【課題】安定した組立を行うことができ、メンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能で、電気的測定の際に安定した接触抵抗を有し常に正常な測定を行うことができる長寿命のコンタクトブローブを提供する。
【解決手段】導電性のプランジャーと、プランジャーを軸方向に付勢する導電性のスプリングとを備え、プランジャーは嵌合部とボス部とを有しスプリングの一端または両端に配置されておりプランジャーの少なくとも１つがスプリング内に挿通される摺動部を有し、スプリングは粗巻き部と密着巻き部とボス部に係止する大ピッチ部分とを有し、スプリングの密着巻き部はプランジャーの摺動部が接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】電気的測定の際に安定した接触抵抗を有し、常に正常な測定を行うことが可能であり、長寿命なコンタクトブローブを提供する。
【解決手段】導電性のプランジャーと、該プランジャーを軸方向に付勢する導電性のスプリングとを備え、前記スプリングが密着巻き部と該密着巻き部の外径に比較して小さい値に設定されている粗巻き部とを有し、前記プランジャーは前記スプリングの一端または両端に配置されており前記プランジャーの少なくとも１つが前記スプリング内に挿通される摺動部を有し、前記スプリングの密着巻き部は前記プランジャーの摺動部が接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】コンタクトプローブ、特に垂直スプリング型プローブに用いる場合において、電気的測定の際に安定した導電性を有し、常に正常な測定を行うことができるコンタクトプローブ用プランジャーを提供する。
【解決手段】棒状の接続用ピンと、該接続用ピンの外周に少なくとも１層からなる被覆層とを備え、前記接続用ピンが高導電性を有する貴金属材料によって形成され、前記被覆層が高導電性を有する金属材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、小型化が可能な両端変位型コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】コイルばねにより相反する方向に付勢された一対の導電性可動体が検査装置のソケットの内部に往復動を許容して収容されると共に、一方の導電性可動体が被検査体に当接するように取り付けられ、かつ他方の導電性可動体が回路基板に電気的に接続して取り付けられている両端変位型コンタクトプローブにおいて、コイルばね内に配設され一対の導電性可動体の軸方向に延在する中空の導電性パイプ体を有し、一対の導電性可動体が導電性パイプ体の両端部から内部に向かってそれぞれ挿入されており、一対の導電性可動体が導電性パイプに対して摺動可能で且つ電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】コンタクトプローブのメンテナンスを簡単且つ安価に行うことが可能なコンタクトプローブ及びこれを用いた電子回路試験装置を提供する。
【解決手段】導電性の筒状体からなるスリーブと、 該スリーブ内に摺動自在に嵌合する導電性のプランジャーと、前記スリーブ内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングとを備え、前記プランジャーは貴金属の中実ムク材によって形成され前記スリーブと着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。
【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、気体噴出体を小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。
【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材に設ける貫通孔に挿抜自在に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、貫通孔に気体噴出体を挿入した状態において気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】バレル内部に発生する摺動カスによる導通不良を改善し電気的な接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させたコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】導電性の筒状体からなるバレルと、 該バレル内に摺動自在に嵌合する摺動部を有する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングと、前記プランジャーと前記スプリングとの間に狭持されるコマとを備え、該コマの長さは前記プランジャーが前記バレル内を軸心方向に往復動する往復動距離に対応する値と同等または大きい値に設定することによって、導通経路の接点と、摺動カスの滞留する滞留領域とを互いに離間した位置とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いて活性化した原料から高純度の薄膜を確実に形成することができるようにする。
【解決手段】 プラズマ援用反応性薄膜形成装置におけるプラズマ発生用コイル４を、形成すべき薄膜を構成する元素からなる物質で構成されるかあるいは該物質で被覆されたものとする。そして、そのプラズマ発生用コイル４によってチャンバ１０内にプラズマを発生させ、蒸着源のルツボ６によって蒸発される原料の元素と気体導入口７から導入される気体の元素とがプラズマ雰囲気中で反応し、プラズマ発生用コイル４の表面がスパッタリングされて飛び出す上記物質の元素とともに基板２の表面に蒸着することによって所望の （もっと読む）

【課題】不純物のドープ量を容易に制御して添加できるプラズマ援用反応性薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生用コイル４を、薄膜にドープする元素からなる物質、またはその元素を含む物質で一部または全体が構成されるか被覆されたものとする。そのプラズマ発生用コイル４によってチャンバ１０内にプラズマを発生させ、蒸発源のルツボ６によって蒸発される原料の元素と気体導入口７から導入される気体の元素とがプラズマ雰囲気中で活性化し、前記プラズマ発生用コイル４の表面からスパッタリングされて飛び出す上記物質（例えばCu）の元素とともに基板２の表面において反応し、該物質の元素をドープした薄膜を成膜する。 （もっと読む）