【課題】半導体基板等の高いクリーン度が要求される基板の洗浄を行う際、洗浄する面とは反対側の面に洗浄液が回り込むことを防ぐとともに、パーティクル等が局所的に溜まって汚染することも防ぐことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板９を支持するための環状の基板支持手段３と、該基板支持手段により支持された基板に対して純水又は薬液からなる洗浄液６を供給するための洗浄液供給手段２とを具備し、基板支持手段が基板の端面を３点以上で支持して位置決めする位置決め用のピン４と、該位置決め用のピンで位置決めされた基板の下面の周囲に沿うように長短の突起５ａ，５ｂが連続的に配置された突起部５とを有するものであり、洗浄液供給手段から純水又は薬液を供給して基板を洗浄する際に位置決め用のピンで支持された基板の下面と突起部との間に形成された隙間が純水又は薬液でシールされた状態で基板が洗浄される基板の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】超音波発振器の発振周波数と超音波振動子の共振周波数とを簡単に整合できる超音波洗浄機及び超音波洗浄機の周波数整合方法を提供する。
【解決手段】超音波発振器で発生した高周波電力を、超音波振動子により超音波振動として洗浄液に印加して、被洗浄物を洗浄する超音波洗浄機であって、少なくとも、超音波発振器と、超音波振動子と、前記超音波発振器と前記超音波振動子とを接続する電力ケーブルと、該電力ケーブルに接続され、かつプラス電極側にコンデンサが直列接続された及び／又はコンデンサが並列接続された、前記超音波発振器の発振周波数と前記超音波振動子の共振周波数とを整合させるための周波数整合アダプタとを備えるものであることを特徴とする超音波洗浄機。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を、簡便な構成および手順で高精度に分別回収するとともに、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染の発生を防止することができる洗浄装置および洗浄液の分別回収方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する洗浄装置であって、少なくとも、被洗浄基板の保持手段と、被洗浄基板を取り囲むように配設され、洗浄後の洗浄液を分別回収するリング状の洗浄液分別回収手段と、前記被洗浄基板および／または前記洗浄液分別回収手段を回転させる回転手段を具備し、前記洗浄液分別回収手段の上面に該洗浄液分別回収手段に対する前記被洗浄基板の相対的な回転方向に対応して洗浄液を収集するスリット溝が複数形成され、洗浄液を回収する回収孔が形成されたもので、前記相対的な回転方向を変え、対応するスリット溝のいずれかに、洗浄液を別々に分別回収できる洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】同じチャンバー内で、特に、マスク基板の端面全体、及び、ペリクルが貼り付けられていた領域も確実に洗浄することができるマスク基板用の洗浄装置を提供する。
【解決手段】チャンバー２と、該チャンバー内に、少なくとも、前記マスク基板５を支持して回転可能な基板支持手段３と、該基板支持手段により支持された基板に対して洗浄液を供給する基板洗浄液供給手段６，７と、前記基板支持手段により支持された基板の上面５ａ及び端面５ｂに対して回転しながら又は回転せずに摺接可能な洗浄ブラシ８と、前記チャンバーから洗浄液の廃液を排出するための廃液口１０とを備え、前記基板支持手段は、前記マスク基板５の周囲を支持する複数の支持ピン４を有し、該支持ピンにより支持されている基板を該支持ピンに対して相対的に回転させ、該基板の周囲を他の位置で支持し直すことができるものであることを特徴とするマスク基板用の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を、簡便で高精度に分別回収するとともに、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染の発生を防止することができる洗浄装置および洗浄液の分別回収方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板９に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する洗浄装置１であって、少なくとも、被洗浄基板９の保持手段４と、被洗浄基板９を取り囲むように配設し、洗浄後の洗浄液を分別回収するリング状の洗浄液分別回収手段５と、前記洗浄液を吸引するポンプ１４を具備し、前記洗浄液分別回収手段５は、洗浄後の洗浄液が飛び散るのを防止し、洗浄液を集める洗浄液収集壁を有し、該洗浄液収集壁の下部に洗浄液を吸引するための洗浄液吸引孔１０を複数形成し、該洗浄液吸引孔１０に対応して洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブ１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】四角形のマスク基板の端面全体を容易にかつ確実に洗浄することができるマスク基板用の洗浄装置を提供する。
