説明

ハンツマン・アドヴァンスト・マテリアルズ・(スウィツァーランド)・ゲーエムベーハーにより出願された特許

1 - 1 / 1


本発明は、第1有機物層(2)と第1無機物層(4)によってフレキシブル基板(1)をコーティングするための装置に関するものである。本発明による装置は、第1および第2チャンバ(10,20)と、雰囲気分離スロット(30)と、を備えている。第1チャンバ(10)内には、前駆体またはオリゴマーまたはポリマーネットワークと重合開始剤とを含有した混合物でフレキシブル基板をプリントするプリント設備(40)が配置されている。第1チャンバ(10)内には、成膜された混合物を硬化させて第1有機物層(2)を形成する硬化設備(50)が配置されている。第2チャンバ(20)内には、基板(1)上に第1無機物層(4)を成膜する気相蒸着設備(60)が配置されている。装置は、基板(1)を設備(40,50,60)に沿って案内するための設備(70)を備えている。
(もっと読む)


1 - 1 / 1