【課題】簡単な構造で、かつ小型で精密な電気特性検査が可能なパワー半導体測定用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】パワー半導体測定用コンタクトプローブ１は、円筒状のスリーブ２と、スリーブ２内を摺動自在に嵌合するプランジャーコンタクト３と、プランジャーコンタクト３をパワー半導体の外部接続用端子へ向けて付勢するコイルスプリング４とを備え、プランジャーコンタクト４のコンタクト側を可動軸受け５に圧入して固定し、非コンタクト側を固定軸受け６に摺動自在に挿通し、可動軸受け５と、固定軸受け６とで、スリーブ２内にプランジャーコンタクト３を摺動自在とし、可動軸受け５と、固定軸受け６との間にコイルスプリング４をプランジャーコンタクト３に装着して配置し、コイルスプリング４を、スリーブ２、プランジャーコンタクト３、可動軸受け５、固定軸受け６に対して電気的に絶縁した。 （もっと読む）

【課題】コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定であって支障なく半導体パワーデバイス用コンタクトプローブとして使用し得ると共に、支障なく多数回使用することができる使用寿命の長い半導体パワーデバイス用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】スリーブを、先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成することによって、コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定とすることができる。また、スリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱性の材料から形成された絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の絶縁性チューブ内に位置させて、前記プランジャーに固定した絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成することによって、長寿命のコンタクトプローブとすることができる。 （もっと読む）

【課題】１００Ａ〜１０００Ａの大電流が流れても支障なく電子デバイス半導体を正確に検査することができる積層型プローブを提供する。
【解決手段】プローブコンタクトを薄板で形成し、ニードル部後方に弾性体挿入用切込みを形成し、プローブコンタクトを第一の小孔に挿入したロッドを支点として回転し得るように形成し、第二の小孔に挿入したロッドで所定の角度しか回転しないように形成し、これをホルダーで挟持することにより、プローブコンタクトを弾性体の力に抗して上昇し得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】超微小なピッチ間隔で且つ多数の電極を有する液晶パネル等の電極を正確に検査することができる積層型プローブを提供する。
【解決手段】薄板で形成したプローブを多数枚積層し、これをホルダーで挟持したプローブにおいて、前記薄板のコンタクト部が、ホルダー間に張設したフィルムから突出するように構成し、プローブ間のピッチを狭くしてもプローブのコンタクト部同士が接触してリークが生ずる恐れを解消した。 （もっと読む）

【課題】直径１ｍｍ以下の球形導電体の電気抵抗を正確に評価する。
【解決手段】球形導電体の電気抵抗を４端子法にて評価できるようなプローブ構造を工夫した。具体的には、２つの対向電極間に球形導電体を挟み込み接触させ定電流を流すための電流プローブ、および球形導電体表面上の２点間の電位差を測定するための電圧プローブを独立に設置し、正確な評価を可能にした。 （もっと読む）

【課題】プローブの狭ピッチ化を実現するとともに多数のプローブを高精度で組み立てることができるプローブユニットを提供する。
【解決手段】板状をなす複数の導電性のプローブを板厚方向に積層して固着することによって形成されるプローブ束を複数有し、該複数のプローブ束がプローブの積層方向に沿って積層されてなり、二つの回路構造と接触する接触部と、接触部における複数のプローブ束の積層方向の両端部を挟持することによって積層方向の力を加えながら複数のプローブ束を保持するプローブホルダと、接触部を積層方向に貫通し、両端部が前記プローブホルダに固定される棒状部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜誘電体の誘電特性測定に用いる微小薄膜キャパシタンス素子及び薄膜誘電特性測定評価方法であって、高周波数帯域における誘電体の誘電特性を高精度に測定評価することのできる微小薄膜キャパシタンス素子及びそれを用いた薄膜誘電特性測定評価方法を提供する。
【解決手段】薄膜誘電体７の誘電特性測定に用いる微小薄膜キャパシタンス素子１であって、被測定試料としての誘電体薄膜７が第１の電極層２ａと第２の電極層６との間に挟まれてなるキャパシタ部２と、前記第１の電極層２ａに電気的に接続されたコンタクト電極３と、前記第２の電極層６に電気的に接続され、前記コンタクト電極３の周りに形成されたグランド電極４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
この発明は、プローブコンタクト間のピッチを一定の長さに整合させた積層型プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】
プロ−ブコンタクトを薄板で形成し、該薄板を絶縁材を介して多数枚積層してホルダーで挟持し、前記絶縁材不在で、薄板が間隔付けて位置するようにしたプロ−ブコンタクト上端部に、固化した固化物が水若しくは有機溶剤に溶解可能な絶縁性保持材を表面塗布若しくは流入させ、該保持材が固化した後、先端が断面Ｖ字形のバイト刃物若しくは砥石によって、薄板の先端中心から隣接する薄板の先端中心が等しい長さとなるように、対向するプロ−ブコンタクト上端側部を切削し、プローブピッチ間を一定の寸法又は規格に整合させた。 （もっと読む）

【課題】被測定電極の配置がランダムの場合の回路検査に使用することのできる２探針ケルビンプローブを提供する。
【解決手段】断面横長のバネ性を有し且つ絶縁被膜でコーティングした二本のプローブを（一方は電圧用、他方は電流用）プローブ収納スリーブに各々独立して弾性屈曲し得るように装入し、該プローブ収納スリーブを検査用板取付用のスリーブに嵌合させ、前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端との間にコイルスプリングを外嵌させ、前記二本のプローブ後端部は、前記プローブ収納スリーブ及び／又は検査用板取付用のスリーブに固定し、２探針ケルビンプローブとした。 （もっと読む）

【課題】対向する基板のそれぞれのパターンに高低の差がある場合でも、或いは車両のような激しい振動がある場合でも、全接触部の導通が得られる金属接点を提供する。
【解決手段】基板と基板との間若しくはプローブカードとプローブカードとの間に介在する電気接点を、筒体に嵌合した弾性部材で、前記基板若しくはプローブカードを弾性押圧し得るように構成することにより、電気接点にクッション性を付与し、支障なく全接触部の導通が得られる。 （もっと読む）