【課題】発光膜中のＯ含有量を十分に低減することができるＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】ＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットの製造方法が、少なくとも、２価金属の硫化物と、３価金属と、発光中心元素の硫化物とを混合して混合物を得る混合工程と、該混合物を成形して成形物を得る成形工程と、該成形物を焼結してＥＬ素子製造用スパッタリングターゲットを得る焼結工程とを含むと、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】特にスクリーン印刷法において問題となる機能性厚膜の欠陥発生を防ぎ、微視的にも均一な機能性厚膜の形成を可能とする。
【解決手段】基板２上に、少なくとも機能性微粒子と有機溶媒とを含有する厚膜ペーストの塗膜１００を形成し、この塗膜１００を昇温させることによりレベリングを行うに際し、塗膜１００を閉鎖空間４００内に配置し、閉鎖空間４００に露出している面のうち塗膜１００を除く部分の温度が、塗膜１００の温度を下回らないように、前記露出している面の温度制御を行う厚膜のレベリング方法。 （もっと読む）