【解決手段】少なくとも１つのポンプロータ(14)を有するポンプ室(12)を備えた真空ポンプ(10)を清掃するための効果的な方法は、ステップa) ポンプ室(12)にクリーニング液(28)を満たす、ステップb) クリーニング液(28)をポンプ室(12)内で分散させる、ステップc) クリーニング液(28)を用いて不純物を溶解する、及び、ステップd) クリーニング液(28)をポンプ室(12)から排出する、を備えている。
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