【課題】ソーイングによりウエハをダイシングする処理の際に、汚染物質残留物又はパーティクルの付着を抑制し、露出表面の腐食を実質的に減らすかあるいは無くすダイシング液を提供する。
【解決手段】少なくとも１種のジカルボン酸及び／又はその塩、少なくとも１種のヒドロキシカルボン酸及び／又はその塩、又はアミン基を含有する酸、と、リン酸エステル分岐アルコールエトキシレートを基礎材料とする界面活性剤、アルキルジフェニルオキサイドジスルホン酸を基礎材料とする界面活性剤、ドデシルベンゼンスルホン酸（ＤＤＢＳＡ）を基礎材料とする界面活性剤、第二アルキルスルホン酸を基礎材料とする界面活性剤、及びそれらの組み合わせ、からなる群より選ばれる界面活性剤、とを含み、残りが実質的に脱イオン水であり、フッ素を含まず且つｐＨが約１〜約４である。 （もっと読む）