【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】アナログ信号を出力する一般的なセンサーを用いて測定した解析信号の解析結果が所定の臨界値外となった場合に、それらをランダム信号として解釈してフィルタリングし、それによって、出来る限り正確な状態の監視及び解析を行う。
【解決手段】ランダムノイズ信号の検出及びフィルタリング方法において、或る時点にセンサーから入力したデータとレジスタに保存しておいたその時点以前のデータとを比較して、それらの差分値（速度）を計算する工程と、上記の計算結果を臨界値と比較する工程と、比較結果が最大臨界値よりも大きいか、或いは最小臨界値よりも小さいか否かに関する比較を行う工程と、比較結果が最大臨界値よりも大きいか、或いは最小臨界値よりも小さい場合には、比較結果をランダム信号に関する結果と見做して、その時点のデータをその時点以前のデータと置き換える工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、ガントリーステージ直交性誤差に関連する問題を解決することである。
【解決手段】本発明によるホーミング処理のためのガントリーステージ直交性誤差測定方法および誤差補正方法は、直交性に構造的に一致するガントリーステージの現在位置のエンコーダ値を解読して記憶する工程と、ガントリーステージを低速で駆動している状態で、ガントリーステージのマスター軸およびスレーブ軸上にそれぞれ設定されたホーミング処理用のセンサまたはエンコーダのインデックス信号をモニタする工程と、インデックス信号が検出された場合、認知された位置のマスター軸またはスレーブ軸のリニアエンコーダ値を解読する工程とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）