【課題】被検査部品の表面状態を表面処理の結果生じた「色むら」なのか、「キズ等の凹凸を伴う不良箇所」であるのか、あるいは、「その両方である」のか、「何れでもない良品」であるのかを高速で識別することが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査部品４０の正反射画像及び乱反射画像を一つの撮像手段２０で順次撮像し、それぞれの画像中の不良箇所の有無を判定することによって、前記被検査部品が、「良品」なのか、「色むら品」なのか、「キズ等の凹凸を伴う不良箇所あり」なのか、「色むら品であって、且つ、キズ等の不良箇所あり」なのかを、判定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】基板表面についたキズとピットとを判別ができ、基板の良否判定をより正確に行
えるようにして基板製造の歩留まりを向上させることができる基板の外観検査法及びその
外観検査装置を提供すること。
【解決手段】以下の（１）〜（３）の工程を含む基板の外観検査法。
（１）光源Ｌからの光を一方向の光吸収軸を有する第１偏光板３Ａを通過させることで直
線偏光を得る工程、
（２）前記直線偏光を被検査基板１の一面に照射する工程、
（３）前記被検査基板１を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板３Ｂ
を前記被検査基板１の他面に配設して、前記第２偏光板３Ｂに表示される明暗により基板
表面のキズとピットとを判別する工程。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物の表面または内部を効率的かつ画一的に検査することのできるコンクリート構造物の検査装置を提供する。
【解決手段】移動台車１と、台車の進行方向および該進行方向に直交する方向に回動自在に移動台車に取り付けられた第１の伸縮部材３と、該移動台車からコンクリート構造物側に突出し、移動台車の進行方向に回転する第１のローラ２と、第１の伸縮部材３の先端からコンクリート構造物側に突出し、鉛直方向に回転する第２のローラ７と、２以上の撮影装置を備えた撮影ユニット８とから検査装置１０が構成される。第１の伸縮部材３を伸縮することにより、第１のローラ２および第２のローラ７をコンクリート構造物に当接させた姿勢で、上下方向に撮影ユニット８を昇降調整し、かつ、移動台車１の走行基盤に傾斜がある場合に、該傾斜に応じて第１の伸縮部材３の姿勢を回動調整するための調整手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 大サイズのカラーフィルターを作るにあたり、スロットノズルに傷の付く問題を解決し、正確で低コストのフィルター作成方法を提供する。
【解決手段】 基板面に沿って水平移動される治具本体２と、この治具本体２の端部に装着される透明部材３と、この透明部材３の両側に取り付けられる発光部４と受光部５とを具備したことにより、治具本体２及び透明部材３をスロットノズル１と同様に基板面上で平行移動することにより、基板面上に異物があれば、この異物にあたって透明部材３の一部が変形（破損）し、発光部４から受光部５に送られる検出光の状態が変化し、この変化を検出回路によって読み取ることにより、基板面上の異物を検査することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パターンの影響を受けずに精度の高い欠陥検出が可能な欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出処理プログラムを提供する。
【課題手段】本発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】工具の刃先に使用するチップの表面に施されたコーティングの製膜ムラを、高い精度で抽出して、不良品の検査を容易且つ正確に可能なコーティング検査装置を提供する。
【解決手段】工具の刃先に用いるチップであるワーク１２の表面に照明光を照射する照明装置２４と、照明装置２４の照明光を透過させる一対のプリズム１８，１９から成るプリズム体２２と、プリズム体２２内に位置したハーフミラー２０を有する。照明装置２４からの照明光がハーフミラー２０を介して照射される位置で、ワーク１２を支持した支持部１６と、ワーク１２の背面側に位置し照明光を乱反射する反射面１４ａを有した反射板１４を備える。照明装置２４により照明されたワーク１２を、プリズム体２２を介して撮像するカメラ２６と、カメラ２６により撮像されたワーク１２の撮像画像３８を抽出し基準像３６と比較して画像処理する画像処理装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗工直後に塗工装置の状態を検査することで不具合を迅速に発見し、不良基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】基板に設けられた溝内に液状材料が塗工された塗工基板１０に、照明手段６３から光を照射し、前記該塗工基板からの反射光を撮像手段６２により撮像して、該反射光の光量を輝度情報として１次元または２次元状に取得し、該取得した輝度情報を信号処理して、前記液状材料の塗工不良箇所を検出する検査方法であって、前記溝の長手方向６８と垂直に交わる平面と、前記照明手段と撮像手段間の入射光軸と正反射光軸を含み、かつ前記溝の底面に垂直な平面とがなす小さい方の角度を４０°から８０°の間で保持して、前記輝度情報を取得する。 （もっと読む）

特に干渉測定法を用いてタイヤ（10）を調べる装置は走査ヘッド（20）を備え、測定結果（70、71、72）を得る目的でタイヤ（10）の走査に用いる。その装置はまた、位置決め手段（30）を備え、走査ヘッド（20）を観察場所に配置できる。その他に、その装置は制御／表示手段（40）を備え、位置決め手段を制御させ、測定結果（70、71、72）を表示させることができる。走査ヘッド（20）の制御を簡単にし、測定結果（70、71、72）の解析を信頼できるものにするために、制御／表示手段（40）は、タイヤ（10）に対する走査ヘッド（20）の観察場所又は観察方向を表示する表示領域（44、45、62）を少なくとも１つ含む。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等のパターン形状を有する基板を解像度の高い光学系と撮像系を用いて撮像した画像データより、カラーフィルタ等のパターン欠陥（微細欠陥）を検出する機能とムラ欠陥を検出する機能とを兼ね備えた外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カラーフィルタ等の周期パターンを有する被検査体の原画像を読み取る撮像手段１０と、前記被検査体に均一光を投光する投光手段２０と、パターン異常を判定するための微細欠陥検査部３０と、被検査体に対し水平または垂直のスジムラを検出するためのムラ検査部４０とを有する外観検査装置である。 （もっと読む）

【課題】装置に組み込んだ状態での検査が可能なウェハチャックの検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査方法は、上面において半導体ウェハを吸着保持するウェハチャック３１の検査方法であって、ウェハチャック３１の上面に所定のテストウェハＷ２を載置するとともに、テストウェハＷ２の上面にオプティカルフラット４０を重ねて載置し、テストウェハＷ２の上面に重ねて載置されたオプティカルフラット４０に現れる干渉縞の所定の状態からの変化よりウェハチャック３１の上面における欠陥を検出し、オプティカルフラット４０を用いてウェハチャック３１の上面における欠陥が検出された場合に、ウェハチャック３１の上面において干渉縞の変化が生じた箇所を顕微鏡で観察することを特徴とする。 （もっと読む）