本発明は、レーザー源によって放出されるレーザーパルスをホモジナイズして、ターゲットを均一に照明するシステムに関する。本発明によれば、レーザー源とターゲットとの間に、位相板と焦点合わせ手段とを配置する。前記位相板は、複数個の遅延レーザービームをターゲットの方向に発生させることができる複数個のサブピューピルによって形成され、２個の隣接する前記遅延レーザービームの間の光路差Δｄは、レーザーパルスの時間的コヒーレンスＴ_ｃより大きく、そして、前記焦点合わせ手段は、前記遅延レーザービームを均一スポットにおいてターゲットの上に重ね合わせる。
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