【課題】開口を有する円板形の基板の効率的な乾燥方法及び装置を提供する。
【解決手段】開口を有するワークピースを乾燥するための方法であって、前記ワークピースを液体中に提供する段階と、前記ワークピースと前記液体の液面との間の相対的な動きを引き起こして、前記ワークピースが前記液体と接触しない状態まで取り出す段階と、前記ワークピースを乾燥する段階と、を備え、この乾燥段階の少なくとも一部は、前記相対的な動きを引き起こす動作の間に起こり、前記相対的な動きは、前記開口の上部が前記液面を通過する間第１速度であり、前記相対的な動きは、前記開口の上部が前記液面を通過した後、前記ワークピースの一部が前記液体と接触したままである期間第２速度であり、前記第１速度は前記第２速度より遅い。 （もっと読む）

【課題】バニシングヘッドの飛行特性を改善する。
【解決手段】バニシングヘッドは少なくとも２つのレールを備え、各レールは内壁および外壁を有する。外壁は互いに、かつバニシングヘッドの中心軸線に対して所定の角度となっている。このような角度によって、バニシングヘッドがバニス仕上げすべきディスクに接触した場合、ヘッドは、改善された回復時間を示すことができる。レールの壁は垂直であり、レールの壁とレールの頂部表面との間のコーナーはシャープとなっている。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テスト装置は、ａ）磁気ディスク基板のようなワークピースを回転するスピンドルを回転するためのモーターと、ｂ）ワークピースの上面に上部レーザビームを供給するレーザ、上面から反射された光を受け取る上部レンズ、及びその受け取った光を表す電気信号を発生するための上部検出器を含む上部テストヘッドと、ｃ）ワークピースの下面にレーザビームを供給する下部レーザ、下面から反射された光を受け取る下部レンズ、及びその受け取った光を表す電気信号を発生するための下部検出器を含む下部テストヘッドと、を備えている。下部レーザビームの経路は、ワークピースの半径方向から変位されていて、下部レーザビームが変位されない場合よりも下部レンズをレーザスポットにより接近して配置できるようにする。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、レーザビームを発生するためのレーザソースを備えている。レーザビームは、ビームの形状を変更するための円筒状レンズと、ビームをワークピース（通常、磁気ディスクプラッター）に集中させるための球面レンズとを通過する。円筒状レンズは、ａ）プラッターの半径方向に沿ってレーザビームを延長させ（半径方向における有効開口数を減少することにより）、そしてｂ）ビームを半径方向に焦点ずれさせる（が、ビームは、通常、周囲方向に焦点が合わされる）。半径方向におけるビームのサイズは、円筒状レンズの位置に実質的に不感である。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】ワークピースの上面及び下面を同時に光学的に検査するための装置は、上部及び下部テストヘッドを備え、各ヘッドは、ワークピースの関連表面を走査するレーザビームを発生するための少なくとも１つのレーザと、反射されたレーザ光を検出するための少なくとも１つの検出器とを備えている。レーザビームの方向は、上部テストヘッドと下部テストヘッドとの間のクロストーク干渉を減少又は防止するように選択される。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】磁気ディスク基板のようなワークピースを検査するための製造セルは、テストされるべきワークピースを供給するための入力コンベヤと、ワークピースを検査するための１つ以上のテスト装置と、テストされたワークピースを受け取るための３つ以上の出力リセプタクルとを備えている。１つ以上のロボットアームがワークピースを入力コンベヤからテスト装置へ移動し、そしてテスト装置により遂行されたテストの結果に基づいてテスト装置から出力リセプタクルの１つへ移動する。出力リセプタクルは、合格リセプタクルと、不合格リセプタクルと、再加工又は更に調査されるべきワークピースに対する少なくとも１つの付加的なリセプタクルとを含む。付加的なリセプタクルがいっぱいのときに、付加的なビンに送られるはずのワークピースは、不合格リセプタクルに入れられる。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】レーザビームが基板表面に沿った経路をトレースするようにして基板を検査するための方法及び装置。レーザビームは、例えば、１／４波長リターダーにより円偏光される。これは、レーザビームが円偏光されない場合より、スクラッチの方向に対する敏感さが低い状態で、基板を検査することを許す。 （もっと読む）

【課題】データ収集装置からメモリ及び／又は電子回路、例えばプロセッサにデータを通信するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、ワークピース表面の状態を表わす出力信号を発生するための１つ以上の検出器を備えている。これらの検出器からのデータは、それが１つ以上の条件を満足する（例えば、それが特定のスレッシュホールドを越える）ときだけ、１つ以上のメモリに記憶される。次いで、データは、１つ以上のメモリから処理のために電気的回路へ通される。更に、検出器からのデータが１つ以上の条件を満足するときには位置情報が１つ以上のメモリに記憶されそして電気的回路へ通される。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、光ビームを光源からワークピースへ通信する１つ以上の入力光学路と、ワークピースから反射された光を検出器へ通信する１つ以上の出力光学路とを備えている。これら入力光学路及び出力光学路は、１つ以上のミラー及び１つ以上のレンズを含むことができる。光学路の少なくとも１つは、漂遊光を捕獲し及び／又は吸収するための層を含む。１つ以上のレンズは、レンズからの望ましからぬ光の反射により生じるノイズを減少するための反射防止コーティングを含む。光学路は、漂遊光を減少するための１つ以上のマスクを含む。１つ以上のマスクは、調整可能なアパーチャー（例えば、虹彩）を有することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークピース表面から反射される光を使用してワークピースの表面を検査するのに使用される方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学的テストヘッドは、複数の光学路が延びている材料ブロックを備えている。光学路の少なくとも１つは、レーザ光を受け取るための入力光学路で、これは、ヘッド付近のワークピースにレーザ光を集中させるためのレンズを保持する。又、光学路の少なくとも別の１つは、基板から反射された光を受け取って、その光を検出器へ与えるための出力経路である。（一実施形態では、多数の検出器が設けられ、鏡面反射光、狭角度の散乱光、広角度の散乱光及び後方散乱光が関連検出器へ向けられる。）他の光学的要素を材料ブロック内又は材料ブロックに固定することができる。テストヘッドは、個々の光学要素を整列又は調整する必要なく使用することができる。 （もっと読む）