本発明は、真空グリッパー、特に、太陽電池やウェハ、フラットスクリーン用のパネルのような表面が敏感なワークピースを慎重に把持するための真空グリッパーに関し、また、積み重ねられて上から順に取り上げていかねばならないような、重量のあるガラスなど非常に平滑な表面を有するプレートを把持するための真空グリッパーに関する。この真空グリッパーは次のような特徴を有する。真直のまたは湾曲したグリッパープレート（２）；グリッパープレート（２）に設けられる少なくとも１つの吸引開口（３；３ａ）であって、その吸引開口（３）の回りにワークピース−絞り面（６）が形成される少なくとも１つの吸引開口（３；３ａ）；ワークピース側に向いたグリッパープレート（２）の面に、吸引開口（３）に対してワークピース−絞り面（６）の外側に設けられる少なくとも１つの凹部（４）；各凹部（４）の内部に設けられる少なくとも１つの通気孔（５）。 （もっと読む）

本発明は、例えば、半導体産業用のウェーハ、太陽電池、ガラス、ＦＰＤ基板またはバイオセンサー用の生物活性基板のような、接触に対して敏感な平面状の材料もしくは加工品の検査装置に関し、さらに、接触に対して敏感な曲面表面の材料の検査装置にも関する。この場合、この検査装置は、材料（３）をその上面上に担持する支持体（１）と、その支持体（１）に接続される少なくとも１つの振動発生器であって、その振動発生器の振動の周波数および振幅は、材料（３）を支持体（１）の上で浮揚させ続けうるように選択される少なくとも１つの振動発生器と、少なくとも１つの光学センサー（４）とを含み、さらに、支持体は透明な材料から構成され、かつ、光学センサー（４）は支持体（１）の下部に配置される。 （もっと読む）

本発明は、接触に敏感な構造部品または材料を輸送および保持する装置に関し、次の特徴を有する。すなわち、被輸送物体または被保持物体を受け載せるための少なくとも１つの振動可能なプレート状の受け載せ体（２）を有し、この受け載せ体（２）に、少なくとも１つの発振器（３）が固定されること、および、少なくとも２つの支持要素（４）を有すること、という特徴を備える。さらに、その発振器（３）は、プレート状の受け載せ体（２）に曲げ振動を発生させるために、プレート状の受け載せ体（２）の所定位置に配置され、また、支持要素（４）は、曲げ振動の振幅が最大振幅よりも少なくとも５０％小さい位置に配置され、かつ、発振器（３）は、構造部品または材料が無接触で浮揚するような振動を、プレート状の受け載せ体（２）に発生させる周波数で運転される。 （もっと読む）