説明

地方独立行政法人 東京都立産業技術研究センターにより出願された特許

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【課題】 高精度の三軸の加速度の測定が可能な熱式加速度センサーを提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板の異方性エッチングによって傾斜面からなる貫通孔を形成した基板と、単結晶シリコン基板の異方性エッチングによって凹部を形成した傾斜面を有する基板のそれぞれの複数枚を積層して前記貫通孔と前記凹部によって形成した測定空間と、前記測定空間にいずれかの基板に一体に形成した前記測定空間に位置する複数の発熱手段と複数の測温手段とを設けた三軸加速度センサー。 (もっと読む)









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