【課題】被研磨物にコーティングされたダイヤモンドを短時間で効率よく研磨すること。
【解決手段】ダイヤモンド研磨装置１は、被研磨物のダイヤモンドコーティングＤｂと線接触あるいは面接触して該ダイヤモンドコーティングＤｂを研磨する研磨工具２０と、研磨工具２０に超音波を印加する超音波振動系３０と、研磨工具２０を一定荷重でダイヤモンドコーティングＤｂに押し付けるように制御する荷重制御機構３５と、を備える。 （もっと読む）