【課題】２枚のガスバリア膜付フィルムを用い単純な構造で信頼性の高い評価サンプルを提供し合わせて評価サンプルの製造方法と評価サンプルを用いた評価方法を提供する。
【解決手段】ガスバリア膜付フィルムにおけるガスバリア膜のガスバリア性能について、ガスバリア膜表面に成膜したカルシウム膜の腐食状態から評価するカルシウム法を実施する際に使用される評価サンプルであって、ガスバリア膜9、13を内側にして対峙しかつ外周縁部が閉止された一対のガスバリア膜付フィルムにより構成され、ガスバリア膜付フィルムの内側中央部に隙間空間が形成されてこの空間内に不活性ガスが充填されていると共に、隙間空間内において対峙する上記ガスバリア膜の一方のガスバリア膜9表面に評価用のカルシウム膜10が成膜されていることを特徴とする。 （もっと読む）

特に干渉測定法を用いてタイヤ（10）を調べる装置は走査ヘッド（20）を備え、測定結果（70、71、72）を得る目的でタイヤ（10）の走査に用いる。その装置はまた、位置決め手段（30）を備え、走査ヘッド（20）を観察場所に配置できる。その他に、その装置は制御／表示手段（40）を備え、位置決め手段を制御させ、測定結果（70、71、72）を表示させることができる。走査ヘッド（20）の制御を簡単にし、測定結果（70、71、72）の解析を信頼できるものにするために、制御／表示手段（40）は、タイヤ（10）に対する走査ヘッド（20）の観察場所又は観察方向を表示する表示領域（44、45、62）を少なくとも１つ含む。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗工直後に塗工装置の状態を検査することで不具合を迅速に発見し、不良基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】基板に設けられた溝内に液状材料が塗工された塗工基板１０に、照明手段６３から光を照射し、前記該塗工基板からの反射光を撮像手段６２により撮像して、該反射光の光量を輝度情報として１次元または２次元状に取得し、該取得した輝度情報を信号処理して、前記液状材料の塗工不良箇所を検出する検査方法であって、前記溝の長手方向６８と垂直に交わる平面と、前記照明手段と撮像手段間の入射光軸と正反射光軸を含み、かつ前記溝の底面に垂直な平面とがなす小さい方の角度を４０°から８０°の間で保持して、前記輝度情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等のパターン形状を有する基板を解像度の高い光学系と撮像系を用いて撮像した画像データより、カラーフィルタ等のパターン欠陥（微細欠陥）を検出する機能とムラ欠陥を検出する機能とを兼ね備えた外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カラーフィルタ等の周期パターンを有する被検査体の原画像を読み取る撮像手段１０と、前記被検査体に均一光を投光する投光手段２０と、パターン異常を判定するための微細欠陥検査部３０と、被検査体に対し水平または垂直のスジムラを検出するためのムラ検査部４０とを有する外観検査装置である。 （もっと読む）

【課題】装置に組み込んだ状態での検査が可能なウェハチャックの検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査方法は、上面において半導体ウェハを吸着保持するウェハチャック３１の検査方法であって、ウェハチャック３１の上面に所定のテストウェハＷ２を載置するとともに、テストウェハＷ２の上面にオプティカルフラット４０を重ねて載置し、テストウェハＷ２の上面に重ねて載置されたオプティカルフラット４０に現れる干渉縞の所定の状態からの変化よりウェハチャック３１の上面における欠陥を検出し、オプティカルフラット４０を用いてウェハチャック３１の上面における欠陥が検出された場合に、ウェハチャック３１の上面において干渉縞の変化が生じた箇所を顕微鏡で観察することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異物が付着している製品の所要部分の幅を異物の影響を排除して、正確に測定することができる方法を提供する。
【解決手段】異物が付着した製品の測定対象部位の画像を撮影し、多数本（好ましくは７本以上）の平行な測定線上の明度差から各測定線上における測定対象部位の幅値を求め、これら多数の幅値のうち上位１／３以上の個数を除いて平均値を算出する。異物の付着部分の幅値は除外されるので、正確な測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＯＶＤ箔上の少なくとも一部の領域に印刷された印刷模様の検査方法及び検査装置に関するものである。
【解決手段】 第１の照明手段から少なくとも前記印刷模様を含む領域に対し、撮影手段の観測方向と同軸方向からの可視光源を照射し、前記撮影手段によって可視光領域の波長を対象に少なくとも前記印刷模様を含む領域の印刷模様画像データを取得し、記憶手段で基準となる印刷模様の基準印刷模様画像データ、又は前記基準印刷模様画像データ及び前記基準となる印刷模様の基準位置を示す基準位置データをあらかじめ記憶し、画像処理手段により、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データを比較し、あるいは、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データ及び前記基準位置データとを比較し、比較結果に基づいて前記印刷模様の形状、面積及び位置の少なくとも一つの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査面の全ての箇所について、検査に必要な画像を取得するための撮像を行えるような設定を、簡単かつ高い確度で実行する。
【解決手段】検査対象のワークＷをロボット３により位置および姿勢を変更可能に支持しながら、固定されたカメラ１および照明装置２を用いて撮像する。検査に先立ち、ワークＷの表面形状を三角平面の集合体として表したＣＡＤデータを用いて、被検査面全体の法線方向ヒストグラムを作成し、そのヒストグラムの分布状態に基づき複数の撮像方向を定める。さらに撮像方向毎に１または複数の代表点を定め、代表点毎に視野対応領域を設定し、各視野対応領域において、その領域を定められた方向から撮像したときに検査に適した画像を取得可能な三角平面を抽出する。撮像方向の決定から三角平面の抽出までの処理は、被検査面に対応する全ての三角平面が抽出されるまで繰り返し実行される。 （もっと読む）

【課題】簡易に精度良く安定して適確に検査対象物の導体部に生じるマイクロクラックを検査し得るマイクロクラック検査装置を提供すること。
【解決手段】このマイクロクラック検査装置の場合、コネクタ１の導体部１ａに生じたマイクロクラック４の形状が所定の方向の押圧により繋がり易いものであっても、押込みツール５（鉛直方向でコネクタ１を押圧する）及びプローブ板２，３（水平方向でコネクタ１を挟むように押圧する）による多方向押圧機能と、プローブ板２，３における端子２ａ，３ａを導体部１ａへ通電させての電気検査機能（導通不良の有無確認）とが協働することにより、マイクロクラック４の繋がり発生が防止された上、簡易に精度良く安定して適確にコネクタ１の導体部１ａに生じるマイクロクラック４を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像された複数の画像に基づいて各画素の輝度を相対的な変化として捉え、環境変化に強く、的確に検査対象の良否を判定可能な外観検査システムなどを提供すること。
【解決手段】外観検査システムＳは、被検査物を所定の軸を基準に間欠回転させる回転装置１００と、被検査物の外観を所定の軸方向から所定の回転角度毎に撮像する撮像カメラ装置２００と、撮像カメラ装置２００によって撮像された画像データに基づいて被検査物の外観を検査し、外観上における欠陥の有無を判定する検査装置３００と、から構成され、検査装置３００は、撮像カメラ装置２００から出力された各画像データ毎に、所与の画像データと当該所与の画像データの一つ前の回転角度にて撮像された画像データとに基づいて、被検査物の検査対象となる対象領域における画像間の差分の画像を示す差分画像を生成し、当該差分画像に基づいて外観上における欠陥の有無を判定するようになっている。 （もっと読む）