【課題】 不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、基板試料を斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を受光器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記基板試料上に発生する反射散乱光を集光する。更に、互いに異なる複数の偏光成分を同時に検出する偏光検出部を有する。更に、上記偏光検出部で検出される互いに異なる複数の偏光成分信号を複数チップ間あるいは所定領域の画像内で比較して、統計的な外れ値を試料上の欠陥として検査する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】光源にパルスレーザを用いて被検査物体の散乱光を検出するときに、Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を光源のパルス発振周期に関係付けて決定しないと、ノイズが増大する。
【解決手段】Ａ／Ｄ変換器のサンプリング周期を、（１）光源のパルス発振周期と等しいか整数倍とし光源の発振と同期させる、かまたは、（２）光源のパルス発振周期の半整数倍とする。これにより、Ａ／Ｄ変換器に与えられる散乱光信号中に光源の発光パルスに由来するリップル成分が残留していても、その影響を解消もしくは軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体の両端基体面と、帯電ロール両端の間隔をスペーサーで規制することにより電子写真感光体と帯電ロールのギャプを保つ帯電方式に供する浸漬塗工で製造した電子写真感光体の基体面の検査を行い、帯電ギャップが正確に保てる電子写真感光体を提供する。
【解決手段】電子写真感光体の端部外面に波長２５０ｎｍ〜４２０ｎｍの紫外光を照射し、該電子写真感光体端部外面に残存する電荷輸送層塗工液の固化物が、該紫外光あるいは近紫外光を受けて出す蛍光を測光することにより、電子写真感光体の端部外面に存在する電荷輸送層塗工液の固化物の付着状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】点検診断の効率化が図られ、現地調査から診断カルテ作成までの時間短縮が可能で、点検車両の小型化により都市部での駐車が容易となり、車両の維持費も大幅に改善される。
【解決手段】車両本体、電子制御により先端側をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向に変更可能に構成した多関節の可動ア−ム、電子制御用パソコンを備えた操作室、上下・左右に伸縮可能な側方監視用補助ア−ム、操作室内に設置された電子制御機器と、可動ア−ムの先端に搭載された構造物の検査画像を操作室内の点検・診断用モニタ−に送る構造物の撮影用機器、可動ア−ム及び補助ア−ムに搭載された監視カメラ、可動ア−ム及び構造物撮影用機器の動作を操作室内から確認可能な三面図または３次元ＣＧソフトを搭載した。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの欠陥を高い検出感度で検出することができる画像解析方法および画像解析装置、検査装置を提供する。
【解決手段】液晶表示パネル検査装置１は、撮像画像に含まれる注目絵素の輝度値と、当該注目絵素に隣接する同色絵素の輝度値との差分値の絶対値を算出する差分絶対値演算部４１と、差分絶対値演算部４１によって算出された差分値の絶対値の平均値を、複数の同色絵素の配列方向に沿って算出する平均値演算部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】レンズ像の画像解析を使用することなしに比較的簡単な構成で、傷，ごみ，異物，気泡，応力歪等の検査を精密に行うことができる。
【解決手段】偏光板１３ａ，１３ｂは、一対の半導体レーザ１０ａ，１０ｂから発振された光ビームを互いに直交する方向に偏光させ、１／２波長板１２は、一方の光ビームの偏光面を１８０度回転させ、ビームスプリッタ１４は、２つの光ビームを重畳させる。重畳された光ビームは、全反射ミラー１５，１６で反射され被検査レンズ１９に入射される。被検査レンズ１９を通過した光ビームは、ハーフミラー２０で分離され、集光レンズ２１ａ，２１ｂで集光され、偏光板２１ａ，２１ｂで互いに直交する方向に偏光されてフォトダイオード２３ａ，２３ｂに入射される。 （もっと読む）

【課題】コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】画像取込部21は２次元の画像情報を生成する。DWT処理部22は、離散ウェーブレット変換により、画像サイズが縮小された縮小画像情報を生成する。欠陥検出部25は、縮小画像情報を用いて検査対象物上の欠陥を抽出する。元の画像情報に対応した画像よりも画像サイズを縮小する一方で、周波数成分を維持した縮小画像情報を用いて欠陥を抽出するので、コストの増大を抑えて高速に欠陥検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】偏光板の無い液晶パネルを検査する方法において、検査装置の偏光板や拡散板に付着した異物と液晶パネルの欠陥とを識別し得る検査方法を提供する。
【解決手段】光源からの光が一対の偏光板を透過するように、液晶パネルの液晶の配向を保持した状態で、撮影手段により、これに向き合う偏光板の出射面を撮影する第１の撮影ステップと、検査装置から液晶パネルを除去し、両偏光板の偏光方向を互いに直角に保持し光源を点灯した状態で、撮影手段に向き合う偏光板の出射面を撮影する第２の撮影ステップと、検査装置から液晶パネルおよび他方の偏光板を除去し、光源を点灯した状態で、撮影手段により該撮影手段に向き合う拡散板の出射面を撮影する第３の撮影ステップと、各撮影により得られた画像に基づいて、液晶パネルの欠陥部位を抽出する抽出ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】欠陥絵素の輝度値を算出することにより、目視感度と相関のとれた高い精度の欠陥検出を行う検査装置、輝度算出装置及び輝度算出方法を提供する。
【解決手段】異常輝度値を示す撮像素子が正常な絵素を撮像していた場合の輝度値である正常輝度値を算出する正常輝度推定部１８と、異常輝度値の原因である欠陥絵素開口部の、或る撮像素子の撮像範囲内における面積とその撮像範囲の面積との比である欠陥絵素率を算出する欠陥絵素率算出部２０と、異常輝度値と正常輝度値との差に欠陥絵素率の逆数を乗じ、得られた値に、欠陥絵素と同色の正常な絵素の輝度値である標準輝度値を加算することにより欠陥絵素開口部の輝度値を算出する輝度補正部１９とを備えている。 （もっと読む）