【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける１つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、１又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光Ｘ線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 （もっと読む）

２以上の高周波数マイクロホンを使用して、光発光分析（ＯＥＳ）機器において、個々のスパーク又はその他の励起ビームがサンプルに当たる位置を決定する。スパークの位置は、スパークによって蒸発した、サンプル中の材料の元素組成と相関される。マイクロホンは、概略、機器のスパーク発生器のまわりの空気中に配置され、または、概略、サンプルに配置され、または、サンプルと空気中との両方に配置される。スパークからマイクロホンへの音の到達時間、または、到達時間の違いから、情報をもたらし、情報から、マイクロホンに対するスパークの位置を、もって、スパークの絶対位置を、例えば三角測量によって導く。任意的に又は加えて、スパークが発生したとき、時間を指示する信号は、分光計によって検出された１又は複数のスペクトルと相関され、蒸発したサンプルから得られたスペクトルは、サンプルの上方で加熱されたガスから得られたスペクトルと区別される。 （もっと読む）