射方向とカメラ４の光軸が同軸となるようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】画像表示デバイスに電圧を印加した際に画像内に生成し得る電圧要因欠陥等の表示欠陥を精度よく検出できる欠陥検出方法、および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置の制御装置６は、電圧要因欠陥の検出を可能とする状態で駆動するための検査用電圧値で画像表示デバイスを駆動して検査画像を表示させる検査画像表示制御部６１１と、電圧要因欠陥の検出を不可能とする状態で駆動するための背景用電圧値で画像表示デバイスを駆動して背景画像を表示させる背景画像表示制御部６１２と、検査画像を撮像させて検査画像データを取得する検査画像データ取得部６１３と、背景画像を撮像させて背景画像データを取得する背景画像データ取得部６１４と、検査画像データおよび背景画像データの差分画像データを生成するシェーディング補正部６１５と、差分画像データに基づいて表示欠陥を検出する欠陥検出部６１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の微小な吸引孔を備えた部品吸着面に吸着したチップ部品の撮像画像から、煩雑な画像処理を必要とすることなくチップ部品の輪郭を検出して、簡易に、しかも短時間にその良否を判定することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】負圧吸引される複数の吸引孔が設けられた部品吸着面にチップ部品を吸着して搬送する部品搬送機構を、前記部品吸着面とその裏面側との間を貫通する複数の吸引孔を設けた吸着体と、この吸着体の裏面側に前記複数の吸引孔の開口端を覆って設けられると共に、前記吸着体の裏面側から前記吸引孔内に光を導入する透明板とにより構成する。 （もっと読む）