説明

スペックス サーフェス ナノ アナリシス ゲーエムベーハーにより出願された特許

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走査プローブセンサパッケージ(27)用マウントは、マウント内の平面を規定する支持構造物(1、5)と、走査プローブセンサパッケージ(27)におけるそれぞれの対応物(43)と相互作用するよう設計されている少なくとも1つの可動なスナップ接合要素(9)とを含む。スナップ接合要素(9)は、取り付けられた走査プローブセンサパッケージ(27)に力を印加することにより、支持構造物(1、5)へ向かって前記平面に対して垂線な方向に前記走査プローブセンサパッケージ(27)を押しやる第1位置へ、および、走査プローブセンサパッケージ(27)を前記平面に対して垂線な方向に沿って支持構造物(1、5)に取り付けるか、または、支持構造物(1、5)から取り外せるようにする第2位置へと移動可能である。
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走査型プローブ用の金属探針(1)が提供される。この探針(1)は、軸方向長さ(l)と、半径方向幅(d)と、最大半径方向幅の区域(5)から原子レベルで鋭利な端部(9)まで軸方向に延びる尖った区域(B)と、最大半径方向幅の区域(5)から丸みのある端部(7)まで軸方向に延びる丸みのある区域(A)とを有し、尖った区域(B)の軸方向長さが、丸みのある区域(A)の軸方向長さよりも大きい。金属探針(1)は10μg以下の質量を有する。 (もっと読む)


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