本明細書では、容量式圧力センサのための感知要素アセンブリと、付加的サイズを伴うことなく、感度を向上させたアセンブリを生成するための方法とについて説明される。感知要素アセンブリおよび方法は、偏心型の楕円形に成形された中心電極と、中心電極の周囲の少なくとも１つの楕円形環状電極と、接地電極とを製作するステップと、層をともに融合し、感度を最適化するための方法とを含む。方法は、基板上にＣＰおよびＣＲ電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、基板の上面にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、基板をアセンブルするステップと、共通／接地電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、ダイヤフラム上にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、ダイヤフラムをアセンブルするステップとを含む。
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一体型圧力センサアセンブリについて本明細書に説明する。一体型圧力センサアセンブリは、複数の板を備えるプリント回路基板アセンブリと、プリント回路基板アセンブリの少なくとも一部分上に装着される圧力ダイと、プリント回路基板アセンブリに係合される筺体とを含む。プリント回路基板アセンブリは、少なくとも１つの圧力伝達チャネルおよび少なくとも１つの電気伝達チャネルを含む。好ましくは、プリント回路基板アセンブリは、底部板と、上部板と、上部板と底部板との間に配置される少なくとも１つの中心板とを備える。
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測定センサと基準センサとを有するセンサにおいてセンサ信号を較正するための方法が、開示される。この方法は、測定センサおよび基準センサからそれぞれセンサ信号および基準信号を受け取ることを含む。この方法は、さらに、利得特性に基づいて、第１の補償信号をセンサ信号に提供することと、利得特性およびオフセット特性に基づいて、第２の補償信号を基準信号に提供することと、第１の補償信号とセンサ信号とを組み合わせ、かつ、第２の補償信号と基準信号とを組み合わせて、補償されたセンサ信号を生成することと、大きい熱係数を有する成分をセンサに結合することによって、補償された信号を温度影響に対して調節することとを含む。また、装置も、本明細書において説明される。
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【課題】固定のバイアスオフセットが打ち消される新規で且つ改良されたシステム及び方法を提供する。
【解決手段】ジャイロスコープがその入力軸に垂直な軸の周りで周期的にディザを受け、ジャイロスコープからの信号を遅延して、ディザ周期の半分だけジャイロスコープ信号より遅れる遅延信号を発生し、そしてその遅延信号と、ジャイロスコープからの信号とを合成して、バイアスが打ち消された出力信号を発生する慣性測定システム及び方法。 （もっと読む）

【課題】微細機械加工加速度計、特に、２つ又はそれよりも多くの軸線に沿った加速度をモニタするための加速度計を提供する。
【解決手段】一部の開示する実施形態では、第１及び第２の軸線に沿った加速度に応答する移動のために基板上方に吊り下げられた試験質量と、試験質量に接続されて第１の軸線に沿った移動だけに拘束された第１の検出電極と、試験質量に接続されて第２の軸線に沿った移動だけに拘束された第２の検出電極とを有する多軸微細機械加工加速度計。別の実施形態では、試験質量はまた、基板に垂直な第３の軸線に沿った加速度に応答して移動可能であり、第３の検出電極が、第３の軸線に沿った加速度に応答する試験質量の移動を検出するために試験質量のすぐ下で基板上に装着される。他の実施形態では、２つの試験質量が、第１の軸線に沿った加速度に応答する基板に垂直な軸線周りの捩り移動のために、かつ基板に垂直な第２の軸線に沿った加速度に応答する基板に平行な第２の軸線周りの回転移動のために基板の上方に装着され、第１の検出器が、第１の軸線に沿った加速度を検出するために試験質量に接続されて第１の軸線に沿った移動だけに拘束された入力電極を有し、検出電極が、試験質量の回転移動及び第２の軸線に沿った加速度を検出するために試験質量のすぐ下で基板上に装着される。 （もっと読む）

二重定数の力トランスデューサが開示される。ばねは、第１のばね定数を有する第１のばね部分と、第２のばね定数を有する第２の部分と、ばねの２つの部分の間のプラテンとを有するように機械加工されている。１対のフランジが、ばね部分の遠位端に取り付けられる。少なくとも１つのセンサがフランジの一方に取り付けられ、少なくとも１つの他のセンサがフランジの他の１つに取り付けられる。装着ハードウェアは、ばねと、フランジと、プラテンとを共に結合するために使用され、ばねの変位を制限するための少なくとも１つの機械的ストッパを有する。
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【課題】角速度センサ又はジャイロスコープ、特に、運動量が平衡化され、かつ駆動及び感知モードが分離された二重質量速度センサを提供する。
【解決手段】複数のほぼ平面の質量体と、質量体を質量体の平面内の駆動軸線の周りで振動するように駆動するための手段と、駆動軸線に垂直な入力軸線と、駆動軸線と入力軸線とに垂直な感知軸線と、入力軸線周りの質量体の回転によって生じたコリオリ力に応答して感知軸線周りにねじれ移動するように質量体を取り付ける手段と、感知軸線周りのねじれ移動に応答して入力軸線周りの回転の速度をモニタするための手段とを有する速度センサ。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ又はジャイロスコープ、特に、運動量が平衡化され、かつ駆動及び感知モードが分離された二重質量速度センサを提供する。
【解決手段】複数のほぼ平面の質量体と、質量体の各々の平面内の駆動軸線と、質量体を駆動軸線の周りで振動するように駆動するための手段と、駆動軸線に垂直な入力軸線と、駆動軸線と入力軸線とに垂直な感知軸線と、入力軸線周りの質量体の回転によって生じたコリオリ力に応答して感知軸線周りにねじれ移動するように質量体を取り付ける手段と、感知軸線周りのねじれ移動に応答して入力軸線周りの回転の速度をモニタするための手段とを含む速度センサ。 （もっと読む）

【課題】質量体が、駆動及び感知モードの両方で逆位相で振動するように構造的に拘束され、運動量が平衡化され、かつ駆動及び感知モードが分離された二重質量速度センサを提供する。
【解決手段】２つのほぼ平面の試験質量体と、質量体を質量体平面内の平行な駆動軸線の周りに反対位相で振動するように駆動するための手段と、駆動軸線に垂直な入力軸線と、駆動軸線及び入力軸線に垂直な感知軸線と、入力軸線周りの質量体の回転によって生じたコリオリ力に応答して感知軸線周りにねじれ移動するように質量体を取り付ける手段と、駆動軸線及び感知軸線の両方の周りに逆位相移動するように２つの質量体を高速する手段と、感知軸線周りの質量体のねじれ移動に応答して移動するように質量体に結合された感知フレームと、感知フレームの移動に応答して入力軸線周りの回転の速度をモニタするための手段とを含む速度センサ。 （もっと読む）

慣性計測システム及び方法では、基部が計測されることになる回転に従って入力軸について回転し、入力軸についての回転は、１又は複数の角速度センサを用いて感知され、固定されたバイアスオフセットは、振動する方法で基部に対して相対的な感知する軸の方位を変化させるためにそれらの感知する軸に垂直な軸についてセンサをディザリングすることによってキャンセルされ、センサからの信号は、ディザリング周波数で復調される。 （もっと読む）