【課題】多孔質状の薄膜を簡便で効率よく製造できる多孔質膜の製造方法、その方法で得られる多孔質膜及び多孔質膜製造装置を提供する。
【解決手段】有機化合物と疎水性有機溶媒とを含む塗布液を支持体上に塗布して、０℃以上１０℃以下に調整された塗布膜を形成する工程と、塗布膜の温度より露点を高く調整した水蒸気を含む水蒸気含有気体を塗布膜に供給して、塗布膜上で水蒸気を凝結させて塗布膜を乾燥させる工程とを含む多孔質膜の製造方法、その方法で得られる多孔質膜及び本発明の製造方法に適用可能な多孔質膜製造装置である。 （もっと読む）

【課題】その表面だけが配向制御された有機半導体薄膜、プラズマ処理に比べて有機半導体に対する損傷を抑えることが可能な有機半導体の配向制御方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の表面に配向層を有する有機半導体薄膜、及び有機半導体からなる薄膜に中性粒子ビームを照射することにより有機半導体の配向制御を行う有機半導体薄膜の配向制御方法である。 （もっと読む）

【課題】中性粒子ビームが照射される被処理体の加工状態を把握するため、被処理体と同じ位置において中性粒子ビームの諸特性（全エネルギーフラックス、残留イオン、光エネルギーフラックス）を観測することが可能な測定ユニットを提供する。
【解決手段】測定ユニット１２は、真空処理空間内にあって、中性粒子ビームが照射される被処理体１１と同じ領域内に収容可能なチップ状の基材と、該基材に配された全エネルギーフラックスの測定部および残留イオンの測定部と、を少なくとも備える。 （もっと読む）