【課題】トランスファ装置の駆動装置をコンパクトに設計できるようにすることである。
【解決手段】進退動作と開閉動作をさせる進退開閉駆動装置１０を、一対のビーム１の両端側を水平面内で旋回可能な関節１１ａを有する関節付きアーム１１で支持し、これらの各関節付きアーム１１の関節１１ａの前側の前アーム部１１ｂの先端側に、ビーム１の両端側を水平面内で旋回可能に連結し、関節１１ａの後側の後アーム部１１ｃの基端側を、昇降駆動装置６の昇降駆動ベース９に水平面内で旋回移動可能に支持して、各関節付きアーム１１の関節１１ａと各後アーム部１１ｃの基端側をサーボモータ１３、１４で旋回駆動することにより、トランスファ装置の駆動装置をコンパクトに設計できるようにした。 （もっと読む）