【課題】音波を複数の電気信号に変換できると共に、音響特性のバラツキを抑えることのできる音響トランスデューサを提供する。
【解決手段】音響センサ１１は、半導体基板２１の上面に振動膜２２および固定膜２３が形成され、振動膜２２における振動電極２２０と固定膜２３における固定電極２３０との間の静電容量の変化により、音波を電気信号に変換し出力するものである。音響センサ１１は、振動電極２２０および固定電極２３０の少なくとも一方が分割されており、分割された複数の電極から複数の電気信号をそれぞれ出力している。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する耐性を向上させた音響センサを提供する。
【解決手段】音響センサ１１は、半導体基板の上面に振動膜２２および固定膜２３が形成され、振動膜２２における振動電極２２ａと固定膜２３における固定電極２３ａとの間の静電容量の変化により音波を検出する。固定膜２３には、音波を外部から振動膜２２に到達させるために複数の音孔部３２が形成されており、固定電極２３ａは、縁部４０の境界が音孔部３２と交わらないように形成されている。 （もっと読む）

【課題】光が当たることにより発生するノイズを減少させる。
【解決手段】本発明の音響センサ１は、シリコン基板１１の上面に、導電性の振動膜１４と上固定電極板５とがエアーギャップ２２を設けて配置されているとともに、シリコン基板１１の表面に不純物が添加されている。これにより、シリコン基板１１の表面に光が当たることにより発生する電流を減少させることができ、光が当たることにより発生するノイズを減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタのハーフブリッジ回路の中点電圧の検知装置を提供する。
【解決手段】第１トランジスタＭ１及び第２トランジスタＭ２からなるハーフブリッジ回路は、中点電圧が低電圧値から高電圧値へ及びその逆への遷移を経験するように駆動され、コンデンサ内を流れる電流信号Ｉｓｉｎｋ，Ｉｓｏｕｒｃｅに対して低インピーダンスノードを形成すべく適合されている。装置は、電流信号Ｉｓｉｎｋ，Ｉｓｏｕｒｃｅを検知すべく適合されており且つ電流信号に基いて低電圧値から高電圧値への又は高電圧値から低電圧値への遷移を表す少なくとも１個の第１信号ＨＬ＿ｃｏｍｍ，ＬＨ＿ｃｏｍｍを出力すべく適合されている検知手段１０を有している。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】誤って接続された負荷状態の検出が可能な、電気負荷用の駆動回路を提供する。
【解決手段】電子回路(100)を開示し、この電子回路は、駆動する負荷(LD)に接続可能なノード(EX)、及びこのノードに接続された第１端子を有し、活性状態と非活性状態との間で切り替えることができるパワーデバイス(PD)を具えている。この回路はさらに：上記ノードに接続された出力端子を有し、少なくとも上記パワーデバイスが非活性状態にされている際にイネーブル状態にすることのできる電流発生器(I)と；上記ノードの電圧(V(EX))と基準電圧(V(REF))との比較器(CP)を具え、この比較器は比較結果(RESETN)を得るように構成され、この比較結果から、負荷の上記ノードへの電気接続の異なる状態を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパレータによって生成されたデジタル信号をノイズからの保護方法を提供する。
【解決手段】コンパレータ１によって生成されたデジタル信号（Ｖｃｏｍｐ）のロジック状態の第１スイッチングにおいて第１ロジック状態から第２ロジック状態へと切り替える出力信号（Ｖｏｕｔ）の生成ステップと、前記出力信号（Ｖｏｕｔ）の第１ロジック状態から第２ロジック状態への変更の検出ステップと、第１ロジック状態から第２ロジック状態への変更後の第１時間間隔に対する前記出力信号（Ｖｏｕｔ）のさらなる切り替えの禁止ステップとにより前記デジタル信号（Ｖｃｏｍｐ）をノイズから保護する。 （もっと読む）

【課題】加速度ノイズを低減し、感度のよい振動ジャイロを実現する。
【解決手段】弾性固定要素８ａ’により基板に固定され、平面内ｘｙで駆動運動されるように設計された駆動質量３と、駆動運動中の駆動質量３に固定されるように且つ角速度に応答してそれぞれの検出運動を行うように、駆動質量３の内部に懸垂支持され、それぞれの弾性支持要素１８により駆動質量３に結合された第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂと備える集積微小電気機械構造３０である。特に、第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂは、それらの振動モードを結合するように弾性結合要素３２ａ，３２ｂにより互いに結合されている。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳテクノロジーで得られるスプレイ装置用ノズル集積膜を製造する方法、及び既知の技術が持つ欠点を有することのない上記膜を含むスプレイ装置を提案する。
【解決手段】 スプレイ装置のノズル膜を製造する方法は、基板（１１）を設けるステップと、前記基板（１１）上に膜層（１３）を形成するステップと、前記膜層（１３）内に複数のノズル（１４）を形成するステップと、基板（１０）内に複数の供給通路（１５）を形成するステップとを含む。各供給通路（１５）は、前記複数のノズルに含まれる個々のノズル（１４）にほぼ直交して配置し、個々のノズル（１４）と直接接触させる。 （もっと読む）

【課題】 欠陥部品の認識と修正を装置内部において行い、メモリ装置の寿命と製造歩留まりとを改善すること。
【解決手段】 メモリ装置（２０）は複数のスタンダードセクタ（１５）と冗長部（２）とからなるメモリブロック（１）と、メモリセルデータのプログラミング及び消去を制御する制御回路（３）と、メモリセルに記憶されたデータ用の正確性確認回路（７）とを有し、正確性確認回路は制御回路により作動され機能不全セルを１つでも検出すると不正データ信号を発生する。制御回路は冗長を活性化し、冗長部を作動し、不正データ存在の場合に冗長メモリステージ（５ｂ）に冗長データを記憶する。消去・プログラミングの両動作におけるカラム冗長、ロウ冗長、セクタ冗長の種々の実行方法を提供する。 （もっと読む）