【課題】本発明は、ウェハキャリアに関する。
【解決手段】本発明の構成は、上端に掛け孔と挿入孔とが形成された一対の側面板と、前記側面板の両側面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、内側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された側面支持バーと、前記側面板の底面に固定されて側面板と側面板との間が一定間隔を有するようにし、上部の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された下面支持バーと、前記挿入孔に挿脱され、下側の長さ方向に沿って固定突起によりスロットが形成された遮蔽バーと、を含んでなり、前記スロットは、底面の幅方向の両端よりもその間の中心部分がさらに低く形成される。 （もっと読む）

【課題】炭素ナノチューブ製造用触媒試薬の定量供給及び連続工程が可能であり、乾燥炉では、液状の試薬をノズルを通して反応器に連続的に供給して乾燥する方式で触媒を製造するとき、高温のヒーター熱で瞬間的に乾燥することで、別途の焼成工程なしに高純度の触媒を連続的に合成できるようにする噴霧熱分解方法を用いた炭素ナノチューブ用触媒製造装置及び触媒製造方法を提供する。
【解決手段】多数個の原料タンクと、前記原料タンクからそれぞれ供給される原料を混合する攪拌部と、前記攪拌部から供給される混合物を噴射し、高温焼成を進行する乾燥部と、前記乾燥部から排出された乾燥物を貯蔵する貯蔵部とを含んで噴霧熱分解方式を用いた炭素ナノチューブ用触媒製造装置を構成する。 （もっと読む）

本発明は、イオン交換していない水ガラス溶液を前駆物質とし、アルカリ性ｐＨを有するオルガノシラン化合物と無機酸を添加して表面改質およびゲル化してヒドロゲルを生成する段階と、前記ヒドロゲルを非極性溶媒内に浸漬させて溶媒交換およびナトリウムイオン（Ｎａ^＋）の除去を行う段階と、前記溶媒交換されたヒドロゲルを常圧または減圧の下で流動層乾燥方式を用いて乾燥させることにより、エーロゲル粉末を製造する段階とを含んでなる、超疎水性シリカ系粉末の製造方法を提供する。本発明の超疎水性シリカ系粉末の製造方法によれば、その過程が非常に単純で経済的である。よって、本発明は産業的な観点から非常に重要な意味を持つ。
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イオン交換していない水ガラス溶液を前駆物質とし、アルカリ性ｐＨを有するオルガノシラン化合物と無機酸を添加して表面改質およびゲル化させることによりヒドロゲルを生成する段階と、ヒドロゲルを非極性溶媒内に浸漬させて溶媒交換およびＮａ^＋イオンの除去を行う段階と、溶媒交換の行われたヒドロゲルを常圧下で乾燥させてエーロゲル粉末を製造する段階とを含む、超疎水性シリカ系粉末の製造方法を提供する。本発明は、その工程が非常に単純であるうえ、経済性を有するので、産業的な観点から非常に重要である。
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