【課題】ねじ部を有する小物部品を大量に一括して処理し、安定かつ均一な硬化層を形成することが可能な硬化層形成方法、およびこの方法に用いられる硬化層形成装置を提供する。
【解決手段】 真空チャンバ２内に備えられた金属製の回転容器３内にねじ部を有する小物部品を複数個収容して減圧した後、炭素ガスおよび窒素ガスのうちの少なくともいずれか一方のガスを供給して、このガス雰囲気中で回転容器３に陰極電圧を印加してプラズマ放電を行う一方、回転容器３を回転させながら、この回転容器３近傍に備えられたヒータ５を用いて回転容器内の温度を３５０℃から５５０℃の範囲内に加熱することにより、前記小物部品の表面に硬化層を形成する。 （もっと読む）