【課題】所定のパターンを有する光源を用いて表面が鏡面反射の性質を有する被検査物について、微細な傷を測定することができる。
【解決手段】面光源３Ａ，３Ｂから周期式が既知の前記パターン光を所定の位相ずつずらしながら被検査物１００に投射可能した状態で、撮像装置５で被検査物を撮像し、撮像画像の画素ごとに、前記撮像装置５により撮像された前記パターン光の位相が異なる複数の撮像画像の輝度値を前記光源３Ａ，３Ｂが照射するパターン光の周期式にあてはめ、画素ごとのパターン光の周期変化及び振幅を演算し、撮像画像の周期式の振幅の値に基づいて、前記振幅値を明度とする振幅画像を作成し、前記振幅画像に基づいて前記被検査物の表面欠陥を検査する。 （もっと読む）