本発明は、流れる流体の特性を検出するシステムおよび方法に関する。本システムおよび方法は、基板(12)の上方に支持された微小チューブ(14)、チューブ(14)の自立部(16)内にあるチューブ流路(20)、チューブ流路(20)および外部と流体連通するインレット(36a)およびアウトレット(36b)、チューブ(14)の自立部(16)を振動させる素子(22)、チューブ(14)の自立部(16)の動きを検出する素子(24)とを有し、自立部(16)の振動周波数および／または撓みを測定し、これにより、チューブ流路(20)を流れる流体の特性に対応する少なくとも１つの出力を生成する、マイクロ流体素子(10)を備える。さらに、本システムおよび方法は、マイクロ流体素子(10)を流体中に配置し、流体の一部を、チューブ流路(20)に流入させて、マイクロ流体素子(10)の出力を処理して、この流体の特性を求める。 （もっと読む）

流体の特性を評価するためのマイクロ流体デバイス。このデバイスは、デバイスのある性能および／または構造的特徴を強化するために異なる振動モードが可能なマイクロチューブ（10）を利用する。マイクロチューブ（10）は、基板表面（52）から間隔をあけるよう、底部（12）によって支持される。マイクロチューブ（10）は、底部（12）を囲む周辺部分（14）と、底部（12）から周辺部分（14）を支持するアーム（16）と、少なくとも第一および第二のマイクロチャネル部分（18）を含む連続内部マイクロチャネル（18）とを持つ。各マイクロチャネル部分（18）は別々の流路を画定し、各流路は底部（12）から出発して、周辺部分（14）の一部分を通って続き、底部（12）へ戻る。第一および第二のマイクロチャネル部分（18)は、それぞれ底部（12）内の入口ポートと出口ポート（26、32）に流体的に接続される。マイクロチューブ（10）の振動は、駆動素子と検出素子（60A-B、62A-B）によって誘導され、検出される。流体特性は検出素子（62A-B）の出力から計測される。
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ハウジング(22)と、ハウジング(22)内にあって、入力に応答するセンサ要素(56)と、ハウジング(22)内にあって、センサ要素(56)と通信して、センサ要素(56)により生成された出力信号に基づいて電気出力を生成する電子回路(24)を備え、非常にコンパクトな携帯型センサユニット(12)と；および、センサユニット(12)と物理的に分離し、センサユニット(12)に電源を供給し、かつ、これを制御し、センサユニット(12)からの出力を処理し、任意的に表示し、ネットワーク(18)上の他の場所に送信する電子ユニット(14)と；を有し、通信提供機器(20, 120, 220)により、電子ユニット(14)により生成された命令がセンサユニット(12)に、センサユニット(12)からの電気出力が電子ユニット(14)にそれぞれ送信されるようになっている、検知解析システム(10)、方法およびネットワーク(18)。
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マイクロマシン加工の流体センサ装置およびその製造方法に関する。流体センサ装置は、バイパス流路、好ましくは、流体センサ装置に一体化されたバイパス流路を備える。これにより、装置内に導入された大量の流体のうち、限られた一部が、装置内の流路を通って、１つ以上の流体特性（例えば、密度、比重、化学的濃度が挙げられるが、これらに限定されない）が測定される。当該装置は、燃料電池の燃料混合体における燃料濃度を監視するために好適である。
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