説明

サエト ソシエタ ペル アチオニにより出願された特許

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多結晶シリコンを取得するための装置(1)であり:そのシリコンに対して石英で作られ、カップ形状のグラファイト容器(4)に除去可能に収納された少なくとも1つのるつぼ(3);流体密封の開けることが可能なケーシング(5);グラファイトプレート(14)が介在した状態でるつぼに向かい合って配置された上部誘導コイル(12)、グラファイト容器の側壁(17)の周りに配置された側部誘導コイル(16)、及びそのグラファイト容器の底壁(19)に向かい合って配置され、その底壁からの距離(D)を変更するために垂直に可動式である底部誘導コイル(18);及び誘導コイルの交流電力供給のための第1手段(20)、及びそれらの誘導コイルのそれぞれの中空巻き内で冷却剤を供給するための第2手段(21);を含み、その底部誘導コイルは、格子柄スキームに従って、絶縁された支持プレー多(35)によって定められる全く同一の平面においてお互いに平行に配置された4つのらせん状の巻き(31‐34)を含み;電気スイッチ手段(40)は、使用中においてその4つの巻き(31‐34)を異なる構成に従ってお互いに選択的に接続することを可能にする。

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多結晶シリコンを取得する装置は:そのシリコンに対して石英で作られ、カップ形状のグラファイト容器(4)において除去可能に収納された少なくとも1つのるつぼ(3);固定された底部ハーフシェル(6)及び垂直に可動式である上部ハーフシェル(7)を含む流体密封のケーシング(5);グラファイトプレート(14)が介在した状態でそのるつぼに向かい合って配置された上部誘導コイル(12)、そのグラファイト容器の側壁(17)の周りに配置された側部誘導コイル(16)及びそのグラファイト容器の底壁(19)に向かい合って配置され、その底壁からの距離(D)を変更するために垂直に可動式である底部誘導コイル(18);及び、誘導コイルのお互いに別々のa.c.電力供給に対する手段(20);を含み、少なくともその側部誘導コイル(16)は、お互いに重なり合って配置された複数の平面の巻き(13a...13e)、及びそれらの巻きを全て一緒に又は一度に1つ以上を別々に選択的に短絡させ、供給する又は供給しないための及びそれらの供給の周波数を全て一緒に又は一度に1つ以上を別々に変更するための手段(25)を含む。

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