【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を提供する。
【解決手段】気体と相互作用し、試料表面に10nm以下の寸法のスポットサイズ、1×109A/cm2sr以上の輝度、5×108A/cm2srV以上の還元輝度、5×10-21cm2sr以下のエタンデュ、1×10-16cm2srV以下の還元エタンデュ、を有するイオンビームを発生させることが可能な気体電界イオン源を含むシステムを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源（電界電離ガスイオン源）の導電性先端（針状電極先端）の品質を評価できるようにしたイオン顕微鏡を提供する。
【解決手段】顕微鏡システム２００は、Ｈｅイオン源、第一レンズ２１６、軸合せ偏向器２２０及び２２２、絞り２２４、走査偏向器２１９及び２２１、第二レンズ２２６を含むイオン光学機器１３０、並びに試料室を有する。イオン源の導電性先端１８６から放出されたＨｅイオンは、試料１８０に照射される。該試料から放出された粒子を検出器１５０，１６０で検出して該試料を観察する。また、顕微鏡システム２００は、電界イオン顕微鏡（ＦＩＭ）モードで作動させることができる。この場合には前記試料１８０の場所に検出器を配置し、該検出器により前記導電性先端１８６から放出されるＨｅイオンの電界放出パターンを観察する。該パターンから前記導電性先端の特性を評価し、イオン顕微鏡で用いるための適合性を判定する。 （もっと読む）

【課題】試料表面に１０ｎｍ以下の寸法のスポットサイズを有するイオンビームを発生することが可能な電界イオン源を有するシステムを提供する。
【解決手段】電子ビームを提供することが可能な走査電子顕微鏡と、気体と相互作用してイオンビームを発生させることが可能な気体電界イオン源と集束イオンビーム機器とを具えるシステムであって、走査電子顕微鏡と気体電界イオン源が、使用時に電子ビーム及びイオンビームを用いて試料を調査できるように位置していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオン源、システム及び方法を開示する。
【解決手段】気体を気体電界イオン源の導電性先端の末端棚の二つ以上の原子と相互作用させることによって、イオンビームを発生させることと、（ここで、前記末端棚は３〜２０個の原子を含み）、前記イオンビームを活性化ガスと相互作用させて、試料の表面にて化学反応を促進させることと、前記試料に達する前記イオンビーム中のイオンの７０％以上を前記期待と前記先端棚の一つの原子だけとの相互作用によって発生させるように、該イオンビーム中のイオンをブロックすることと、を含む方法。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いたイオン顕微鏡に於いて、試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。又、電極先端の移動機構２０８や絞り開口径２２４の選択によりビーム径と電流量を制御し、試料１８０上で１０ｎｍ以下のスポットを実現する。 （もっと読む）

イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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