【解決手段】チャンバー２と、対向配置された回転可能な洗浄ブラシ８ａ，８ｂと、マスク基板５を端面で狭んで保持し、対向する洗浄ブラシの間に相対的に移動可能なロボットアーム６と、ロボットアームで保持されたマスク基板の少なくとも表裏面及び洗浄ブラシのいずれかに対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段７，９，２０とを具備し、ロボットアームによりマスク基板を一組の対向する端面で狭んで保持し、洗浄液供給手段から洗浄液を前記マスク基板及び／又は洗浄ブラシ８に供給するとともにロボットアームで保持された基板を対向する洗浄ブラシの間で相対的に移動させることにより、ロボットアームで保持されていない対向する端面を洗浄ブラシで洗浄するものであることを特徴とするマスク基板用の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の供給を停止した後に、洗浄液吐出手段から洗浄液が垂れ落ちるのを確実に防止することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板を洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽内の廃液を回収する廃液回収槽を備え、前記洗浄槽内で被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液を供給する洗浄液供給配管と、該洗浄液供給配管の先端に設けられ、被洗浄基板に洗浄液を吐出する洗浄液吐出手段と、洗浄液の供給および供給停止を切り替える供給バルブと、一端が前記供給バルブと前記洗浄液吐出手段との間の洗浄液供給配管に接続され、該洗浄液供給配管内に残留する洗浄液を吸引する洗浄液吸引配管と、洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブと、前記洗浄液を吸引するポンプを具備し、前記供給バルブを閉とした時に、前記残留する洗浄液を前記ポンプにより吸引し、洗浄液が垂れ落ちるのを防止する洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】十分なシールド機能を有すると共に、可とう性が高く、作業性、収納性が高く、外観も良い高周波電力伝送用の同軸ケーブル及びこれを用いた超音波洗浄機を提供する。
【解決手段】高周波電力伝送用の同軸ケーブルであって、中心導体の周囲に、少なくとも、絶縁層と、外部導体層と、第一の絶縁性被覆層と、アルミラミネート層と、少なくとも１層の接地導体層と、第二の絶縁性被覆層とが順次形成されたものであることを特徴とする同軸ケーブル、及び超音波洗浄機であって、超音波発振器で発生した高周波電力を、前記の同軸ケーブルで超音波振動子に伝送し、該超音波振動子により超音波振動を洗浄液に印加して、被洗浄物を洗浄するものであることを特徴とする超音波洗浄機。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたり連続的で、また、常に安定した２つ以上の濃度のオゾン水を得る。
【解決手段】純水または炭酸水の少なくとも一方にオゾンガスを添加し、また、純水に炭酸ガスが添加されたオゾンガスを添加し、オゾン水を生成する方法または装置において、オゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成している途中でその一部をオゾン水として取り出し、最後まで溶解させたオゾン水と同時に使用する。 オゾン水は、途中で取り出した前記オゾン水の方が、最後まで溶解させたオゾン水より、濃度が低い。オゾン水の溶解は、膜を介してオゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成する。途中で取り出したオゾン水、および最後まで溶解させたオゾン水の各々のオゾン水濃度を測定し、その差が大きくなったときには警報を発信する。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたり連続的で、また、常に安定した２つ以上の濃度のオゾン水を得る。
【解決手段】純水または炭酸水の少なくとも一方にオゾンガスを添加し、また、純水に炭酸ガスが添加されたオゾンガスを添加し、オゾン水を生成する方法または装置において、オゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成している途中でその一部をオゾン水として取り出し、最後まで溶解させたオゾン水と同時に使用する。 オゾン水は、途中で取り出した前記オゾン水の方が、最後まで溶解させたオゾン水より、濃度が低い。オゾン水の溶解は、膜を介してオゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成する。途中で取り出したオゾン水、および最後まで溶解させたオゾン水の各々のオゾン水濃度を測定し、その差が大きくなったときには警報を発信する。 （もっと読む）