本発明は、（ａ）式Ｚｒ_１−ｘＭ_ｘＯ_２またはＣｅ_１−ｘＭ’_ｘＯ_２（ただし、Ｍはイットリウム、スカンジウム、および、セリウムから選択され、Ｍ’はガドリニウム、スカンジウム、サマリウム、および、イットリウムから選択され、ｘは０〜０．２の範囲にある）で表わされるセラミックの微結晶および微結晶集合体を含有するナノ結晶性粉末を、フラッシュ焼結（ｆｌａｓｈ ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）装置に挿入するステップと、（ｂ）５０ＭＰａ〜１５０ＭＰａの圧力を８５０℃〜１４００℃の温度で５分間〜３０分間印加することによって、上記粉末をフラッシュ焼結するステップとを上記の順に含む、金属酸化物系セラミックを製造する方法に関する。なお、上記粉末は、５ｎｍ〜５０ｎｍの平均微結晶サイズと、０．５μｍ〜２０μｍの平均微結晶集合体サイズと、２０ｍ^２／ｇ〜１００ｍ^２／ｇの比表面積とを有する。 （もっと読む）