【課題】圧電振動子から発せられた超音波のエネルギーが、放射面内の特定位置で集束することなく均一に放射させることができ、音圧も均一にすることのできる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、被洗浄物を保持する保持機構と、該保持機構に保持された被洗浄物に圧電振動子の振動を超音波伝播体によって伝播させて超音波洗浄する洗浄機構と、該洗浄機構と前記被洗浄物の間に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、前記洗浄機構の圧電振動子に高周波電圧を印加する超音波発振器とを有する超音波洗浄装置において、前記洗浄機構の超音波伝播体は、底面が上面より面積が大きい錐台形状であり、前記上面側に前記圧電振動子が設けられたものであることを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】槽タイプの洗浄装置において、振動子固有のベンディングモード等の特性に左右されず、また、複数枚の振動素子を振動子として洗浄槽に取付けた場合であっても、被洗浄面内での洗浄ムラを抑制できる超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物Ｗを洗浄するための洗浄液４で満たされる洗浄槽１５と、洗浄液に超音波振動を伝播させる２個の振動子１１、１２と、該振動子に高周波電圧を印加する超音波発振器１６、１７とを具備し、被洗浄物を洗浄液に浸漬して超音波洗浄をする超音波洗浄装置１０において、２個の振動子のうち、少なくとも１個の振動子の周波数を掃引させることにより、洗浄液内で発生したキャビテーション領域を移動させて被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置１０およびそれを利用した超音波洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の形状が平板形状でありながらも、所望の方向に振動を伝播させることができる圧電振動子及びその製造方法を提供し、さらに該圧電振動子を使用することにより、装置設計が圧電振動子に制限されず且つ洗浄性能がより向上できる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持手段１１と、圧電振動子１５の振動を洗浄液１４に伝播させて基板Ｗを超音波洗浄する洗浄手段１２と、圧電振動子１５に高周波電圧を印加する超音波発振器１３を有する超音波洗浄装置１０において、圧電振動子１５は、振動電極１６ａ、１６ｂの形成された平板形状の圧電振動子であり、該平板形状の圧電振動子１５は、その分極軸Ｐが厚み方向Ｔに対して所望の角度に傾斜したものであることを特徴とする超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板、マスク基板、半導体ウェーハ等の基板をブラシで洗浄する際、ブラシ自体を劣化させずに清浄な状態で洗浄し、かつブラシ内部にまで入り込んだ汚染物を除去し、ブラシによる洗浄効果を安定させるとともに、ブラシの交換頻度を低減させうる機構を具備することによって、基板を清浄な状態で洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラシの裏面からブラシ内を被洗浄物に接触する面に向かって洗浄液を流すことによって、ブラシ内部にまで入り込んだ汚染物を除去しつつ、ブラシの劣化を避けることができる機構を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】傷つきやすい基板面を有する基板や、特にデバイスパターンが形成されているような基板であっても、基板へのダメージを抑制でき、且つ高い洗浄効果を簡単に得ることができる枚葉式洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持手段２と、該保持手段に保持された基板上面Ｗ１に向けて洗浄液３を噴出する洗浄液噴出手段４とを具備する枚葉式洗浄装置１であって、少なくとも、基板下面Ｗ２に伝播水を供給する伝播水供給手段６と、基板直下に伝播水による膜５が形成されるように近接配置され、基板に対して透過性のある超音波振動を伝播水膜に印加する振動手段７とを具備し、振動手段７から伝播水膜５に印加された超音波振動が、基板Ｗを透過し、該基板上面Ｗ１に載っている洗浄液３に印加されることにより、基板上面Ｗ１を洗浄するものであることを特徴とする枚葉式洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】テーブルが回転するタイプの枚葉式洗浄装置で被洗浄物の表裏面を洗浄する際、裏面用ノズルから供給された洗浄液が回転するテーブルにより被洗浄物に再付着することを抑制できる枚葉式洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、アーム６及び複数のピン７で被洗浄物５を水平に保持するテーブル２と、該テーブルをその中心軸で回転させる回転駆動部３と、被洗浄物５の表面を洗浄液で洗浄する表面用ノズル１４と、被洗浄物５の裏面を洗浄液で洗浄する裏面用ノズル４とを具備する枚葉式洗浄装置１であって、裏面用ノズル４から吐出した洗浄液を受ける受け皿１０が、裏面用ノズル４のアーム６から突出している部分に設置され、該受け皿１０が受けた洗浄液を排出する排液口９が、受け皿１０の底部に形成されているものであることを特徴とする枚葉式洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】基板をより均一に洗浄することができ、さらには近年の需要に対応してより優れた洗浄効果を有する超音波洗浄用ノズルおよびそれを用いた超音波洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板の超音波洗浄に用い、少なくとも、内部に横長台形形状の噴射室を有し、一端に吐出口が開口されたノズルボディと、振動子と、振動板とを具備し、前記ノズルボディは、２つの導入通路と、導入通路と噴射室との間に位置し、複数形成された整流通路とを有し、導入通路からの洗浄液が整流通路を通し、噴射室内に供給される超音波洗浄用ノズルであって、整流通路を通った洗浄液が、整流通路と噴射室との間に位置する整流室を経て噴射室に供給されるもので、整流室と噴射室は横長形状の整流スリットで連結され、整流スリットから噴射室に噴射された洗浄液が、吐出口から吐出されるものである超音波洗浄用ノズル。 （もっと読む）

【課題】コンポジット振動子等を用いた従来の超音波輻射体よりも高効率で均一な縦振動を発生させることができる超音波輻射体および超音波輻射体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミック振動子と輻射板材とが接合された超音波輻射体であって、前記圧電セラミック振動子は前記輻射板材との接合面に溝を有し、かつ該圧電セラミック振動子の溝の内部が空隙となっているものである超音波輻射体、および圧電セラミック振動子と輻射板材とを接合して製造する超音波輻射体の製造方法であって、輻射板材との接合面に溝を有する圧電セラミック振動子を作製し、該圧電セラミック振動子と前記輻射板とを接合することによって、該圧電セラミック振動子の溝の内部が空隙となるようにして超音波輻射体を製造する超音波輻射体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】振動板全体のキャパシタンスによらず、高周波、大面積の振動板を低電流で駆動でき、洗浄液に同位相の超音波振動を印加でき、コストダウン及びスリム設計も図れる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、洗浄液４が収容される洗浄槽３と、該洗浄槽３の壁面に配置され、洗浄槽３に超音波振動を印加する輻射板７と、該輻射板７を振動させるために接合された複数の振動板２と、該複数の振動板２を振動させるための発振器１を具備する超音波洗浄装置１０において、隣接する２つの振動板２の間は、電気的に直列接続され、該直列接続された２つの振動板２は１台の発振器１により駆動されるものであることを特徴とする超音波洗浄装置１０。 （もっと読む）

【課題】高周波用高出力回路において、高周波で高出力を簡単に得ることができるものを提供する。
【解決手段】少なくとも主発振部と、ドライバー部と、出力部と、マッチング回路とを有する高周波用高出力回路において、２個のドライバーの入力側が、前記主発振部の出力側と直列接続され、前記２個のドライバーの出力側が、出力トランスに接続されたものを１ブロックのドライバー回路としたとき、前記ドライバー部は、少なくとも２ブロックの前記ドライバー回路を並列接続したもので、前記ドライバー部と前記出力部の接続は、前記ドライバー回路の前記ドライバー１個に対し、前記出力回路の出力トランジスター１個を駆動できるように、前記出力トランスから前記出力トランジスターの入力側に接続したものであることを特徴とする高周波用高出力回路。 （もっと読む）